अर्धचालक आयन प्रत्यारोपण प्रविधि के हो?

कसरी गर्छआयन प्रत्यारोपणationकाम?

अर्धचालक निर्माणमा, आयन इम्प्लान्टेशनले आर्सेनिक वा बोरोन जस्ता विशिष्ट अशुद्धता परमाणुहरू इन्जेक्सन गर्न उच्च-ऊर्जा गतिवर्धकहरू प्रयोग गर्दछ।सिलिकन सब्सट्रेट। सिलिकन, आवधिक तालिकामा 14 औं स्थानमा राखिएको छ, छिमेकी परमाणुहरूसँग यसको चार बाहिरी इलेक्ट्रोनहरू साझेदारी गरेर सहसंयोजक बन्धनहरू बनाउँछ। यो प्रक्रियाले सिलिकनको विद्युतीय गुणहरूलाई परिवर्तन गर्छ, ट्रान्जिस्टर थ्रेसहोल्ड भोल्टेजहरू समायोजन गर्छ र स्रोत र नाली संरचनाहरू बनाउँछ।

एक भौतिकशास्त्रीले एक पटक सिलिकन जालीमा विभिन्न परमाणुहरू प्रस्तुत गर्ने प्रभावहरूबारे विचार गरे। आर्सेनिक थपेर, जसमा पाँचवटा बाहिरी इलेक्ट्रोनहरू छन्, एउटा इलेक्ट्रोन खाली रहन्छ, सिलिकनको चालकता बढाउँछ र यसलाई एन-टाइप सेमीकन्डक्टरमा रूपान्तरण गर्दछ। यसको विपरित, केवल तीन बाहिरी इलेक्ट्रोनहरू भएको बोरन परिचय गर्दा, एक सकारात्मक प्वाल सिर्जना गर्दछ, परिणामस्वरूप एक p-प्रकार अर्धचालक हुन्छ। सिलिकन जालीमा विभिन्न तत्वहरू समावेश गर्ने यो विधिलाई आयन इम्प्लान्टेशन भनिन्छ।

के कम्पोनेन्टहरू हुन्आयन प्रत्यारोपणउपकरण?

आयन प्रत्यारोपण उपकरणमा धेरै मुख्य घटकहरू हुन्छन्: एक आयन स्रोत, एक विद्युत त्वरण प्रणाली, एक भ्याकुम प्रणाली, एक विश्लेषण चुम्बक, एक बीम मार्ग, एक पोस्ट-एक्सेलेरेशन प्रणाली, र एक प्रत्यारोपण कक्ष। आयन स्रोत महत्त्वपूर्ण छ, किनकि यसले सकारात्मक आयनहरू बनाउनको लागि परमाणुहरूबाट इलेक्ट्रोनहरू निकाल्छ, जुन त्यसपछि आयन बीम बनाउन निकालिन्छ।

यो किरण एक मास विश्लेषण मोड्युल मार्फत जान्छ, सेमीकन्डक्टर परिमार्जनको लागि इच्छित आयनहरूलाई छनोट गरी अलग गर्दै। सामूहिक विश्लेषण पछि, उच्च-शुद्धता आयन बीम फोकस गरिएको छ र आकारको छ, आवश्यक उर्जामा छिटो छ, र समान रूपमा स्क्यान गरिएको छ।अर्धचालक सब्सट्रेट। उच्च-ऊर्जा आयनहरू सामग्रीमा प्रवेश गर्दछ, जालीमा इम्बेड गर्दै, जसले चिप्स र एकीकृत सर्किटहरूमा क्षेत्रहरू अलग गर्ने जस्ता केही अनुप्रयोगहरूको लागि लाभदायक दोषहरू सिर्जना गर्न सक्छ। अन्य अनुप्रयोगहरूको लागि, एनेलिङ चक्रहरू क्षतिको मर्मत गर्न र डोपन्टहरू सक्रिय गर्न, सामग्री चालकता बढाउन प्रयोग गरिन्छ।

आयन प्रत्यारोपणका सिद्धान्तहरू के हुन्?

