घर > समाचार > उद्योग समाचार

अर्धन्डरकन स्नानहेडहरू

2025-05-13

ग्यास वितरण प्लेट, प्राय: "नुहाओहेड" को रूपमा चिनिन्छ, परम्परागत स्नानहेडसँग मिल्दोजुल्दो हुन सक्छ, तर यसको मूल्य सयौं हजारौंको बीचमा पुग्न सक्दछ, एक विशिष्ट बाथरूम स्नान भन्दा कम।


ग्यास वितरण प्लेटको सतह सयौं वा हजारौं सानो वा हजारौं साना, निश्चित रूपमा व्यवस्थित प्वालहरू, राम्रोसँग बुनेको अलौतीको रूपमा मिल्दोजुल्दो छ। यस डिजाइनले ग्यास प्रवाह र इन्जेक्शन कोणको सही नियन्त्रणको लागि अनुमति दिन्छ, वेफर प्रशोधन क्षेत्रको प्रत्येक भागलाई प्रशोधनको गलामा "नुहाउने क्रममा समान रूपमा" छ। यसले उत्पादन दक्षता मात्र बढाउँदैन तर उत्पादन गुणस्तर पनि सुधार गर्दछ।


ग्यास वितरण प्लेट कुञ्जी प्रक्रियाहरूमा अभिन्न हो जस्तै सफाई, eccing, र region। यसले सेनीन्डुनिक प्रक्रियाहरूको शुद्धता र अन्तिम उत्पादनहरूको गुणस्तरलाई सीधा प्रभाव पार्दछ, यसलाई विभिन्न ग्यास वितरण अनुप्रयोगहरूमा एउटा महत्वपूर्ण कम्पोनेन्ट बनायो।

वेफर प्रतिक्रिया प्रक्रियाको बखत, को सतहबगड़घनग्राफरसँग कभर गरिएको छ (Aptraie 0.2-6 मिमी)। ठ्याक्कै डिजाइन गरिएको च्यानल संरचना र ग्यास मार्गको माध्यमबाट, विशेष प्रक्रिया ग्यास वर्दी ग्यास प्लेटमा हजारौं साना प्वालमा पार गर्न आवश्यक छ र त्यसपछि वेफर सतहमा जम्मा गर्नुहोस्। वेफरको विभिन्न क्षेत्रहरूमा फिल्टर लेयरले उच्च एकता र स्थिरता सुनिश्चित गर्न आवश्यक छ। तसर्थ, सरसफाइ र तुलनाको प्रतिरोधको अत्यधिक उच्च आवश्यकताहरू, ग्यास वितरण प्लेटमा ग्यास वितरण प्लेटमा साना प्वालमा सपोर्टिताको स्थिरताहरू र भित्री भित्तामा जलाइएको यदि एपर्चर साइज सहिष्णुता र स्थिरता मानक विचलन धेरै ठूलो छ वा त्यहाँ कुनै भित्री भित्तामा, त्यहाँ जलाउने फिल्म उत्पादनको मोटाईमा असर पार्नेछ।


ग्यास वितरण प्लेटको विषय कहिलेकाँही भंगुर सामग्री (जस्तै एकल क्रिस्टल सामग्री, क्वार्ट्ज गिलास, सीरमिक), जुन बाह्य शक्तिको कार्य अन्तर्गत ब्रेक गर्न सजिलो छ। यो micals0 पटक मा एक अल्ट्रा-गहिरो प्वाल हो, र कटौती स्थिति सीधा अवलोकन गर्न सकिदैन। थप रूपमा, काट्ने गर्मी प्रसारित गर्न सजिलो छैन र चिप हटाउने कुरा गाह्रो छ, र ड्रिल बिट चिप लगाइएको छ। तसर्थ, यसको प्रशोधन र तयारी धेरै गाह्रो छ।


थप रूपमा, प्लाज्मा-सहायता गरिएको प्रक्रियामा (जस्तै PECVD र सुख्खा एन्चिंग), इलेक्ट्माको एक भागलाई प्रमोट गर्न आरएफ पावर आपूर्तिको रूपमा एक समान इलेक्ट्रिक फाँट निर्माण गर्न आवश्यक छ।


अर्धवालक निर्माण प्रक्रियामा प्रयोग भएका ग्याँस उच्च तापमान, उच्च दबाब वा संसारिक हुन सक्छ, श्रोज-प्रतिरोधी सामग्रीबाट बनिएको छ। वास्तविक उत्पादनमा, विभिन्न प्रयोग परिदृश्यहरूको कारण र वास्तविक आवश्यक यथार्थता, ग्यास वितरण प्लेट निम्न दुई कोटिहरूमा विभाजन गर्न सकिन्छ यसको भौतिक संरचना अनुसार निम्न दुई कोटिहरूमा विभाजन गर्न सकिन्छ:

(1) धातु ग्यास वितरण प्लेट

धातु ग्यास वितरण प्लेटहरूको सामग्रीहरू एल्युमिनियम एलिएली, स्टेनलेस स्टील र निकल धातु समावेश छन्, जस मध्ये सबैभन्दा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिएको धातु ग्यास वितरण, किनकि यसले राम्रो थर्मइनल कम्युनिटी र कडा परिश्रमको प्रतिरोध हो। यो व्यापक रूपमा उपलब्ध छ र प्रक्रिया गर्न सजिलो छ।

(2) गैर-मेटल ग्यास वितरण प्लेट

गैर मेटालिक ग्यास वितरण प्लेटहरू समावेश गर्दछ एकल क्रिस्टल सिलिकन, क्वार्ट्ज गिलास र सिरेमिक सामग्री समावेश गर्दछ। ती मध्ये साधारण रूपमा प्रयोग गरिएको सिरेमिक सामग्रीहरू CVD-SIC, एल्युमिना सिरमेक्स, सिलिकेसन नाइट्रिड स्मारकहरू, आदि।





सेमीरेटेडले उच्च-गुणवत्ता प्रदान गर्दछCVD SIC Sandhedsअर्धन्डोॉक्टर उद्योगमा। यदि तपाईंसँग कुनै प्रश्नहरू सोधपुछ वा थप विवरणहरू आवश्यक छ भने, कृपया हामीसँग सम्पर्कमा नकच्नुहोस्।


सम्पर्क फोन # +---1655678689191907

ईमेल: बिक्री @.silrorex.com



X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept