अर्ध मंडकमा सटीक सेरामिक कम्पोनेन्टहरू

स parutible प्रेरणा सिरामिकभागहरू अर्धोश्चालकताका मुख्य प्रक्रियामा कोर उपकरणको मुख्य कम्पोनेन्टहरू हुन्, जस्तै फोटोओलिथ्रोग्राफी, ए.यो इलेक्ट्रिकल कवच, सुरक्षा, र प्रवाह दृष्टिकोण।

उच्च-अन्त लिथोग्राफी मेसिनहरूमा, उच्च प्रक्रिया यथार्थता प्राप्त गर्नका लागि, व्यापक रूपमा राम्रो कार्यात्मक जटिलता, संरचनात्मक स्थिरता, र आयामी सटीकता, र आयामी स्थिरताका साथ व्यापक रूपमा प्रयोग गर्न आवश्यक छ।इलेक्ट्रोस्टेटिक चक, भ्याकुम-चक, ब्लक, चुम्बकीय इस्पात कंकाल कंकाल, ऐना, गाइड रेल, workpalie तालिका, मास्का मास्क टेबल, आदि

1. इलेक्ट्रोस्टेटिक चक

विद्युतीय चोक एक व्यापक रूपमा प्रयोग गरीएको सिलिकन वेल्फ क्लम्पिंग र स्थानान्तरण उपकरण सेट गर्नुहोस् जुन सेम्मोन्डरकय कम्पोनेन्टरमा स्थानान्तरण उपकरण हो। यो प्लाज्मा र भ्याकुम-आधारित सेमीन्डुन्डुनिक प्रक्रियाहरूमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिएको छ जस्तै Ecching, रासायनिक बाफ जम्मा र आयन इम्पालन। मुख्य सिरेमिक सामग्रीहरू एल्युमिना सिरमिक्स र सिलिकन नाइट्रिड सिरिटिक्स हुन्। निर्माण कठिनाइ जटिल संरचनात्मक संरचनात्मक डिजाइन, कच्चा मापन र पांकिंग, पेनर, तापमान नियन्त्रण, र उच्च वचन प्रशोधन प्रवृत्ति।

2 मोबाइल प्लेटफर्म

लिथोग्राफी मेसिनको मोबाइल प्लेटफर्मको सामग्री प्रणाली डिजाइन लिथोग्राफी मेसिनको उच्च शुद्धता र उच्च गतिको कुञ्जी हो। स्क्यानिंग प्रक्रियाको बेला उच्च-स्पोर्ट आन्दोलनको कारण मोबाइल प्लेटफर्मको विवादको प्रतिरोध गर्न यस प्लेटफर्म सामग्रीको साथ कम विशिष्ट कठोरताका साथ कम थर्मल विस्तार सामग्री समावेश गर्नुपर्दछ, जुन त्यस्तो सामग्रीको उच्च मोड्युलस र कम घनत्व आवश्यकताहरू हुनुपर्दछ। थप रूपमा, सामग्रीलाई एक उच्च विशिष्ट कठोरता चाहिन्छ, जसले पूर्ण प्लेटफर्मलाई समान त्रिश र गतिको साथ समान विचर्शत स्तर कायम गर्दछ। बढ्दो विकृति बिना मास्क स्विच गरेर मास्कहरू स्विच गरेर, प्रसारण बढेको छ, र कार्य दक्षता उच्च परिशुद्ध सुनिश्चिततामा सुधार आएको छ।

प्रिडटेन्मिने चिप प्रकार्य प्राप्त गर्न कोलमा मास्कबाट चिप सर्किट आंकेक ट्रान्सफर गर्न, ईचिंग प्रक्रिया महत्त्वपूर्ण अंश हो। ECCHing उपकरणमा सिरेमिक सामग्रीबाट बनेका कम्पोनेन्टहरूले मुख्यतया चेम्बर, सजीवर्ता प्लेट, नोजान, ध्यान दिएर र इलेक्ट्रोस्टेटिक चक समावेश गर्दछ।

