साधारण सेमीकन्डक्टर क्वार्ट्ज कम्पोनेन्ट र अनुप्रयोगहरू

क्वार्ट्ज त्रिकोणीय क्रिस्टल प्रणालीसँग सम्बन्धित छ, जुन सिलिकन डाइअक्साइडबाट बनेको त्रि-आयामी फ्रेमवर्क खनिज क्रिस्टल हो। सामान्यतया, शुद्ध क्वार्ट्ज रंगहीन र पारदर्शी हुन्छ, तर यसले ट्रेस पिग्मेन्ट आयनहरू, राम्रोसँग फैलिएको समावेश वा रङ केन्द्रहरूको गठनको परिणामको रूपमा विभिन्न रंगहरू लिन्छ। धेरै उत्कृष्ट गुणहरूको साथ, क्वार्ट्ज अर्धचालक निर्माणको विभिन्न प्रक्रियाहरूमा व्यापक रूपमा लागू हुन्छ, र यसको प्रदर्शन र गुणस्तरले सेमीकन्डक्टर उपकरणहरूको उपज, प्रदर्शन, र लागतलाई प्रत्यक्ष असर गर्छ।

1. क्वार्ट्ज क्रूसिबल

दक्वार्ट्ज क्रुसिबलउच्च-तापमान मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकन वृद्धि प्रक्रियामा polycrystalline सिलिकन कच्चा माल होल्ड गर्न प्रयोग गरिन्छ। स्थिर समर्थन सामग्री सुनिश्चित गर्न, क्वार्ट्ज क्रुसिबलहरूले उत्कृष्ट उच्च-तापमान स्थिरता (पिघलने बिन्दु> 1700 ℃) र कठोर उच्च-तापमान सञ्चालन अवस्थाहरूको चुनौतीहरूको सामना गर्न कम थर्मल विस्तार गुणांकको गर्व गर्न आवश्यक छ। अर्धचालक अनुप्रयोगहरूको लागि क्वार्ट्ज क्रुसिबलहरू ग्रेड 4N8 वा उच्चको उच्च शुद्धता क्वार्ट्जबाट निर्माण गर्न आवश्यक छ। यो बुद्धिमानी सामग्री चयनले प्रभावकारी रूपमा उच्च-तापमानको कारण क्वार्ट्ज क्रुसिबलबाट अशुद्धता वर्षाको कारण क्रिस्टल प्रदूषण जोखिमलाई कम गर्न सक्छ।

क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूबहरू सामान्यतया विभिन्न वेफर निर्माण प्रक्रियाहरू जस्तै प्रसार, अक्सीकरण, र रासायनिक वाष्प निक्षेप (CVD) को लागि उच्च-तापमान प्रतिक्रिया कक्षहरूको रूपमा सेवा गर्दछ। त्यसैलेक्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूबहरूउच्च-तापमान वातावरणको कारणले गर्दा तिनीहरूलाई विकृत वा नरम हुनबाट रोक्नको लागि उत्कृष्ट उच्च-तापमान प्रतिरोध फिचर गर्न आवश्यक छ। केही प्रक्रियाहरूमा, थर्मल स्थिरतामा हाइड्रोक्सिल समूहहरूको प्रभावलाई कम गर्न डिहाइड्रोक्सीलेसन उपचार आवश्यक हुन्छ। क्वार्ट्ज फर्नेस ट्युबहरूको निर्माणलाई पनि प्रतिक्रिया प्रक्रियाको क्रममा अशुद्धताहरू निस्कन र वेफर प्रशोधन परिणामहरूलाई असर गर्नबाट रोक्नको लागि धातुको अशुद्धता सामग्री ≤1 ppm भएको उच्च-शुद्धता क्वार्ट्ज सामग्री चाहिन्छ।

क्वार्ट्ज डुङ्गाहरू सामान्यतया क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूबहरूसँग दर्जनौं सयौं वेफरहरू बोक्न र ढुवानी गर्न प्रयोग गरिन्छ। त्यसैले,क्वार्ट्ज डुङ्गाहरूसामान्यतया समान उत्कृष्ट उच्च-तापमान प्रतिरोध, जंग प्रतिरोध, र क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूबहरू जस्तै मेकानिकल बलको सर्तमा स्थिर, भरपर्दो प्रदर्शन हुनु आवश्यक छ।

क्वार्ट्ज फोकस घण्टीहरूसुक्खा नक्काशी प्रक्रियाहरूको लागि विशेष रूपमा डिजाइन गरिएको हो। तिनीहरू सामान्यतया वेफरको वरिपरि स्थापना गरिन्छन् र प्लाज्मालाई एकरूपता बनाउन, प्रभावकारी रूपमा नक्काशी दर र वेफरमा ढाँचाको एकरूपता सुनिश्चित गर्न। यो अपरेटिङ वातावरणलाई प्लाज्मा क्षरणको लागि बलियो प्रतिरोध, अत्यधिक उच्च आयामी शुद्धता, र असामान्य डिस्चार्ज वा कण उत्पादन रोक्नको लागि एक चिकनी सतह समाप्त गर्न क्वार्ट्ज फोकस रिंगहरू आवश्यक पर्दछ।