इलेक्ट्रोस्टेटिक चक (ESC) को संरचना

एइलेक्ट्रोस्टेटिक चक (ESC)नक्कली, निक्षेप, वा पालिस गर्ने जस्ता प्रक्रियाहरूमा सेमीकन्डक्टर वेफरहरूलाई ठाउँमा राख्न प्रयोग गरिने यन्त्र हो। यसले चकको सतहमा वेफरलाई आकर्षित गर्न र सुरक्षित रूपमा समात्नको लागि इलेक्ट्रोस्टेटिक क्षेत्र उत्पन्न गरेर सञ्चालन गर्दछ, वेफर ह्यान्डलिंगको समयमा स्थिरता र सटीक पङ्क्तिबद्धता प्रदान गर्दछ। प्रक्रिया शुद्धता र वेफर ह्यान्डलिङ दक्षता सुधार गर्न सेमीकन्डक्टर निर्माणमा ESCs व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ।

एक परम्परागत को वास्तविक छविइलेक्ट्रोस्टेटिक चक (ESC)चित्रमा चित्रण गरिएको छ। मोडेलहरू बीचको प्राथमिक भिन्नता इलेक्ट्रोस्टेटिक चकको सतहमा इन्सुलेट तह सामग्रीमा हुन्छ। चित्रमा, गाढा रंगले एल्युमिनियम नाइट्राइडलाई प्रतिनिधित्व गर्दछ, जबकि सेतो रंगले एल्युमिनियम अक्साइडलाई प्रतिनिधित्व गर्दछ। को संरचनाइलेक्ट्रोस्टेटिक चकधेरै भागहरु मिलेर बनेको छ:

1. **इन्सुलेट तह**: यो तह वेफरसँग सम्पर्कमा छ, सामान्यतया एल्युमिनियम नाइट्राइड वा एल्युमिनियम अक्साइड सिरेमिकबाट बनाइन्छ किनभने तिनीहरूको उत्कृष्ट मेकानिकल बल, उच्च तापक्रम प्रतिरोध, र राम्रो थर्मल चालकता।

2. **इजेक्टर पिन र हे ग्यास होल**: इजेक्टर पिन वेफरलाई स्थानान्तरण गर्न डिजाइन गरिएको हो। जब वेफर एचिङ च्याम्बरमा प्रवेश गर्छ, इजेक्टर पिन यसलाई समर्थन गर्न उठ्छ, र त्यसपछि इलेक्ट्रोस्टेटिक चकको सतहमा वेफर राख्नको लागि तल जान्छ। इजेक्टर पिनमा सामान्यतया खोक्रो संरचना हुन्छ, जसले हेलियम ग्यासलाई वेफरलाई चिसो पार्न मद्दत गर्न अनुमति दिन्छ।

3. **ब्याक हि फ्लो च्यानल**: यो कम्पोनेन्टले तातो अपव्यय बढाउँछ र वेफरको सोखनलाई सहज बनाउँछ।

४. **इलेक्ट्रोस्टेटिक इलेक्ट्रोड**: यो इलेक्ट्रोडले वेफरलाई ठाउँमा राख्नको लागि आवश्यक इलेक्ट्रोस्टेटिक बल सिर्जना गर्ने विद्युतीय क्षेत्र उत्पन्न गर्छ। सामान्यतया, इलेक्ट्रोड प्लानर हो र या त भित्र सम्मिलित हुन्छ वा इन्सुलेट सामग्रीमा जम्मा गरिन्छ। सामान्यतया प्रयोग हुने प्रवाहकीय सामग्रीहरूमा एल्युमिनियम, तामा र टंगस्टन समावेश छन्।

5. **सर्क्युलेटिङ कूलिङ वाटर र तताउने इलेक्ट्रोड**: यी तत्वहरू मुख्य रूपमा इलेक्ट्रोस्टेटिक चकको समग्र तापक्रम नियन्त्रणका लागि जिम्मेवार हुन्छन्। वेफरको लागि स्थिर तापक्रम कायम राख्नको लागि तताउने इलेक्ट्रोड र सर्कुलिङ कूलिङ पानीले टेन्डममा काम गर्छ। सर्कुलेटेड चिसो पानीमा मात्र भर पर्दा नक्कली प्रक्रियाको समयमा उत्पन्न हुने तापलाई व्यवस्थापन गर्न असक्षम हुन सक्छ, सम्भावित रूपमा प्रक्रियाको स्थिरतामा सम्झौता हुन सक्छ।  

Semicorex उच्च गुणस्तर प्रदान गर्दछइलेक्ट्रोस्टेटिक चक (ESC)। यदि तपाइँसँग कुनै सोधपुछ छ वा थप विवरणहरू चाहिन्छ भने, कृपया हामीलाई सम्पर्क गर्न नहिचकिचाउनुहोस्।

सम्पर्क फोन # +86-13567891907

इमेल: sales@semicorex.com