डिफ्यूजन फर्नेसहरूको लागि प्रक्रिया ट्यूब

डिफ्युजन फर्नेसहरूको लागि सेमिकोरेक्स प्रक्रिया ट्यूब सामान्यतया CVD SiC कोटिंगको साथ उच्च-शुद्धता SiC बाट बनेको हुन्छ। यी सामग्रीहरू तिनीहरूको उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता र संक्षारक ग्याँसहरू र उच्च तापमानको प्रतिरोधको लागि छनौट गरिन्छ।

डिफ्युजन फर्नेसहरूको लागि सेमिकोरेक्स प्रक्रिया ट्यूब आकारमा बेलनाकार छ, बन्द छेउ र खुला छेउको साथ। यो प्रसार भट्टी मा सम्मिलित छ, एक सील कक्ष बनाउँछ जहाँ प्रसार प्रक्रिया हुन्छ। ग्यासको चुहावट रोक्न र भट्टी भित्र नियन्त्रित वातावरण कायम राख्न ट्यूबलाई सावधानीपूर्वक डिजाइन गरिएको हो।

डिफ्युजन फर्नेसहरूको लागि प्रक्रिया ट्यूबले अर्धचालक उपकरणहरूको निर्माणमा महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ। यसले प्रसार प्रक्रियाहरूको लागि एक नियन्त्रित वातावरण प्रदान गर्दछ, एकसमान डोपिङ प्रोफाइलहरू र प्रक्रिया प्यारामिटरहरूमा सटीक नियन्त्रण सुनिश्चित गर्दै। उच्च-शुद्धता सामग्रीको प्रयोग र सावधानीपूर्वक डिजाइन विचारहरूले प्रक्रिया ट्यूबको अखण्डता कायम राख्न र उच्च-गुणस्तरको अर्धचालक वेफर्सको उत्पादन सुनिश्चित गर्न मद्दत गर्दछ।