वेफर क्यारियर ट्रे

Semicorex ले अर्धचालक उद्योगहरूमा सिलिकन कार्बाइड तहहरूमा फोकस गर्ने तपाईंको OEM अर्ध निर्माण उपकरणहरू र वेफर ह्यान्डलिङ कम्पोनेन्टहरूका लागि सेमीकन्डक्टर-ग्रेड सिरेमिकहरू प्रदान गर्दछ। हामी धेरै वर्षदेखि वेफर क्यारियर ट्रेको निर्माता र आपूर्तिकर्ता छौं। हाम्रो वेफर क्यारियर ट्रेसँग राम्रो मूल्य लाभ छ र यसले युरोपेली र अमेरिकी बजारहरूका अधिकांश भागहरू कभर गर्दछ। हामी चीनमा तपाईंको दीर्घकालीन साझेदार बन्न तत्पर छौं।

सोधपुछ पठाउनुहोस्

उत्पादन विवरण

एपिटाक्सी वा MOCVD, वा वेफर ह्यान्डलिंग प्रशोधन जस्ता पातलो फिल्म डिपोजिसन चरणहरूको लागि मात्र होइन, सेमिकोरेक्सले वेफरहरूलाई समर्थन गर्न प्रयोग गरिने अल्ट्रा-शुद्ध सिरेमिक क्यारियर आपूर्ति गर्दछ। प्रक्रियाको केन्द्रमा, MOCVD को लागि वेफर क्यारियर ट्रे, पहिले डिपोजिसन वातावरणको अधीनमा छन्, त्यसैले यसमा उच्च ताप र जंग प्रतिरोध छ। SiC लेपित क्यारियरमा उच्च थर्मल चालकता, र उत्कृष्ट ताप वितरण गुणहरू पनि छन्।
हाम्रो वेफर क्यारियर ट्रे बारे थप जान्नको लागि आज हामीलाई सम्पर्क गर्नुहोस्।

वेफर क्यारियर ट्रे को प्यारामिटरहरू

प्राविधिक गुणहरू
अनुक्रमणिका	एकाइ	मूल्य
सामग्रीको नाम		प्रतिक्रिया Sintered सिलिकन कार्बाइड	दबाव रहित सिंटर सिलिकन कार्बाइड	पुन: स्थापित सिलिकन कार्बाइड
रचना		RBSiC	SSiC	R-SiC
बल्क घनत्व	g/cm3	3	३.१५ ± ०.०३	२.६०-२.७०
लचिलो शक्ति	MPa (kpsi)	३३८(४९)	३८०(५५)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
कम्प्रेसिभ शक्ति	MPa (kpsi)	११२०(१५८)	३९७०(५६०)	> 600
कठोरता	नूप	2700	2800	/
तोड्ने दृढता	MPa m1/2	4.5	4	/
थर्मल चालकता	W/m.k	95	120	23
थर्मल विस्तार को गुणांक	10^-6.1/°C	5	4	4.7
विशिष्ट गर्मी	जुल/g 0k	0.8	0.67	/
हावा मा अधिकतम तापमान	℃	1200	1500	1600
लोचदार मोडुलस	Gpa	360	410	240

SSiC र RBSiC बीचको भिन्नता:

1. Sintering प्रक्रिया फरक छ। RBSiC कम तापक्रममा सिलिकन कार्बाइडमा नि:शुल्क Si घुसाउनु हो, SSiC 2100 डिग्रीमा प्राकृतिक संकुचनद्वारा बनाइएको हो।

2. SSiC मा चिल्लो सतह, उच्च घनत्व र उच्च बल छ, अधिक कडा सतह आवश्यकताहरु संग केहि सील को लागी, SSiC राम्रो हुनेछ।

3. विभिन्न PH र तापमान अन्तर्गत विभिन्न प्रयोग गरिएको समय, SSiC RBSiC भन्दा लामो छ

वेफर क्यारियर ट्रे को विशेषताहरु

- सेवा जीवन सुधार गर्न CVD सिलिकन कार्बाइड कोटिंग्स।
- उच्च प्रदर्शन शुद्ध कठोर कार्बन बनेको थर्मल इन्सुलेशन।
- दुबै ग्रेफाइट सब्सट्रेट र सिलिकन कार्बाइड तहमा उच्च थर्मल चालकता, र उत्कृष्ट ताप वितरण गुणहरू छन्।
- पिनहोल प्रतिरोध र उच्च जीवनकालको लागि उच्च शुद्धता ग्रेफाइट र SiC कोटिंग

सिलिकन कार्बाइड सिरेमिकको उपलब्ध आकारहरू ¼

â सिरेमिक रड / सिरेमिक पिन / सिरेमिक प्लन्जर

â सिरेमिक ट्यूब / सिरेमिक बुशिंग / सिरेमिक आस्तीन

â सिरेमिक रिंग / सिरेमिक धुने / सिरेमिक स्पेसर

सिरेमिक डिस्क

â सिरेमिक प्लेट / सिरेमिक ब्लक

सिरेमिक बल

â सिरेमिक पिस्टन

â सिरेमिक नोजल

â सिरेमिक क्रुसिबल

â अन्य अनुकूलन सिरेमिक भागहरू