सिरेमिक इलेक्ट्रोस्टेटिक चकहरू वास्तवमा कसरी उत्पादन गरिन्छ?

परम्परागत वेफर क्ल्याम्पिङ विधिहरूमा सामान्यतया परम्परागत मेकानिकल उद्योगहरूमा प्रयोग हुने मेकानिकल क्ल्याम्पिङ र मोम बन्धनहरू समावेश हुन्छन्, ती दुवैले सजिलैसँग वेफरलाई क्षति पुर्‍याउन सक्छन्, वार्पिङको कारण बनाउँछन् र यसलाई दूषित गर्न सक्छन्, जसले प्रशोधन सटीकतालाई महत्त्वपूर्ण रूपमा असर गर्छ।

भ्याकुम चक कसरी विकसित भयो र किन हो?सिरेमिक इलेक्ट्रोस्टेटिक चकरुचाइएको?

समयको साथ, छिद्रयुक्त सिरेमिकबाट बनाइएको भ्याकुम चकहरू विकसित भए। यी चकहरूले वेफर समात्न सिलिकन वेफर र सिरेमिक सतह बीचको नकारात्मक दबाब प्रयोग गर्दछ, जसले स्थानीय विकृति निम्त्याउन सक्छ र समतलतालाई असर गर्न सक्छ। त्यसैले, पछिल्ला वर्षहरूमा,सिरेमिक इलेक्ट्रोस्टेटिक चकहरू, जसले स्थिर र एकसमान अवशोषण बल प्रदान गर्दछ, वेफर दूषित हुनबाट बचाउँछ, र प्रभावकारी रूपमा सिलिकन वेफरको तापक्रम नियन्त्रण गर्दछ, अल्ट्रा-पातलो वेफर्सका लागि आदर्श क्ल्याम्पिङ उपकरण बनेको छ।

को उत्पादन प्रक्रिया कस्तो छसिरेमिक इलेक्ट्रोस्टेटिक चकबाहिर निकालियो?

सामान्यतया, मल्टिलेयर सिरेमिक को-फायरिङ टेक्नोलोजी प्रयोग गरिन्छ, जसमा टेप कास्टिङ, स्लाइसिङ, स्क्रिन प्रिन्टिङ, ल्यामिनेशन, हट प्रेसिङ र सिन्टरिङ जस्ता प्रक्रियाहरू समावेश हुन्छन्।

Coulomb-प्रकारको लागिइलेक्ट्रोस्टेटिक चकहरू, डाइलेक्ट्रिक तहले प्रवाहकीय सामग्रीहरू समावेश गर्दैन। यसमा सिरेमिक पाउडरहरू, सॉल्भेन्टहरू, डिस्पर्सेन्टहरू, बाइन्डरहरू, प्लास्टिसाइजरहरू, र सिन्टेरिङ एड्सहरू एक स्थिर स्लरी सिर्जना गर्न मिश्रण समावेश गर्दछ। यो स्लरीलाई डाक्टर ब्लेड प्रयोग गरेर लेपित गरिन्छ, सुकाइन्छ र एक निश्चित मोटाईको सिरेमिक हरियो पानाहरू बनाउनको लागि काटिन्छ। JR-प्रकारको लागिइलेक्ट्रोस्टेटिक चकहरू, J-R तहको आवश्यक प्रतिरोध प्राप्त गर्न अतिरिक्त प्रतिरोधात्मकता समायोजकहरू (कंडक्टिभ सामग्री) मिसाइन्छ, त्यसपछि हरियो पानाहरू बनाउन टेप कास्टिङ गरिन्छ।

स्क्रिन प्रिन्टिङ मुख्यतया इलेक्ट्रोड तह तयार गर्न प्रयोग गरिन्छ। कन्डक्टिभ पेस्ट पहिले स्क्रिन प्रिन्टिङ प्लेटको एक छेउमा खन्याइन्छ। स्क्रिन प्रिन्टरमा squeegee को कार्य अन्तर्गत, प्रवाहकीय पेस्ट स्क्रिन प्लेटको जाल ओपनिङहरूबाट जान्छ र सब्सट्रेटमा जम्मा हुन्छ। प्रिन्टिङ प्रक्रिया पूरा हुन्छ जब squeegee स्क्रिन जाल मार्फत समान रूपमा चाँदीको पेस्ट फैलाउँछ।

हरियो सिरेमिक पानाहरू आवश्यक क्रममा (सब्सट्रेट तह, इलेक्ट्रोड तह, डाइलेक्ट्रिक तह) र तहहरूको संख्यामा स्ट्याक गरिएका छन्। त्यसपछि तिनीहरूलाई पूर्ण हरियो शरीर बनाउनको लागि विशिष्ट तापमान र दबाब अवस्थाहरूमा सँगै थिचिन्छ। यो सुनिश्चित गर्न को लागी महत्वपूर्ण छ कि दबाब हरियो शरीर को सम्पूर्ण सतह मा समान रूप मा वितरित छ कम्प्रेसन को समयमा एक समान संकुचन ग्यारेन्टी गर्न।

अन्तमा, पूर्ण हरियो शरीर एक भट्टी मा एकीकृत sintering गुजर्छ। सिन्टरिङ प्रक्रियाको समयमा समतलता र संकुचनमा नियन्त्रण सुनिश्चित गर्न उपयुक्त तापक्रम प्रोफाइल स्थापना गर्नुपर्छ। यो रिपोर्ट गरिएको छ कि जापानको NGK ले sintering को समयमा पाउडर को संकुचन दर लगभग 10% मा नियन्त्रण गर्न सक्छ, जबकि अधिकांश घरेलु उत्पादकहरु को अझै 20% वा अधिक को संकुचन दर छ।**

हामी Semicorex मा समाधानहरू प्रदान गर्नमा अनुभवी छौं सिरेमिक इलेक्ट्रोस्टेटिक चकरअन्य सिरेमिक सामग्रीअर्धचालक र PV क्षेत्रहरूमा लागू, यदि तपाईंसँग कुनै सोधपुछ छ वा थप विवरणहरू चाहिन्छ भने, कृपया हामीलाई सम्पर्क गर्न नहिचकिचाउनुहोस्।

सम्पर्क फोन: +86-13567891907

इमेल: sales@semicorex.com