छिद्रपूर्ण SiC भ्याकुम चक

Semicorex छिद्रपूर्ण SiCभ्याकुम चकहरूअपरिहार्य कम्पोनेन्टहरू हुन्, जुन उन्नत अर्धचालक निर्माण प्रक्रियाहरूमा व्यापक रूपमा प्रयोग गर्न सक्षम छन्, जस्तै वेफर थिनिङ, डाइसिङ, ग्राइन्डिङ, पालिसिङ, फोटोलिथोग्राफी, इचिङ। तिनीहरूको शोषण प्लेटफर्म धेरै समान रूपमा वितरित माइक्रोन-स्केल छिद्रहरूको साथ एक छिद्रपूर्ण SiC सिरेमिक प्लेटको साथ निर्माण गरिएको छ। लगातार पोर व्यास र असाधारण थ्रु-होल दरको साथ, सेमिकोरेक्स पोरस SiC भ्याकुम चकहरूले भ्याकुम निकासीको लागि सहज ग्यास मार्ग प्रदान गर्दछ। सञ्चालनको क्रममा, चक र वेफरको बीचमा स्थिर र एकसमान नकारात्मक दबाब उत्पन्न हुन्छ, जसले उच्च-कुशल भ्याकुम क्ल्याम्पिङ र अर्धचालक वेफरहरूको रिलीजलाई अनुमति दिन्छ।

Semicorex छिद्रपूर्ण SiC भ्याकुम चकका फाइदाहरू 

1. असाधारण प्रशोधन परिशुद्धता

उन्नत अर्धचालक निर्माणमा प्रशोधन गरिएका सेमिकन्डक्टर वेफरहरू अत्यन्त पातलो हुन्छन्, त्यसैले थोरै झुकाउने, कम्पन वा असमान स्थानीय तनावले पनि लिथोग्राफी जस्ता महत्वपूर्ण प्रक्रियाहरूमा वेफर भाँच्न, वार्पिङ र कम सटीकता निम्त्याउन सक्छ। सेमीकोरेक्सछिद्रपूर्ण SiCभ्याकुम चकहरू उच्च-परिशुद्धता ग्राइन्डिङ र पॉलिशिंग मार्फत प्रशोधन गरिन्छ, Ra ＜ 0.1 μm को एक उत्तम सतह खुरदना प्राप्त गर्दै। यसले सेमिकोरेक्स पोरस SiC भ्याकुम चकहरूलाई उच्च परिशुद्धता सेमीकन्डक्टर निर्माणको लागि अनुकूलित परिचालन सतह प्रदान गर्न सक्षम बनाउँछ।

2. उच्च सफाई र उच्च जंग प्रतिरोध

कडा सेमीकन्डक्टर सफाई मापदण्डहरू पूर्ण रूपमा पूरा गर्न, सेमिकोरेक्सले उच्च-तापमान सिन्टेरिङ मार्फत उच्च-शुद्धता सिलिकन कार्बाइड कच्चा मालको साथ छिद्रयुक्त SiC भ्याकुम चकहरू उत्पादन गर्दछ। यसले सुनिश्चित गर्दछ कि चकहरू कण बहाव र माइग्रेटेबल धातु प्रदूषणबाट मुक्त छन्। SiC को उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरताबाट लाभ उठाउँदै, Semicorex पोरस SiC भ्याकुम चकहरूले कठोर क्षरण वातावरणको सामना गर्न सक्षम छन् र कुनै अतिरिक्त उप-उत्पादनहरू उत्पन्न गर्दैनन्, तिनीहरूलाई उच्च-ग्रेड सफा सेमीकन्डक्टर निर्माण प्रक्रियाहरूको लागि अत्यधिक उपयुक्त बनाउँदै।

3. उत्कृष्ट स्थायित्व र दीर्घकालीन स्थिरता

उत्पादन लाइनहरूमा प्रयोग हुने भ्याकुम चकहरूले हजारौं शोषण र रिलीज चक्रहरू, साथै दीर्घकालीन तापमान उतार-चढ़ावहरू सामना गर्नुपर्दछ। यसले भ्याकुम चकहरूको सामग्री प्रदर्शनमा अत्यन्त उच्च आवश्यकताहरू लगाउँछ। सेमिकोरेक्स पोरस SiC भ्याकुम चकहरूले स्थिर थर्मल विस्तारको साथ उत्कृष्ट सामग्री कठोरता र पहिरन प्रतिरोध सुविधा दिन्छ। तिनीहरूले उच्च-तापमान अवस्थाहरूमा कुनै क्रिप वा प्रदर्शन गिरावट देखाउँदैन, जसले महत्त्वपूर्ण रूपमा तिनीहरूको सेवा जीवन विस्तार गर्दछ र कम्पोनेन्ट मर्मत र प्रतिस्थापन आवृत्ति घटाउँछ।