किन सुक्खा नक्काशीको समयमा साइडवालहरू झुक्छन्

सुख्खा नक्काशी सामान्यतया भौतिक र रासायनिक कार्यहरू संयोजन गर्ने प्रक्रिया हो, जसमा आयन बमबारी एक महत्त्वपूर्ण भौतिक नक्काशी प्रविधि हो। नक्काशीको समयमा, घटना कोण र आयनहरूको ऊर्जा वितरण असमान हुन सक्छ।

यदि साइडवालहरूमा विभिन्न स्थान आयनहरूमा आयन घटना कोण भिन्न हुन्छ भने, नक्काशी प्रभाव पनि फरक हुनेछ। ठूला आयन घटना कोण भएका क्षेत्रहरूमा, साइडवालहरूमा आयन इचिङ प्रभाव बलियो हुन्छ, जसले गर्दा त्यस क्षेत्रमा थप साइडवाल नक्काशी हुन्छ र साइडवाल बेन्डिङ हुन्छ। यसबाहेक, असमान आयन ऊर्जा वितरणले पनि समान प्रभाव उत्पन्न गर्दछ; उच्च-ऊर्जा आयनहरूले सामग्रीलाई अझ प्रभावकारी रूपमा हटाउँदछ, परिणामस्वरूप साइडवालहरूमा विभिन्न स्थानहरूमा असंगत नक्काशी स्तरहरू, थप साइडवाल झुकाउने कारण।

फोटोरेसिस्टले सुक्खा नक्काशीमा मास्कको रूपमा काम गर्दछ, नक्कान आवश्यक नपर्ने क्षेत्रहरूलाई सुरक्षित गर्दछ। यद्यपि, फोटोरेसिस्टलाई प्लाज्मा बमबारी र नक्काशीको समयमा रासायनिक प्रतिक्रियाहरूले पनि असर गर्छ, र यसको गुणहरू परिवर्तन हुन सक्छ।

असमान फोटोरेसिस्ट मोटाई, नक्काशीको समयमा असंगत खपत दरहरू, वा विभिन्न स्थानहरूमा फोटोरेसिस्ट र सब्सट्रेट बीचको आसंजनमा भिन्नताहरूले नक्काशीको क्रममा साइडवालहरूको असमान सुरक्षा निम्त्याउन सक्छ। उदाहरणका लागि, पातलो वा कमजोर फोटोरेसिस्ट आसंजन भएका क्षेत्रहरूले अन्तर्निहित सामग्रीलाई अझ सजिलैसँग नक्काशी गर्न अनुमति दिन्छ, जसले यी स्थानहरूमा साइडवाल झुकाउन नेतृत्व गर्दछ।

सब्सट्रेट सामग्री विशेषता भिन्नताहरू

नक्काशी गरिएको सब्सट्रेट सामग्रीले विशेषताहरूमा भिन्नताहरू प्रदर्शन गर्न सक्छ, जस्तै विभिन्न क्षेत्रहरूमा क्रिस्टल अभिमुखीकरण र डोपिङ सांद्रता। यी भिन्नताहरूले नक्काशी दर र चयनशीलतालाई असर गर्छ।

क्रिस्टलीय सिलिकनलाई उदाहरणको रूपमा लिँदा, सिलिकन परमाणुहरूको व्यवस्था क्रिस्टल अभिमुखीकरणहरूमा भिन्न हुन्छ, परिणामस्वरूप नक्काशी ग्यास र नक्काशी दरहरूसँग प्रतिक्रियाशीलतामा भिन्नता हुन्छ। नक्काशीको समयमा, भौतिक गुणहरूमा यी भिन्नताहरूले साइडवालहरूमा विभिन्न स्थानहरूमा असंगत नक्काशीको गहिराइ निम्त्याउँछ, अन्ततः साइडवाल झुकाउने कारण।

उपकरण-सम्बन्धित कारकहरू

नक्काशी उपकरणको कार्यसम्पादन र अवस्थाले पनि नक्कली परिणामहरूमा महत्त्वपूर्ण प्रभाव पार्छ। उदाहरणका लागि, प्रतिक्रिया कक्ष भित्रको असमान प्लाज्मा वितरण र असमान इलेक्ट्रोड पहिरनले नक्काशीको समयमा वेफर सतहमा आयन घनत्व र ऊर्जा जस्ता प्यारामिटरहरूको असमान वितरण हुन सक्छ।

यसबाहेक, असमान तापक्रम नियन्त्रण र ग्यास प्रवाह दरमा सानो उतार-चढावले पनि नक्काशी एकरूपतालाई असर गर्न सक्छ, साइडवाल झुकाउन थप योगदान गर्दछ।

Semicorex उच्च गुणस्तर प्रदान गर्दछCVD SiC कम्पोनेन्टहरूनक्काशी को लागी। यदि तपाइँसँग कुनै सोधपुछ छ वा थप विवरणहरू चाहिन्छ भने, कृपया हामीलाई सम्पर्क गर्न नहिचकिचाउनुहोस्।

सम्पर्क फोन # +86-13567891907

इमेल: sales@semicorex.com