सिलिकन एपिटेक्सी प्रक्रिया के हो?

सिलिकन एपिटेक्सी एकीकृत सर्किटहरूको लागि प्राथमिक निर्माण प्रक्रिया हो। यसले IC उपकरणहरूलाई हल्का डोप गरिएको एपिटेक्सियल तहहरूमा भारी डोप गरिएको दफन तहहरूमा निर्माण गर्न अनुमति दिन्छ, जबकि बढेको PN जंक्शनहरू पनि बनाउँछ, यसरी ICs को अलगाव समस्या समाधान गर्दछ।सिलिकन एपिटेक्सियल वेफर्सअलग सेमीकन्डक्टर उपकरणहरू निर्माण गर्नका लागि प्राथमिक सामग्रीहरू पनि हुन् किनभने तिनीहरूले यन्त्रहरूको अगाडि भोल्टेज ड्रप घटाउँदै PN जंक्शनहरूको उच्च ब्रेकडाउन भोल्टेज सुनिश्चित गर्न सक्छन्। CMOS सर्किटहरू बनाउनको लागि सिलिकन एपिटेक्सियल वेफरहरू प्रयोग गर्नाले लच-अप प्रभावहरूलाई दबाउन सक्छ, त्यसैले, सिलिकन एपिटेक्सियल वेफर्सहरू CMOS उपकरणहरूमा व्यापक रूपमा प्रयोग भइरहेका छन्।

सिलिकन एपिटेक्सीको सिद्धान्त

सिलिकन एपिटेक्सीले सामान्यतया वाष्प चरण एपिटेक्सी फर्नेस प्रयोग गर्दछ। यसको सिद्धान्त भनेको सिलिकन स्रोतको विघटन (जस्तै सिलेन, डाइक्लोरोसिलेन, ट्राइक्लोरोसिलेन, र सिलिकन टेट्राक्लोराइडले हाइड्रोजनसँग प्रतिक्रिया गरेर सिलिकन उत्पन्न गर्छ। वृद्धिको क्रममा, PH₃ र B₂H₆ जस्ता डोपिङ ग्यासहरू एकैसाथ प्रस्तुत गर्न सकिन्छ डोसियसियल ग्यासको दबाबलाई एकै समयमा नियन्त्रण गरिन्छ। एक विशिष्ट प्रतिरोधात्मकता संग एक epitaxial तह बनाउन।

यन्त्रहरूको लागि सिलिकन एपिटेक्सीको फाइदाहरू

1. कम शृङ्खला प्रतिरोध, अलगाव प्रविधिहरू सरल बनाउनुहोस्, र CMOS मा सिलिकन नियन्त्रित रेक्टिफायर प्रभाव कम गर्नुहोस्।

2. उच्च (कम) प्रतिरोधात्मकता एपिटेक्सियल तहहरू कम (उच्च) प्रतिरोधात्मक सब्सट्रेटहरूमा एपिटेक्सियल रूपमा बढ्न सकिन्छ;

3. एक N(P) प्रकारको एपिटेक्सियल तहलाई P(N) प्रकारको सब्सट्रेटमा सीधा PN जंक्शन बनाउनको लागि उब्जाउन सकिन्छ, क्षतिपूर्ति समस्यालाई हटाउँदै जुन एकल क्रिस्टल सब्सट्रेटमा फैलावट विधि प्रयोग गरेर PN जंक्शन निर्माण गर्दा उत्पन्न हुन्छ।

4. मास्किङ टेक्नोलोजीको साथ संयुक्त, विशेष संरचनाहरू भएका एकीकृत सर्किटहरू र यन्त्रहरूको निर्माणको लागि अवस्था सिर्जना गर्दै, तोकिएको क्षेत्रहरूमा चयनात्मक एपिटेक्सियल वृद्धि गर्न सकिन्छ।

5. epitaxial वृद्धि प्रक्रिया को समयमा, डोपिङ को प्रकार र एकाग्रता आवश्यकता अनुसार समायोजित गर्न सकिन्छ; एकाग्रतामा परिवर्तन या त अचानक वा क्रमिक हुन सक्छ।

6. डोपेन्टको प्रकार र एकाग्रता एपिटेक्सियल वृद्धि प्रक्रियाको क्रममा आवश्यकता अनुसार समायोजन गर्न सकिन्छ। एकाग्रता परिवर्तन अचानक वा क्रमिक हुन सक्छ।

Semicorex प्रदान गर्दछ सी एपिटेक्सियल सीघटकहरूलागि आवश्यक छ अर्धचालक उपकरणको लागि। यदि तपाइँसँग कुनै सोधपुछ छ वा थप विवरणहरू चाहिन्छ भने, कृपया हामीलाई सम्पर्क गर्न नहिचकिचाउनुहोस्।

सम्पर्क फोन # +86-13567891907

इमेल: sales@semicorex.com