सेमीरक्स तेर्सो टेप शेयन्स स्क्वायर डु boat ्गा उच्च-शुद्धता क्यारिकन क्यारियर क्यारियर हो उच्च तापमान सेफर पनींगको साथ तेस्रो तापमान वेल्फ प्रोसेसिंगको लागि। छापाखाना छनौट भनेको सटीक इन्जिनियरि, सटीक स्थायित्व, र सुसंगत उत्पादनको लागि उच्च थर्मल प्रदर्शनबाट फाइदाजनक छ। *
सेमीरेरेक्स तेर्सो तमित चेम्बर: एक उच्च-ईन्जिनिटर गरिएको अंश एक उच्च-ईन्जिनियर भाग हो जुन समात्नुहोस् र कास्ट्रेस थर्मरल थर्मरलाई छूट गर्नुहोस्। वेफर डु boat ्गा उच्च-शुद्धता अनुरूप बनेको छ सिलिकन कार्बइड (SIC), जसले शक्ति, थर्मल स्थिरता, र अर्धन्डुनिकल, फोटोवर्भिकमा मांग र उन्नत सिरमिक प्रक्रियाहरूमा माग गर्दछ। वेयर डु boat ्गामा पर्वाह संरचनालाई पनि स्थितिमा राख्नको रूपमा काम गर्ने, आयामी स्थिरता र वेफरको शुद्धताका साथ चरम प्रक्रियाको तापमान विस्तारित जोखिमबाट हराउने छैन।
सिलिकन कार्बर्डको उच्च गुणहरू ले तेर्सो पुलिस भण्डारको तुलनामा वार्षिक डु boat ्गाको तुलनामा कमल सामग्रीको तुलनामा विशिष्ट सामग्रीको तुलनामा एक उत्तम प्रदर्शन फाइदाको रूपमा प्रदान गर्दछ। तिनीहरू आफ्नो उच्च पग्लि ing बिन्दुको गतिमा तताउँदै छोटो अवधिको प्रतिरोध प्रतिरोध प्रतिरोध प्रतिरोध विरोध प्रतिरोध, र किर्मल चक्र को चरम को गति को बाकी ल्याउने चरम चोक प्रतिरोधको प्रतिरोध गर्न सक्दछ, क्षैतिज भट्टीले पूर्ण रूपमा वेफरको स्थितिको स्थिरतामा निर्भर गर्दछ र प्रक्रिया सर्तहरूको जोखिम, वेफरको उचित प ign ्क्तिबद्धता लगातार प्रक्रिया र दोहोर्याउन वा दोहोर्याउन। थर्मल विस्तारको कम कर्जाको अर्थ डु boat ्गाले आफ्नो जीवनको माथि विकृत गर्दैन र वेफरको प्रशस्त आकार र स्पेसिंग प्रदान गर्दछ।
पुनर्गठन योग्य SIC को एक राम्रो ग्राउन्ड, बाक्लो संरचना प्रदान गर्दछ, र प्रक्रिया ग्याँस र उप-उत्पादनहरू द्वारा प्रदूषणको संक्रमित। यसले डु boat ्गालाई विशेष गरी आक्रामक वातावरणमा हुने प्रसार, अक्डिंगेन, LPCVD, र उन्नत जस्ता प्रक्रियाहरूको लागि लाभदायक हुन्छ। SIC को उच्च रासायनिक संवेदनशीलता, वेर सतहहरूको साथ प्रतिक्रियाहरू बेवास्ता गर्दछ, यसैले उत्पादन शुद्धता संरक्षण र भट्टीको न्यूनतम बनाउँदछ। SIC डु boats ्गाले निर्माणकर्ताहरूलाई मद्दत गर्न सक्दछन् जसले कडा सफाई मागहरू पूरा गर्न आवश्यक पर्दछ, सफा प्रशोधन वातावरण प्रदान गर्दछ र वेफर गुणवत्ता सुधार गर्दछ।
यी डु boats ्गालाई विभिन्न जटिल ज्यामितिहरू र अंश-विशिष्ट आयामहरूसँग सटीक मशीनिन र प्रविधिको साथ उत्पादन गर्न सकिन्छ। डिजाइनले सामान्यतया बहुमुखी स्लटहरू / गिरावटलाई एक तेर्सो अभिमुखिकरणमा सुरक्षित रूपमा सुरक्षित गर्न प्रयोग गर्दछ स्लट-देखि-स्लट स्पेसिंग र कोणहरू अन्य व्यासको वाफरलाई फिट गर्न सकिन्छ, जस्तै 1 1500 मिमी, 200 मिमी, वा 30000 मिलीग्राम प्रशोधन गर्ने क्रममा।
क्षैतिज 2 ले तेर्सोको स्पिनस स्पिन SITES डु boats ्गामा डिजाइन गर्न मात्र सक्दैन, तर तिनीहरू स्वत: यूपीटीपदार्थ लाइनहरूमा काम गर्न डिजाइन गर्न सकिन्छ। मञ्चक डिजाइनले डु boats ्गालाई पनि चिप वा डाउनट्याटि its तुलाई चिप वा डिजाइन गर्न कम सम्भावना बनाउँदछ र प्रतिस्थापनका लागि लागतहरू कम गर्दछ।
को थर्मल संकुचितसिलिकन कार्बइडअर्को कुञ्जी फाइदा प्रतिनिधित्व गर्दछ जसले वेफर र भट्टी बिभाग बीच कुखुरा स्थानान्तरण गर्न मद्दत गर्दछ। फाइदा यो छ कि निर्माताहरूले अधिक वर्दी प्रशोधन सर्तहरू र छोटो चक्र समय हासिल गर्न सक्षम छन्, जसले उत्पादन दक्षता बढाउन सक्छ। SIC डु boats ्गाले लगातार र दोहोर्याउने परिणामहरू प्रदान गर्दछ कि तिनीहरू अर्ध मंत्र दिन्छन् कि उनीहरू सौर्य तालिका निर्माण, वा उच्च उन्नत तापमानमा प्रशोधन गर्छन्।
सारांशमा, तेर्सोन चेम्बर फाँट साइज स्टोन डु boats ्गाहरू एक उच्च प्रदर्शन, लामो समयसम्म दुर्गन्धित र दूषित प्रतिरूपमा प्रतिरोधी वेफर क्यारिअरहरूको साथ वाफरहरूको लागि कुञ्जी घटक हो। यसको एक यांत्रिक सामर्थ्य, थर्मल स्थिरता र रासायनिक विक्रेता जुन तेर्सो फ्यूसास अनुप्रयोगहरूमा नभई रासायनिक जितेको छ। सिलिकन कार्बइड डु boats ्गाहरू छनौट गरेर, अपरेटरहरूले उत्तम प्रक्रिया नियन्त्रण, उच्च उत्पादन लिन सक्दछन्, र मर्मतका कारण सञ्चालन अवरोधहरू कम गर्न सक्दछन्। समग्रमा यसले अधिक कुशल, लागत प्रभावी उत्पादनहरूको लागि प्रदान गर्दछ।