प्लाज्मा प्रोसेसिंग फोकस रिंग

हाम्रो प्लाज्मा प्रशोधन फोकस रिंग RTA, RTP, वा कठोर रासायनिक सफाईको लागि अत्यधिक स्थिर छ, तिनीहरूलाई प्लाज्मा ईच (वा ड्राई ईच) चेम्बरहरूमा प्रयोगको लागि एक आदर्श विकल्प बनाउँछ। वेफर किनारा वा परिधिको वरिपरि नक्काशी एकरूपता सुधार गर्न डिजाइन गरिएको, हाम्रो फोकस घण्टी वा किनारा घण्टीहरू प्रदूषण र अनुसूचित मर्मतसम्भारलाई कम गर्न इन्जिनियर गरिएको छ।

हाम्रो SiC कोटिंग उच्च जंग र गर्मी प्रतिरोधी गुणहरू साथै उत्कृष्ट थर्मल चालकताको साथ एक घना, पहिरन-प्रतिरोधी सिलिकन कार्बाइड कोटिंग हो। हामी रासायनिक भाप निक्षेप (CVD) प्रक्रिया प्रयोग गरेर ग्रेफाइटमा पातलो तहहरूमा SiC लागू गर्छौं। यसले सुनिश्चित गर्दछ कि हाम्रो SiC फोकस रिङ्हरूमा उच्च गुणस्तर र स्थायित्व छ, तिनीहरूलाई तपाईंको प्लाज्मा ईच प्रशोधन आवश्यकताहरूको लागि भरपर्दो विकल्प बनाउँछ।

हाम्रो प्लाज्मा प्रशोधन फोकस रिंग बारे थप जान्नको लागि आज हामीलाई सम्पर्क गर्नुहोस्।

प्लाज्मा प्रशोधन फोकस रिंग को प्यारामिटरहरू

प्लाज्मा प्रशोधन फोकस रिंग को विशेषताहरु

- सेवा जीवन सुधार गर्न CVD सिलिकन कार्बाइड कोटिंग्स।

- उच्च प्रदर्शन शुद्ध कठोर कार्बन बनेको थर्मल इन्सुलेशन।

- कार्बन/कार्बन कम्पोजिट हीटर र प्लेट।- दुबै ग्रेफाइट सब्सट्रेट र सिलिकन कार्बाइड तहमा उच्च थर्मल चालकता, र उत्कृष्ट ताप वितरण गुणहरू छन्।

- पिनहोल प्रतिरोध र उच्च जीवनकालको लागि उच्च शुद्धता ग्रेफाइट र SiC कोटिंग