CVD SiC फोकस रिंग

उन्नत रासायनिक वाष्प निक्षेप (CVD) प्रक्रिया

CVD SiC फोकस रिंगको निर्माणमा नियोजित CVD प्रक्रियाले विशिष्ट आकारहरूमा SiC को सटीक बयान समावेश गर्दछ, त्यसपछि कठोर मेकानिकल प्रशोधन। यस विधिले सामग्रीको प्रतिरोधात्मकता मापदण्डहरू एकरूप छन् भनी सुनिश्चित गर्दछ, विस्तृत प्रयोग पछि निर्धारित सामग्री अनुपातको लागि धन्यवाद। परिणाम अतुलनीय शुद्धता र एकरूपता संग फोकस रिंग हो।

सुपीरियर प्लाज्मा प्रतिरोध

CVD SiC फोकस रिंगको सबैभन्दा आकर्षक विशेषताहरू मध्ये एक यसको प्लाज्माको लागि असाधारण प्रतिरोध हो। फोकस रिंगहरू भ्याकुम प्रतिक्रिया कक्ष भित्र प्लाज्मामा प्रत्यक्ष रूपमा उजागर हुन्छन् भन्ने कुरालाई ध्यानमा राख्दै, यस्तो कठोर अवस्थाहरू सहन सक्ने सामग्रीको आवश्यकता सर्वोपरि छ। SiC, 99.9995% को शुद्धता स्तरको साथ, सिलिकनको विद्युतीय चालकता मात्र साझा गर्दैन तर यो प्लाज्मा नक्काशी उपकरणहरूको लागि एक आदर्श विकल्प बनाउँदै, आयनिक एचिंगको लागि उच्च प्रतिरोध प्रदान गर्दछ।

उच्च घनत्व र कम नक्काशी मात्रा

सिलिकन (Si) फोकस रिंगहरूको तुलनामा, CVD SiC फोकस रिङले उच्च घनत्वको गर्व गर्दछ, जसले नक्काशीको मात्रालाई उल्लेखनीय रूपमा घटाउँछ। यो सम्पत्ति फोकस रिंगको आयु विस्तार गर्न र अर्धचालक निर्माण प्रक्रियाको अखण्डता कायम राख्न महत्त्वपूर्ण छ। कम नक्कली भोल्युमले कम अवरोधहरू र कम मर्मत लागतहरूमा अनुवाद गर्दछ, अन्ततः उत्पादन दक्षता बढाउँछ।

चौडा ब्यान्डग्याप र उत्कृष्ट इन्सुलेशन

SiC को फराकिलो ब्यान्डग्यापले उत्कृष्ट इन्सुलेशन गुणहरू प्रदान गर्दछ, जुन नचाहिने विद्युतीय प्रवाहहरूलाई नक्काशी प्रक्रियामा हस्तक्षेप गर्नबाट रोक्न आवश्यक छ। यो विशेषताले यो सुनिश्चित गर्दछ कि फोकस रिंगले सबैभन्दा चुनौतीपूर्ण अवस्थाहरूमा पनि विस्तारित अवधिहरूमा यसको प्रदर्शन कायम राख्छ।

थर्मल चालकता र थर्मल झटका प्रतिरोध

CVD SiC फोकस रिंगहरूले उच्च थर्मल चालकता र कम विस्तार गुणांक प्रदर्शन गर्दछ, तिनीहरूलाई थर्मल झटका लागि अत्यधिक प्रतिरोधी रेन्डर गर्दै। यी गुणहरू विशेष गरी द्रुत थर्मल प्रशोधन (RTP) समावेश अनुप्रयोगहरूमा लाभदायक छन्, जहाँ फोकस रिंगले तीव्र तातो पल्सहरू सामना गर्नुपर्दछ र त्यसपछि द्रुत शीतलता। यस्तो अवस्थामा स्थिर रहन CVD SiC फोकस रिंगको क्षमताले यसलाई आधुनिक अर्धचालक निर्माणमा अपरिहार्य बनाउँछ।

मेकानिकल बल र स्थायित्व

CVD SiC फोकस रिङको उच्च लोच र कठोरताले मेकानिकल प्रभाव, पहिरन र जंगको लागि उत्कृष्ट प्रतिरोध प्रदान गर्दछ। यी विशेषताहरूले यो सुनिश्चित गर्दछ कि फोकस रिंगले अर्धचालक निर्माणको कठोर मागहरू सहन सक्छ, यसको संरचनात्मक अखण्डता र समयको साथ प्रदर्शन कायम राख्छ।

विभिन्न उद्योगहरूमा आवेदनहरू

1. अर्धचालक निर्माण

अर्धचालक निर्माणको क्षेत्रमा, CVD SiC फोकस रिंग प्लाज्मा नक्काशी उपकरणको एक आवश्यक घटक हो, विशेष गरी ती क्यापेसिटिव कपल्ड प्लाज्मा (CCP) प्रणालीहरू प्रयोग गर्ने। यी प्रणालीहरूमा आवश्यक उच्च प्लाज्मा ऊर्जाले CVD SiC फोकस रिङको प्लाज्मा प्रतिरोध र स्थायित्वलाई अमूल्य बनाउँछ। थप रूपमा, यसको उत्कृष्ट थर्मल गुणहरूले यसलाई RTP अनुप्रयोगहरूको लागि राम्रोसँग उपयुक्त बनाउँदछ, जहाँ द्रुत ताप र शीतलन चक्रहरू सामान्य छन्।

2. एलईडी वेफर वाहकहरू

CVD SiC फोकस रिंग एलईडी वेफर वाहकहरूको उत्पादनमा पनि अत्यधिक प्रभावकारी छ। सामग्रीको थर्मल स्थिरता र रासायनिक जंगको प्रतिरोधले यो सुनिश्चित गर्दछ कि फोकस रिंगले एलईडी निर्माणको समयमा उपस्थित कठोर अवस्थाहरूको सामना गर्न सक्छ। यो विश्वसनीयता उच्च उपज र राम्रो-गुणस्तर एलईडी वेफरहरूमा अनुवाद गर्दछ।

3. स्पटरिङ लक्ष्यहरू

स्पटरिङ एप्लिकेसनहरूमा, CVD SiC फोकस रिङको उच्च कठोरता र लगाउने प्रतिरोधले यसलाई स्पटरिङ लक्ष्यहरूको लागि एक आदर्श विकल्प बनाउँछ। उच्च-ऊर्जा प्रभावहरू अन्तर्गत यसको संरचनात्मक अखण्डता कायम राख्न फोकस रिंगको क्षमताले लगातार र भरपर्दो स्पटरिङ प्रदर्शन सुनिश्चित गर्दछ, जुन पातलो फिल्महरू र कोटिंग्सको उत्पादनमा महत्वपूर्ण छ।