Cantilever प्याडल थाहा छ

प्रशोधन गर्दा, अर्धचालक वेफरहरू सामान्यतया एक विशेष भट्टीमा तताउनु पर्छ। त्यस्ता भट्टीहरूमा सामान्यतया लामो, पातलो, बेलनाकार ट्यूबहरू हुन्छन्। वेफर्सहरू भट्टी र रिएक्टरमा यसरी राखिन्छन् कि तिनीहरू भट्टी वा रिएक्टरको गोलाकार क्रस-सेक्शनद्वारा परिभाषित प्लेनमा व्यवस्थित हुन्छन् र पूर्वनिर्धारित, सामान्यतया समान दूरीमा, केन्द्रको अक्षको साथ बिन्दुहरूमा छुट्टिएका हुन्छन्। भट्टी वा रिएक्टर। यो स्थिति प्राप्त गर्न, वेफरहरू सामान्यतया स्लटेड होल्डरहरूमा राखिन्छन्, जसलाई वेफर डुङ्गा भनिन्छ, जसले वेफरहरूलाई केन्द्रीय अक्षको साथ पङ्क्तिबद्ध स्पेस कन्फिगरेसनमा राख्छ।

प्रशोधन गर्नका लागि वेफर्सका ब्याचहरू भएका साना डुङ्गाहरू लामो क्यान्टिलिभर प्याडलहरूमा राखिन्छन् जसको माध्यमबाट ट्यूबलर फर्नेसहरू र रिएक्टरहरू घुसाउन र फिर्ता लिन सकिन्छ। त्यस्ता प्याडलहरूमा सामान्यतया फ्ल्याट क्यारियर खण्ड समावेश हुन्छ जसमा एक वा बढी साना डुङ्गाहरू राख्न सकिन्छ, र फ्ल्याट क्यारियर खण्डको एक छेउमा अवस्थित लामो ह्यान्डल, जसद्वारा प्याडलहरू ह्यान्डल गर्न सकिन्छ। एक ट्रान्जिसन भाग सामान्यतया ह्यान्डल र वाहक भागको बीचमा बनाइन्छ तिनीहरूलाई पूर्ण बनाउन। साथै, ह्यान्डल फर्नेस वा रिएक्टर बाहिर फैलिएको हुनुपर्छ ताकि यो र वेफर डुङ्गा हेरफेर गर्न सकिन्छ।

फर्नेस वा रिएक्टर भित्र वेफर जहाजको स्थिति महत्त्वपूर्ण छ किनभने प्रत्येक वेफरको केन्द्रलाई भट्टी वा रिएक्टरको केन्द्रीय अक्षको नजिक राख्नु वांछनीय छ जसमा वेफरहरू अधीनमा रहेका समान प्रशोधन अवस्थाहरू प्राप्त गर्न सकिन्छ। तसर्थ, वेफर्स बोक्ने जहाजको तौलको कारणले गर्दा प्याडलको झुकावलाई प्याडल डिजाइनमा विचार गर्नुपर्दछ, विशेष गरी जब प्याडल एक छेउमा समर्थित हुन्छ, अर्थात्, फर्नेस च्याम्बरबाट बाहिर निस्कने छेउमा। परिचालन वजन आवश्यकताहरूको परिणामस्वरूप प्याडल डिजाइनलाई विचार गर्नका साथै, प्याडलको विस्तारित छेउलाई स्थितिमा ठीकसँग समात्न डिजाइन गरिएको क्ल्याम्पहरूको सेट पनि प्रयोग गरिनुपर्छ। यी क्ल्याम्पहरू प्रयोग गर्न सरल हुँदा प्याडललाई ठ्याक्कै मनपर्ने स्थितिमा राख्नको लागि एकदम बलियो हुनुपर्छ र क्ल्याम्पिङको क्रममा प्याडलमा हुने क्षतिको सम्भावनालाई कम गर्दै।

त्यसकारण, अवस्थित क्ल्याम्पिङ प्रणालीहरूसँग मिल्दो रहँदा भारी भारको साथ प्रयोग गर्न सकिने क्यान्टिलिभर प्याडल आवश्यक थियो। त्यहाँ एक क्यान्टिलिभर प्याडलको आवश्यकता पनि थियो जसले यसलाई प्रयोग गर्न सकिने तौल भारहरूको सम्पूर्ण दायरामा स्वीकार्य विक्षेपण विशेषताहरू प्रदर्शन गर्दछ।

गएन्टिलिभर प्याडललाई CVD SiC पातलो तहको साथ पुनःक्रिस्टलाइज गरिएको सिलिकन कार्बाइड प्रयोग गर्न सिफारिस गरिन्छ, जुन उच्च शुद्धता हो र अर्धचालक प्रशोधनमा कम्पोनेन्टहरूका लागि उत्तम विकल्प हो।

Semicorex प्रदान गर्न सक्छउच्च गुणस्तरcantilever paddlesररेखाचित्र र काम गर्ने वातावरण अनुसार अनुकूलित सेवाहरू।