प्रसार फर्नेस ट्यूब

डिफ्यूजन फर्नेस ट्यूब सामान्यतया उच्च-शुद्धता क्वार्ट्ज वा SiC बाट बनाइन्छ, जुन दुवैले असाधारण थर्मल स्थिरता र रासायनिक प्रतिक्रियाहरूको प्रतिरोध प्रदर्शन गर्दछ। यो महत्त्वपूर्ण छ किनभने प्रसार फर्नेस ट्यूबले प्रशोधन भइरहेको अर्धचालक सामग्रीहरूमा अशुद्धताहरू परिचय गर्नु हुँदैन। अलिकति अशुद्धताले पनि निर्मित अर्धचालक उपकरणहरूको प्रदर्शन र विश्वसनीयतामा महत्त्वपूर्ण हानिकारक प्रभाव पार्न सक्छ।

डिफ्युजन फर्नेस ट्यूब निर्माण गर्न प्रयोग गरिने सामग्रीहरू प्रशोधनको क्रममा अर्धचालक वेफरहरूको प्रदूषण रोक्न तिनीहरूको उच्च शुद्धताको लागि छनौट गरिन्छ। डिफ्यूजन फर्नेस ट्यूबले अर्धचालक प्रशोधनको क्रममा सामना गरेको चरम तापक्रमलाई विकृत वा यसको संरचनात्मक अखण्डतामा सम्झौता नगरी सामना गर्दछ। यसले सञ्चालनको लामो अवधिमा लगातार र भरपर्दो प्रदर्शन सुनिश्चित गर्दछ। थर्मल स्थिरताको अतिरिक्त, प्रसार फर्नेस ट्यूबले अर्धचालक प्रशोधनमा प्रयोग हुने रसायन र ग्यासहरूको संक्षारक प्रभावहरूको प्रतिरोध पनि प्रदर्शन गर्दछ। यसले समयको साथ ट्यूबको गिरावटलाई रोक्छ र दीर्घायु सुनिश्चित गर्दछ।

केही डिफ्युजन फर्नेस ट्युबहरूले आफ्नो कार्यसम्पादनलाई अझ बढाउन वा प्रदूषण वा रासायनिक प्रतिक्रियाहरू विरुद्ध थप सुरक्षा प्रदान गर्न विशेष सामग्रीबाट बनाइएको लाइनरहरू देखाउन सक्छन्। यी लाइनरहरू ट्यूब सामग्रीको गुणहरू र सेमीकन्डक्टर निर्माण प्रक्रियाको विशिष्ट आवश्यकताहरू पूरा गर्न सावधानीपूर्वक चयन गरिएका छन्।