3 कोठा

सेमिडीआटोन्डरकय उपकरणहरूको न्यूनतम सुविधा आकारको रूपमा Wefer दोषका लागि आवश्यकताहरू अधिक कडा भएको छ। धातु अशुद्धताहरू र कणहरूद्वारा प्रदूषणबाट बच्न, जुन अर्धवांडोरक्टिक उपकरणका उपकरणहरू र क्याभेटहरूमा कम्पोनेन्टहरूको सामग्रीहरूको लागि अधिक कडा आवश्यकताहरू प्रस्तुत गरिएको छ। वर्तमानमा, सिटेमिक सामग्रीहरू मेशिन गभ्हरू एक्सटाइंग मेसिन पेभियतका लागि मुख्य सामग्रीहरू बनेका छन।

भौतिक आवश्यकताहरू (1) उच्च शुद्धता र कम धातु अशुद्ध सामग्री; (2) मुख्य कम्पोनेन्टहरूको स्थिर रासायनिक गुणहरू, विशेष गरी हालोजेन क्षतिग्रस्त ग्याँसको साथ विशेष गरी कम रसायनिक प्रतिक्रिया दर; ()) उच्च घनत्व र केही खुला पोरहरू; ()) सानो अन्नको र कम अन्नवंश मध्य चरण सामग्री; ()) उत्कृष्ट मेकानिकल गुणहरू र सजीलो उत्पादन र प्रशोधन; ()) केहि कम्पोनेन्टहरूसँग अन्य प्रदर्शन आवश्यकताहरू हुन सक्छ, जस्तै राम्रो डाइलेक्ट्रल गुणहरू, इलेक्ट्रिकल सवारी साधन वा थर्मल संकुचित।

4. स्नान टाउको

यसको सतहले घनताका साथ सयौं वा हजारौं सानासँग प्वालहरू मार्फत वितरण गरेको छ, जस्तै एक ठ्याक्कै बुनेको अनौंठो नेटवर्क, प्रोफेल प्रोसेसिंग र उत्पाद दक्षता र उत्पादको गुणस्तर नियन्त्रण गर्न सकिन्छ।

प्राविधिक कठिनाइहरू सफाई र तुलनाको प्रतिरोधको लागि अत्यन्त उच्च आवश्यकताहरूको साथसाथै ग्यास वितरण प्लेटमा ग्यास वितरण प्लेटमा र भित्री भित्तामा जलाइएको छ। यदि एपर्चर साइज सहिष्णुता र स्थिरता मानक विचलन धेरै ठूलो छ वा त्यहाँ कुनै भित्री भित्तामा, त्यहाँ जलाउने फिल्मा मोटाईमा फरक हुनेछ, जसले उपकरण प्रक्रिया सेक्टरलाई सीधा असर पार्दछ।

5. फोकस बज

फोक रिंगको प्रकार्य सन्तुलित प्लाज्मा प्रदान गर्नु हो, जसलाई सिलिकन वेफरको समान स contriement ्ख्या चाहिन्छ। विगतमा, प्रयोग गरिएको सामग्री मुख्यतया सञ्चालनशील सिलिकन थियो, तर प्लाजरिन--प्लानियन फ्लोन फ्लोररोस्टेड उत्पादन गर्दछ, जसले यसको सेवाको दक्षता र कम उत्पादको दक्षता दिन्छ। SIC सँग एकल-क्रिस्टल ए Si को संक्षिप्तता छ, र प्लाज्मा ecching मा राम्रो प्रतिरोध छ, त्यसैले यो ध्यान केन्द्रित गर्न को लागी एक सामग्री को रूप मा प्रयोग गर्न सकिन्छ।

सेमीरेटेडले उच्च-गुणवत्ता प्रदान गर्दछसिरेमिक भागहरूअर्धन्डोॉक्टर उद्योगमा। यदि तपाईंसँग कुनै प्रश्नहरू सोधपुछ वा थप विवरणहरू आवश्यक छ भने, कृपया हामीसँग सम्पर्कमा नकच्नुहोस्।

सम्पर्क फोन # +---1655678689191907

ईमेल: बिक्री @.silrorex.com