MOCVD एपिटेक्सियल ग्रोथको लागि RTP क्यारियर

MOCVD Epitaxial Growth को लागि Semicorex RTP क्यारियर एपिटेक्सियल ग्रोथ र वेफर ह्यान्डलिंग प्रशोधन सहित अर्धचालक वेफर प्रशोधन अनुप्रयोगहरूको लागि आदर्श हो। कार्बन ग्रेफाइट ससेप्टरहरू र क्वार्ट्ज क्रुसिबलहरू MOCVD द्वारा ग्रेफाइट, सिरेमिक इत्यादिको सतहमा प्रशोधन गरिन्छ। हाम्रा उत्पादनहरूको मूल्यमा राम्रो फाइदा छ र यसले धेरै युरोपेली र अमेरिकी बजारहरूलाई समेट्छ। हामी चीनमा तपाईंको दीर्घकालीन साझेदार बन्न तत्पर छौं।

सोधपुछ पठाउनुहोस्

उत्पादन विवरण

Semicorex ले MOCVD Epitaxial Growth को लागि RTP वाहक आपूर्ति गर्दछ जुन वेफर्सलाई समर्थन गर्न प्रयोग गरिन्छ, जुन वास्तवमा RTA, RTP वा कठोर रासायनिक सफाईको लागि स्थिर छ। प्रक्रियाको केन्द्रमा, एपिटेक्सी ससेप्टरहरू, पहिले डिपोजिसन वातावरणको अधीनमा हुन्छन्, त्यसैले यसमा उच्च ताप र जंग प्रतिरोध छ। SiC लेपित क्यारियरमा उच्च थर्मल चालकता, र उत्कृष्ट ताप वितरण गुणहरू पनि छन्।
MOCVD Epitaxial Growth को लागि हाम्रो RTP वाहक थर्मल प्रोफाइलको समानता सुनिश्चित गर्दै, उत्कृष्ट ल्यामिनार ग्यास प्रवाह ढाँचा प्राप्त गर्न डिजाइन गरिएको हो। यसले वेफर चिपमा उच्च-गुणस्तरको एपिटेक्सियल वृद्धि सुनिश्चित गर्दै कुनै पनि प्रदूषण वा अशुद्धता फैलाउनबाट रोक्न मद्दत गर्दछ।
MOCVD Epitaxial Growth को लागि हाम्रो RTP क्यारियर बारे थप जान्नको लागि आज हामीलाई सम्पर्क गर्नुहोस्।

MOCVD एपिटेक्सियल ग्रोथको लागि RTP क्यारियरको प्यारामिटरहरू

CVD-SIC कोटिंग को मुख्य निर्दिष्टीकरण
SiC-CVD गुणहरू
क्रिस्टल संरचना	FCC β चरण
घनत्व	g/cm ³	3.21
कठोरता	Vickers कठोरता	2500
अनाज आकार	μm	२~१०
रासायनिक शुद्धता	%	99.99995
गर्मी क्षमता	J kg-1 K-1	640
उदात्तीकरण तापमान	℃	2700
फेलेक्सरल शक्ति	MPa (RT 4-बिन्दु)	415
युवाको मोडुलस	Gpa (4pt बेन्ड, 1300℃)	430
थर्मल विस्तार (C.T.E)	10-6K-1	4.5
थर्मल चालकता	(W/mK)	300

MOCVD एपिटेक्सियल ग्रोथको लागि RTP क्यारियरका सुविधाहरू

उच्च शुद्धता SiC लेपित ग्रेफाइट
उच्च गर्मी प्रतिरोध र थर्मल एकरूपता
चिल्लो सतहको लागि राम्रो SiC क्रिस्टल लेपित
रासायनिक सफाई विरुद्ध उच्च स्थायित्व
सामाग्री डिजाइन गरिएको छ ताकि दरार र delamination देखा पर्दैन।