आधुनिक सेमीकन्डक्टर निर्माणमा एनिलिङ प्रक्रियाहरू

टेक्नोलोजी नोडहरू संकुचित हुँदै जाँदा, अल्ट्रा-शैलो जंक्शनहरूको गठनले महत्त्वपूर्ण चुनौतीहरू प्रस्तुत गर्दछ। थर्मल एनिलिङ प्रक्रियाहरू सहितद्रुत थर्मल एनिलिङ (आरटीए)र फ्ल्यास ल्याम्प एनिलिङ (FLA) महत्त्वपूर्ण प्रविधिहरू हुन् जसले उच्च अशुद्धता सक्रियता दरहरू कायम राख्छन्, जबकि प्रसारलाई कम गर्दै, इष्टतम उपकरण प्रदर्शन सुनिश्चित गर्दै।

1. अल्ट्रा-शैलो जंक्शन गठन:

टेक्नोलोजी नोडहरू संकुचित हुँदै जाँदा, अल्ट्रा-शैलो जंक्शनहरू बनाउनु बढ्दो चुनौतीपूर्ण छ। द्रुत थर्मल एनिलिङ जस्ता प्रविधिहरू (RTA) र फ्ल्यास ल्याम्प एनिलिङ (FLA) उच्च अशुद्धता सक्रियता दरहरू प्राप्त गर्नका लागि महत्त्वपूर्ण छन् जबकि प्रसारलाई कम गर्दै, जसले गर्दा उपकरणको इष्टतम कार्यसम्पादन सुनिश्चित हुन्छ।

२. हाई-के गेट डाइलेक्ट्रिक्सको परिमार्जन:

पोस्ट-डिपोजिसन एनिलिङ (PDA) ले उच्च-के गेट डाइलेक्ट्रिक्सको विद्युतीय गुणहरूलाई उल्लेखनीय रूपमा बढाउँछ। यस प्रक्रियाले गेट चुहावट प्रवाहहरू घटाउँछ र डाइलेक्ट्रिक स्थिरता बढाउँछ, जुन उन्नत तर्क र मेमोरी उपकरणहरूको लागि महत्त्वपूर्ण छ।

3. धातु सिलिसाइड को गठन:

CoSi र NiSi जस्ता धातु सिलिसाइडहरूको अनुकूलन सम्पर्क र बल्क प्रतिरोध सुधार गर्न आवश्यक छ। एनेलिङ अवस्थाहरूमा सटीक नियन्त्रणले समग्र उपकरण दक्षता बढाउँदै, आदर्श मिश्र धातु चरणहरू सिर्जना गर्न सुविधा दिन्छ।

4. 3D एकीकरण प्रविधिहरू:

3D NAND र 3D DRAM जस्ता प्रविधिहरूमा, annealing प्रक्रियाहरू धेरै तहहरूमा लागू गरिनुपर्छ। द्रुत थर्मल प्रविधिहरूले प्रत्येक तहलाई इष्टतम प्रदर्शन प्राप्त गर्न सुनिश्चित गर्नमा मुख्य भूमिका खेल्छ।

सेमीकन्डक्टर निर्माणमा एनिलिङ महत्त्वपूर्ण छ, जाली क्षति मर्मत, अशुद्धता सक्रियता, फिल्म परिमार्जन, र तापक्रम, समय, र थर्मल बजेटको सटीक नियन्त्रण मार्फत धातु सिलिसाइड गठन सक्षम पार्दै। टेक्नोलोजी नोडहरू संकुचित हुँदा, उन्नत एनेलिङ विधिहरू जस्तैRTA, FLA, र लेजर स्पाइक annealing मुख्यधारा भएको छ। अगाडि हेर्दै, एनेलिङ प्रक्रियाले उदाउँदो सामग्री र उपकरणहरूको मागहरू पूरा गर्न नवीनता जारी राख्नेछ।

Semicorex उद्योग-अग्रणी प्रस्ताव गर्दछannealing समाधान, तपाईंको अर्धचालक उपकरणहरूले सटीक र विश्वसनीयताका साथ उच्चतम प्रदर्शन मापदण्डहरू पूरा गरेको सुनिश्चित गर्दै।

यदि तपाइँसँग कुनै सोधपुछ छ वा थप विवरणहरू चाहिन्छ भने, कृपया हामीलाई सम्पर्क गर्न नहिचकिचाउनुहोस्।

सम्पर्क फोन # +86-13567891907

इमेल: sales@semicorex.com