ड्राई इचिङमा कोर प्यारामिटरहरू

सुक्खा नक्काशी माइक्रो-इलेक्ट्रो-मेकानिकल प्रणालीहरूको निर्माण प्रक्रियाहरूमा मुख्य प्रविधि हो। सुक्खा नक्काशी प्रक्रियाको प्रदर्शनले अर्धचालक उपकरणहरूको संरचनात्मक शुद्धता र परिचालन प्रदर्शनमा प्रत्यक्ष प्रभाव पार्छ। नक्काशी प्रक्रियालाई ठीकसँग नियन्त्रण गर्न, निम्न कोर मूल्याङ्कन प्यारामिटरहरूमा नजिकको ध्यान दिनु पर्छ।

1. Etch Rete

नक्काशी दरले प्रति एकाइ समय (एकाइहरू: nm/min वा μm/min) नक्काशी गरिएको सामग्रीको मोटाईलाई जनाउँछ। यसको मूल्यले नक्कली दक्षतालाई प्रत्यक्ष असर गर्छ, र कम नक्काशी दरले उत्पादन चक्रलाई लम्ब्याउनेछ। यो ध्यान दिनुपर्छ कि उपकरण प्यारामिटरहरू, सामग्री गुणहरू, र नक्काशी क्षेत्र सबै नक्काशी दरलाई प्रभाव पार्छ।

2. चयनशीलता

सब्सट्रेट चयनशीलता र मास्क चयनशीलता दुई प्रकारका ड्राई एचिङ चयनशीलता हुन्। आदर्श रूपमा, उच्च मास्क चयनशीलता र कम सब्सट्रेट चयनशीलता संग नक्काशी ग्यास छनोट गर्नुपर्छ, तर वास्तवमा, छनोट भौतिक गुणहरू विचार गरेर अनुकूलित हुनुपर्छ।

3. एकरूपता

भित्र-वेफर एकरूपता भनेको एउटै वेफर भित्र विभिन्न स्थानहरूमा दर स्थिरता हो, जसले अर्धचालक यन्त्रहरूमा आयामी विचलनहरू निम्त्याउँछ। जबकि वेफर-देखि-वेफर एकरूपताले विभिन्न वेफरहरू बीचको दर स्थिरतालाई जनाउँछ, जसले ब्याच-देखि-ब्याच सटीकता उतार-चढ़ावहरू निम्त्याउन सक्छ।

4. क्रिटिकल आयाम

महत्वपूर्ण आयामले रेखा चौडाइ, खाडल चौडाइ, र प्वाल व्यास जस्ता सूक्ष्म संरचनाहरूको ज्यामितीय मापदण्डहरूलाई जनाउँछ।

5. पक्ष अनुपात

पक्ष अनुपात, नामले सुझाव दिन्छ, एपर्चर चौडाइमा नक्काशीको गहिराइको अनुपात हो। पक्ष अनुपात संरचनाहरू MEMS मा 3D यन्त्रहरूका लागि मुख्य आवश्यकता हो, र तल्लो दरको गिरावटबाट बच्न ग्यास अनुपात र शक्ति नियन्त्रण मार्फत अनुकूलित हुनुपर्छ।

6.Etch क्षति

ओभर-इचिङ, अन्डरकट र साइड इचिङ जस्ता इच क्षतिले आयामी शुद्धतालाई कम गर्न सक्छ (जस्तै, इलेक्ट्रोड स्पेसिङ विचलन, क्यान्टिलिभर बीमको संकुचन)।

7. लोडिङ प्रभाव

लोडिङ इफेक्टले इचिङ रेट नन-लाइनर रूपमा परिवर्तन हुने घटनालाई जनाउँछ जस्तै चरको क्षेत्र र रेखाविड्थ इचेड ढाँचाको साथ। अर्को शब्दमा, विभिन्न नक्काशी गरिएका क्षेत्रहरू वा लाइनविड्थहरूले दर वा आकारविज्ञानमा भिन्नता ल्याउनेछ।

Semicorex मा विशेषज्ञSiC लेपितरTaC लेपितग्रेफाइट समाधानहरू सेमीकन्डक्टर निर्माणमा इचिङ प्रक्रियाहरूमा लागू गरिन्छ, यदि तपाईंसँग कुनै सोधपुछ छ वा थप विवरणहरू चाहिन्छ भने, कृपया हामीलाई सम्पर्क गर्न नहिचकिचाउनुहोस्।

सम्पर्क फोन: +86-13567891907

इमेल: sales@semicorex.com