रोबोट अन्त प्रभावकर्ता

रोबोट एन्ड इफेक्टर रोबोटको हात हो जसले सेमीकन्डक्टर वेफरहरूलाई वेफर प्रशोधन उपकरण र क्यारियरहरूमा स्थानहरू बीच सार्दछ। रोबोट एन्ड इफेक्टर आयामी रूपमा सटीक र थर्मल रूपमा स्थिर हुनुपर्छ, जबकि एक चिकनी, घर्षण-प्रतिरोधी सतह भएको यन्त्रहरूलाई क्षति पुर्‍याउन वा कण प्रदूषण उत्पादन नगरी वेफरहरूलाई सुरक्षित रूपमा ह्यान्डल गर्नको लागि। हाम्रो उच्च-शुद्धता सिलिकन कार्बाइड (SiC) कोटिंग रोबोट एन्ड इफेक्टरले उच्च ताप प्रतिरोध, लगातार epi तह मोटाई र प्रतिरोधको लागि थर्मल एकरूपता, र टिकाऊ रासायनिक प्रतिरोध प्रदान गर्दछ।

रोबोट एन्ड इफेक्टरको प्यारामिटरहरू

रोबोट अन्त प्रभावकारी को विशेषताहरु

उच्च शुद्धता SiC लेपित ग्रेफाइट

उच्च गर्मी प्रतिरोध र थर्मल एकरूपता

चिल्लो सतहको लागि राम्रो SiC क्रिस्टल लेपित

रासायनिक सफाई विरुद्ध उच्च स्थायित्व

सामाग्री डिजाइन गरिएको छ कि दरार र delamination देखा पर्दैन।