सेमीरोक्स पोर्चास साइज चक एक उच्च प्रदर्शन सिरमिक भ्याकुम चोक एक उच्च प्रदर्शन सिरमिक भ्याकुम चोक छ र अर्धन्डुनिक प्रशोधनको लागि सुरक्षित र वर्दी वेग अंडाकारको लागि डिजाइन गरिएको छ। यसको ईन्जिनियर गरिएको माइक्रो-पोर्स स्टोस्ट संरचनाले उत्कृष्ट शून्य वितरण सुनिश्चित गर्दछ, यसलाई शुद्धता अनुप्रयोगहरूको लागि आदर्श बनाउँदछ। *
सेमीरोएक्स पोखरी SIC चक एक सिरामिक भाग हो जुन सौन्दर्य, टेस्टिंग, र लिथोग्राफीको लागि सटीक ह्यान्डलिंगको लागि अग्रणी छ। चक माइक्रो-झाडी सिल्कोन कार्ब्यान्ड सिरमिक (SIC) को निर्मित छ। SIC सँग मेकानिकल शक्ति, रासायनिक प्रतिरोध, र थर्मल स्थिरता गुणहरू र किनार अर्धविश्यसव्य उत्पादन वातावरणको लागि आवश्यक छ।
पोखरी SIC चकमाको एक आवश्यक विशेषता भनेको यसको अद्वितीय माइक्रोस्ट्रेर्जरी हो, जसले 35 35% -40% को पोर्सानी प्रदर्शन गर्दछ। चकको साथ ग्रस्तको साथ दर्जीको साथ, ओभरलि present डिजाइनले स्पष्ट रूपमा नाजुक सेफर सब्सट्रेट्सहरू प्रदान गर्न अनुमति दिईएको छ र अन्य कम्युउन्ड अर्धवार्ताहरू र अन्य कम्याउन्ड अर्धोनिकहरू। भ्याकुम सञ्चार मोडले दुबै यो कण दूषित दुकान र यांत्रिक क्षतिलाई वेवास्ता गर्दछ, जसले प्रक्रियाको क्रममा वेफर अखण्डता संरक्षण गर्दछ।
चकको सिरामिक शरीर मुख्य रूपमा उच्च शुद्धता अनुभाग, जस्तै एलिमिना (Al2O3) को साथ अनुप्रयोगमा निर्भर गरी कार्यान्वयन तहहरूको लागि प्रयोग गरिएको छ। भौतिकको अनुसन्धान र विकास को रूप मा pore आकार र वितरण अनुमति दिन्छ वाफ्लो आकार र प्रक्रिया सर्तहरु मा निर्भर शक्ति को लागी। यदि यो पातलो वेफरमा भ्याकुमलाई नियन्त्रण गर्न महत्त्वपूर्ण छ भने, सानो pore आकार समावेश गरिनेछ। द्रुत प्रवाह दरको लागि जहाँ उपयुक्त छ, ठूलो pore आकार प्रयोग हुनेछ।
पोरास साइज चाउहरू रंगीन भिन्नता, सिरेबल रचना, र कृमिको सर्तहरूको परिणामस्वरूप रंग भिन्नता देखायो। सिलिकन कार्बडको रंग कालो वा गाढा खैरो भएको जस्तो कालो खैरो वा कालो वा कालो, यद्यपि ठूलो एलिमिना सामग्रीको साथ चक्की छ। रंगमा भिन्नताहरूले उत्पादनको प्रदर्शनमा कुनै प्रभाव पार्दैन र केवल ईन्जिनियर गरिएको गुणहरू प्रतिनिधित्व गर्दछ जुन विशिष्ट ग्राहक आवश्यकताको पालना गर्न सिर्जना गरिएको थियो।
उच्च-अन्त वेफर प्रशोधन उपकरणहरूमा, थर्मल स्थिरता र रासायनिक जैविकता दुई सबैभन्दा महत्त्वपूर्ण सुविधाहरू हुन्। सिलिकन कार्थेडले सरोज ग्याँस र थर्मल साइकलिंगलाई उत्कृष्ट प्रतिरोध प्रदान गर्दछ। पोखरी sic चक सफलतापूर्वक भ्याकुम चेम्बर र प्लाज्मा ईच उपकरणहरू र प्लाज्म परिवर्तनशील तापमान संग राम्रो प्रदर्शन गर्न जारी छ। चाउको को दुष्तालौली स्थिरता कायम गर्न तिनीहरूको क्षमता सुनिश्चित गर्दछ कि पर्फफेर समान स्थानमा, यद्यपि सटीकता आवश्यकताहरू हुन आयामको आधारमा परिष्कृत प्रक्रियामा योगदान पुर्याउन सकिन्छ।
सेमीरोएक्सशिया पोखरी SIC Chuks अधिकृत गठन र पास्टर प्रक्रियाहरू प्रयोग गरेर बनाइएको छ जसले एक दिम पाल्दै, उच्च फ्लेयल विस्तार प्रदान गर्दछ। प्रत्येक चकलाई पृष्ठ संरचना, फ्ल्याट र भ्याकुम प्रदर्शनका लागि भरपर्दो र भ्याकुम प्रदर्शनका लागि निरीक्षण गरिएको छ। कस्टम डिजाइनहरू विशेष वेफर आकारहरू र प्रणाली समायोजन आवश्यकताहरू समायोजित गर्न पनि उपलब्ध छन् जस्तै ब्याड-साइड ग्यास प्रवाह च्यानलहरू वा माउन्ट सुविधाहरू।
अन्तमा, पोखरी स्यासिल चोक एक उच्च विश्वसनीयता Quirity समर्थन समर्थन प्रणाली हो जो प्रारम्भिक वेफर प्रशोधन को लागी आवश्यकताहरु संग काम गर्न डिजाइन गरिएको छ। एक उच्च शून्य समात्दै क्षमताको साथ, अनुकूल पृष्ठ संरचना, र उत्कृष्ट भौतिक स्थिरता, यो आजको अर्धडौन्द्रकर्मी बनाम निर्माण लाइनहरूमा एक अपरिहार्य उत्पादन हो।