आयन इम्प्लान्टेशन सेमिकन्डक्टरहरूमा डोपन्टहरू परिचय गराउने एक प्रविधि हो, एकीकृत सर्किट निर्माणमा महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्दै। प्रक्रिया समावेश छ:

आयन शुद्धीकरण: स्रोतबाट उत्पन्न आयनहरू, विभिन्न इलेक्ट्रोन र प्रोटोन संख्याहरू बोक्ने, सकारात्मक/नकारात्मक आयन बीम बनाउनको लागि द्रुत गरिन्छ। वांछित आयन शुद्धता प्राप्त गर्न चार्ज-टु-मास अनुपातमा आधारित अशुद्धताहरू फिल्टर गरिन्छ।

आयन इन्जेक्सन: एक्सेलेरेटेड आयन बीम लक्षित क्रिस्टल सतहमा एक विशिष्ट कोणमा निर्देशित हुन्छ, समान रूपमा विकिरण गर्दै।वेफर। सतहमा प्रवेश गरेपछि, आयनहरू टकरावबाट गुज्र्छन् र जाली भित्र छर्छन्, अन्ततः निश्चित गहिराइमा बस्छन्, सामग्रीको गुणहरू परिमार्जन गर्छन्। ढाँचायुक्त डोपिङ भौतिक वा रासायनिक मास्कहरू प्रयोग गरेर हासिल गर्न सकिन्छ, विशिष्ट सर्किट क्षेत्रहरूको सटीक विद्युतीय परिमार्जनहरूलाई अनुमति दिँदै।

डोपन्टको अपेक्षित गहिराइ वितरण किरणको ऊर्जा, कोण, र वेफरको सामग्री गुणहरूद्वारा निर्धारण गरिन्छ।

के फाइदाहरू र सीमितताहरू छन्आयन प्रत्यारोपण?

फाइदाहरू:

डोपन्टको फराकिलो दायरा: आवधिक तालिकाका लगभग सबै तत्वहरू प्रयोग गर्न सकिन्छ, सटीक आयन चयनद्वारा सुनिश्चित गरिएको उच्च शुद्धताको साथ।

सटीक नियन्त्रण: आयन बीमको ऊर्जा र कोणलाई सही रूपमा नियन्त्रण गर्न सकिन्छ, डोपन्टहरूको सटीक गहिराइ र एकाग्रता वितरणलाई अनुमति दिँदै।

लचिलोपन: आयन प्रत्यारोपण वेफरको घुलनशीलता सीमाहरू द्वारा सीमित छैन, अन्य विधिहरू भन्दा उच्च सांद्रतालाई अनुमति दिँदै।

समान डोपिङ: ठूलो-क्षेत्र एकसमान डोपिङ प्राप्त गर्न सकिन्छ।

तापक्रम नियन्त्रण: प्रत्यारोपण गर्दा वेफरको तापक्रम नियन्त्रण गर्न सकिन्छ।

सीमाहरू:

कम गहिराई: सामान्यतया सतहबाट लगभग एक माइक्रोनमा सीमित।

धेरै उथलपुथल प्रत्यारोपणका साथ कठिनाइहरू: कम-ऊर्जा बीमहरू नियन्त्रण गर्न गाह्रो हुन्छ, प्रक्रियाको समय र लागत बढ्छ।

जालीको क्षति: आयनहरूले जालीलाई क्षति पुर्‍याउन सक्छ, डोपन्टहरू मर्मत गर्न र सक्रिय गर्न पोस्ट-इम्प्लान्टेशन एनिलिङ आवश्यक पर्दछ।

उच्च लागत: उपकरण र प्रक्रिया लागत महत्त्वपूर्ण छन्।

हामी Semicorex मा विशेषज्ञ छौंस्वामित्व CVD कोटिंग संग ग्रेफाइट/सिरेमिकआयन प्रत्यारोपणमा समाधानहरू, यदि तपाइँसँग कुनै सोधपुछ छ वा थप विवरणहरू चाहिन्छ भने, कृपया हामीलाई सम्पर्क गर्न नहिचकिचाउनुहोस्।

सम्पर्क फोन: +86-13567891907

इमेल: sales@semicorex.com