Semicorex चीनमा सिलिकन कार्बाइड लेपित ग्रेफाइट ससेप्टरको ठूलो मात्रामा निर्माता र आपूर्तिकर्ता हो। हामी सिलिकन कार्बाइड लेयर र एपिटेक्सी सेमीकन्डक्टर जस्ता सेमीकन्डक्टर उद्योगहरूमा फोकस गर्छौं। सेमिकन्डक्टर उपकरणका लागि हाम्रो ग्यास इनलेट रिङको राम्रो मूल्य लाभ छ र यसले धेरै युरोपेली र अमेरिकी बजारहरू कभर गर्दछ। हामी चीनमा तपाईंको दीर्घकालीन साझेदार बन्न तत्पर छौं।
सेमीकन्डक्टर उपकरणको लागि सेमिकोरेक्स ग्यास इनलेट रिंग SiC कोटेड हो, जुन घना, पहिरन-प्रतिरोधी सिलिकन कार्बाइड (SiC) कोटिंग हो। यसमा उच्च जंग र गर्मी प्रतिरोध गुणहरू साथै उत्कृष्ट थर्मल चालकता छ। हामी रासायनिक भाप डिपोजिसन (CVD) प्रक्रिया प्रयोग गरेर ग्रेफाइटमा पातलो तहहरूमा SiC लागू गर्छौं।
सेमीकन्डक्टर उपकरणको लागि हाम्रो ग्यास इनलेट रिंगलाई थर्मल प्रोफाइलको समानता सुनिश्चित गर्दै, उत्कृष्ट लामिनार ग्यास प्रवाह ढाँचा प्राप्त गर्न डिजाइन गरिएको हो। यसले वेफर चिपमा उच्च-गुणस्तरको एपिटेक्सियल वृद्धि सुनिश्चित गर्दै कुनै पनि प्रदूषण वा अशुद्धता फैलाउनबाट रोक्न मद्दत गर्दछ।
सेमीकन्डक्टर उपकरणको लागि हाम्रो ग्यास इनलेट रिंग बारे थप जान्नको लागि आज हामीलाई सम्पर्क गर्नुहोस्।
सेमीकन्डक्टर उपकरणको लागि ग्यास इनलेट रिंगको प्यारामिटरहरू
CVD-SIC कोटिंग को मुख्य निर्दिष्टीकरण |
||
SiC-CVD गुणहरू |
||
क्रिस्टल संरचना |
FCC β चरण |
|
घनत्व |
g/cm ³ |
3.21 |
कठोरता |
Vickers कठोरता |
2500 |
अनाज आकार |
¼m |
२~१० |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
गर्मी क्षमता |
J·kg-1 · K-1 |
640 |
उदात्तीकरण तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सरल शक्ति |
MPa (RT 4-बिन्दु) |
415 |
युवाको मोडुलस |
Gpa (4pt bend, 1300â) |
430 |
थर्मल विस्तार (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
थर्मल चालकता |
(W/mK) |
300 |
सेमीकन्डक्टर उपकरणका लागि ग्यास इनलेट रिङका विशेषताहरू
â उच्च शुद्धता SiC लेपित ग्रेफाइट
â उच्च ताप प्रतिरोध र थर्मल एकरूपता
â चिल्लो सतहको लागि राम्रो SiC क्रिस्टल लेपित
â रासायनिक सफाई विरुद्ध उच्च स्थायित्व
â सामग्री डिजाइन गरिएको छ ताकि दरार र डेलामिनेशन नहोस्।