2023-06-19
सिलिकन-अन-इन्सुलेटर (SOI) नैनो टेक्नोलोजी युगमा अवस्थित मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकन सामग्रीहरू प्रतिस्थापन गर्नका लागि समाधानहरू मध्ये एकको रूपमा चिनिन्छ र मूरको कानून प्रवृत्ति कायम राख्नको लागि एक प्रमुख उपकरण हो। सिलिकन-अन-इन्सुलेटर, एक सब्सट्रेट टेक्नोलोजी जसले परम्परागत बल्क सब्सट्रेट सिलिकनलाई "इन्जिनियर गरिएको" सब्सट्रेटले प्रतिस्थापन गर्दछ, सैन्य र अन्तरिक्ष इलेक्ट्रोनिक्स प्रणाली जस्ता विशेष अनुप्रयोगहरूमा 30 वर्ष भन्दा बढीको लागि प्रयोग गरिएको छ, जहाँ SOI को उत्कृष्ट फाइदाहरू छन्। विकिरण प्रतिरोध र उच्च गति विशेषताहरु।
SOI सामग्रीहरू SOI प्रविधिको विकासको लागि आधार हो, र SOI प्रविधिको विकास SOI सामग्रीको निरन्तर विकासमा निर्भर गर्दछ। कम लागत, उच्च-गुणस्तर SOI सामग्रीको अभाव SOI प्रविधिको लागि ठूलो मात्रामा औद्योगिक उत्पादनमा प्रवेश गर्नको लागि प्राथमिक बाधा भएको छ। हालैका वर्षहरूमा, SOI सामग्री तयारी प्रविधिको परिपक्वता संग, SOI प्रविधिको विकासलाई प्रतिबन्धित गर्ने सामग्री समस्या बिस्तारै हल हुँदैछ, जसमा अन्ततः दुई प्रकारको SOI सामग्री तयारी प्रविधि समावेश छ, अर्थात्, Speration-by-Oxygen implantation (SIMOX)। र बन्धन प्रविधि। बन्डिङ टेक्नोलोजीमा परम्परागत बन्ड र इच ब्याक (BESOI) प्रविधि र फ्रान्समा SOITEC को संस्थापक मध्ये एक M. Bruel द्वारा प्रस्तावित हाइड्रोजन आयन इन्जेक्सन र बन्डिङ संयोजन गर्ने स्मार्ट-कट टेक्नोलोजी, साथै Simbond SOI सामग्री तयारी संयोजन समावेश छ। 2005 मा डा. मेङ चेन द्वारा प्रस्तावित अक्सिजन पृथकता र बन्धन। नयाँ प्रविधिले अक्सिजन इन्जेक्सन अलगाव र बन्धन संयोजन गर्दछ।