Inductively-Coupled Plasma (ICP) को लागि Semicorex को सिलिकन कार्बाइड लेपित ससेप्टर विशेष गरी उच्च-तापमान वेफर ह्यान्डलिंग प्रक्रियाहरू जस्तै epitaxy र MOCVD को लागि डिजाइन गरिएको हो। 1600°C सम्मको स्थिर, उच्च-तापमान ओक्सीकरण प्रतिरोधको साथ, हाम्रा वाहकहरूले थर्मल प्रोफाइलहरू, लामिनार ग्यास प्रवाहको ढाँचाहरू पनि सुनिश्चित गर्छन् र प्रदूषण वा अशुद्धता फैलाउनबाट रोक्छन्।
थप पढ्नुहोस्सोधपुछ पठाउनुहोस्