सेमीकन्डक्टर प्रशोधनका लागि टिकाऊ फोकस रिंगहरू

अर्धचालक प्रशोधनका लागि सेमिकोरेक्स टिकाऊ फोकस रिङ्हरू अर्धचालक प्रशोधनमा प्रयोग हुने प्लाज्मा ईच चेम्बरहरूको चरम वातावरणलाई सामना गर्न डिजाइन गरिएको हो। हाम्रो फोकस रिंगहरू उच्च-शुद्धता ग्रेफाइटले बनेको छ जसमा घना, पहिरन-प्रतिरोधी सिलिकन कार्बाइड (SiC) कोटिंग छ। SiC कोटिंगमा उच्च जंग र गर्मी प्रतिरोध गुणहरू, साथै उत्कृष्ट थर्मल चालकता छ। हामी हाम्रो फोकस रिंगहरूको सेवा जीवन सुधार गर्न रासायनिक वाष्प निक्षेप (CVD) प्रक्रिया प्रयोग गरेर ग्रेफाइटमा पातलो तहहरूमा SiC लागू गर्छौं।

सोधपुछ पठाउनुहोस्

उत्पादन विवरण

अर्धचालक प्रशोधनका लागि हाम्रा टिकाउ फोकस रिङ्हरू वेफर किनारा वा परिधिको वरिपरि नक्काशी एकरूपता सुधार गर्न, प्रदूषणलाई कम गर्न र अनिश्चित मर्मतसम्भार गर्न डिजाइन गरिएको हो। तिनीहरू द्रुत थर्मल एनिलिङ (RTA), द्रुत थर्मल प्रशोधन (RTP), र कठोर रासायनिक सफाईको लागि अत्यधिक स्थिर छन्।

Semicorex मा, हामी सेमीकन्डक्टर प्रशोधनका लागि उच्च गुणस्तर, लागत-प्रभावी टिकाऊ फोकस रिंगहरू उपलब्ध गराउनमा केन्द्रित छौं, हामी ग्राहकको सन्तुष्टिलाई प्राथमिकता दिन्छौं र लागत-प्रभावी समाधानहरू प्रदान गर्दछौं। हामी तपाईंको दीर्घकालीन साझेदार बन्न, उच्च गुणस्तरका उत्पादनहरू र असाधारण ग्राहक सेवा प्रदान गर्न तत्पर छौं।

सेमीकन्डक्टर प्रशोधनका लागि हाम्रो टिकाऊ फोकस घण्टीहरूको बारेमा थप जान्नको लागि आज हामीलाई सम्पर्क गर्नुहोस्।

अर्धचालक प्रशोधनका लागि टिकाउ फोकस रिंगहरूको प्यारामिटरहरू

CVD-SIC कोटिंग को मुख्य निर्दिष्टीकरण
SiC-CVD गुणहरू
क्रिस्टल संरचना	FCC Î² चरण
घनत्व	g/cm ³	3.21
कठोरता	Vickers कठोरता	2500
अनाज आकार	¼m	२~१०
रासायनिक शुद्धता	%	99.99995
गर्मी क्षमता	J·kg-1 · K-1	640
उदात्तीकरण तापमान	℃	2700
फेलेक्सरल शक्ति	MPa (RT 4-बिन्दु)	415
युवाको मोडुलस	Gpa (4pt bend, 1300â)	430
थर्मल विस्तार (C.T.E)	10-6K-1	4.5
थर्मल चालकता	(W/mK)	300