फोकस रिंग को कार्य के हो?

सेमीकन्डक्टर नक्काशी प्रक्रियाहरूको एकरूपता र स्थिरता सुनिश्चित गर्न फोकस रिंगहरू आवश्यक घटक हुन्। बिजुली र थर्मल क्षेत्रहरूको सटीक नियन्त्रणको माध्यमबाट, फोकस रिंगहरूले वेफरको सतहमा प्लाज्मा केन्द्रित गर्न सक्छ, वेफरमा सबै स्थानहरूमा लगातार नक्काशी परिणामहरू सुनिश्चित गर्दै।

फोकस घण्टीहरूको कार्यहरू

1. नक्काशी एकरूपता सुधार

नक्काशी प्रक्रियामा, फोकस रिंगहरूले प्लाज्मामा ध्यान केन्द्रित गर्न सक्छवेफरसतह, जसले प्रभावकारी रूपमा समान प्लाज्मा घनत्व, आयन बमबारी कोण, र ऊर्जा स्तरहरू दुवै वेफर किनारा र केन्द्र क्षेत्रहरूमा ग्यारेन्टी गर्दछ। तिनीहरूले वेफर किनारामा बिजुली क्षेत्र वितरणलाई सही गर्छन्, नक्काशी दर, महत्वपूर्ण आयाम, र किनारा प्रभावहरूको कारणले गर्दा आकारविज्ञान भिन्नताहरू घटाउँछन्, यसरी सम्पूर्ण वेफर सतहमा नक्काशी स्थिरता सुनिश्चित गर्दछ। यदि फोकस गर्ने औंठी अत्यधिक रूपमा लगाएको छ वा त्यहाँ कुनै फोकल रिंग छैन भने, प्लाज्मा वेफर किनारबाट फैलिनेछ, अन्ततः किनारा र केन्द्र क्षेत्रहरू बीचको लाइन चौडाइमा गैर-अनुरूप विचलनहरू निम्त्याउँछ।

2. इलेक्ट्रोस्टेटिक चक सुरक्षित गर्नुहोस्

फोकस रिंगहरू सामान्यतया इलेक्ट्रोस्टेटिक चकहरूको वेफर क्यारियर सतह बाहिर स्थापित हुन्छन्, सीधा प्लाज्मा बमबारी र जंगको सम्पर्कमा। नक्काशी प्रक्रियाको क्रममा प्लाज्मालाई इलेक्ट्रोस्टेटिक चकहरूसँग सम्पर्क गर्नबाट रोक्नको लागि भौतिक बाधाको रूपमा यो किस्ता सेटअप सेवाहरू, जसले गर्दा प्लाज्मा क्षतिको जोखिमलाई उल्लेखनीय रूपमा कम गर्दछ। फोकस रिङहरूले नक्कली प्रक्रियाको क्रममा उत्पन्न हुने उप-उत्पादनहरूलाई इलेक्ट्रोस्टेटिक चकहरू पालन गर्नबाट पनि रोक्न सक्छ, यसरी चक प्रदूषण र क्लोजिङको कारणले हुने कार्यसम्पादन गिरावटबाट बच्न सक्छ। यसले इलेक्ट्रोस्टेटिक चकहरूको मर्मत चक्र र आयुलाई धेरै विस्तार गर्दछ, उपकरण मर्मत र प्रतिस्थापन लागत घटाउँछ।

फोकस रिंगहरू सामान्यतया उच्च-शुद्धताबाट बनाइन्छक्वार्ट्ज, सिलिकनरसिलिकन कार्बाइडसामग्री। तिनीहरूको उत्कृष्ट व्यापक प्रदर्शनको लागि धन्यवाद, सिलिकन कार्बाइड सामग्रीहरू बिस्तारै अत्याधुनिक नक्काशी प्रक्रियाहरूको लागि मुख्यधारा विकल्प बन्छन्। चीन मा एक विश्वसनीय अर्धचालक फोकस रिंग आपूर्तिकर्ता को रूप मा, Semicorex उच्च गुणवत्ता प्रदान गर्दछसिलिकन कार्बाइड फोकस रिंगहरूनक्काशी उपकरणको विभिन्न आवश्यकताहरू मिलाउन विभिन्न आकारहरूको। Semicorex कुनै पनि समयमा तपाइँको सोधपुछ र खरिदहरु लाई स्वागत गर्दछ।