सेमीकन्डक्टर उपकरणको लागि ग्यास इनलेट रिंग

सेमीकन्डक्टर उपकरणको लागि सेमिकोरेक्स ग्यास इनलेट रिंग SiC कोटेड हो, जुन घना, पहिरन-प्रतिरोधी सिलिकन कार्बाइड (SiC) कोटिंग हो। यसमा उच्च जंग र गर्मी प्रतिरोध गुणहरू साथै उत्कृष्ट थर्मल चालकता छ। हामी रासायनिक भाप निक्षेप (CVD) प्रक्रिया प्रयोग गरेर ग्रेफाइटमा पातलो तहहरूमा SiC लागू गर्छौं।

सेमीकन्डक्टर उपकरणको लागि हाम्रो ग्यास इनलेट रिंगलाई थर्मल प्रोफाइलको समानता सुनिश्चित गर्दै, उत्कृष्ट लामिनार ग्यास प्रवाह ढाँचा प्राप्त गर्न डिजाइन गरिएको हो। यसले वेफर चिपमा उच्च-गुणस्तरको एपिटेक्सियल वृद्धि सुनिश्चित गर्दै कुनै पनि प्रदूषण वा अशुद्धता फैलाउनबाट रोक्न मद्दत गर्दछ।

सेमीकन्डक्टर उपकरणको लागि हाम्रो ग्यास इनलेट रिंग बारे थप जान्नको लागि आज हामीलाई सम्पर्क गर्नुहोस्।

सेमीकन्डक्टर उपकरणको लागि ग्यास इनलेट रिंगको प्यारामिटरहरू

सेमीकन्डक्टर उपकरणका लागि ग्यास इनलेट रिङका विशेषताहरू

● उच्च शुद्धता SiC लेपित ग्रेफाइट

● उच्च ताप प्रतिरोध र थर्मल एकरूपता

● चिल्लो सतहको लागि राम्रो SiC क्रिस्टल लेपित

● रासायनिक सफाई विरुद्ध उच्च स्थायित्व

● सामाग्री को डिजाइन गरीएको छ कि दरार र delamination देखा पर्दैन।