RTP ग्रेफाइट क्यारियर प्लेट

सेमिकोरेक्सको आरटीपी ग्रेफाइट क्यारियर प्लेट अर्धचालक वेफर प्रशोधन अनुप्रयोगहरूको लागि उत्तम समाधान हो, एपिटेक्सियल वृद्धि र वेफर ह्यान्डलिंग प्रशोधन सहित। हाम्रो उत्पादन उच्च ताप प्रतिरोध र थर्मल एकरूपता प्रदान गर्न डिजाइन गरिएको छ, यो सुनिश्चित गर्दै कि एपिटेक्सी ससेप्टरहरू उच्च ताप र जंग प्रतिरोधको साथ डिपोजिसन वातावरणको अधीनमा छन्।

सोधपुछ पठाउनुहोस्

उत्पादन विवरण

हाम्रो उत्पादनले उच्च-शुद्धता SiC-कोटेड ग्रेफाइट सुविधा दिन्छ, जसले उत्कृष्ट ताप वितरण गुणहरू प्रदान गर्दछ, सुनिश्चित गर्दै कि SiC-लेपित क्यारियरको सतह चिल्लो छ, दरार र डेलामिनेशनबाट मुक्त छ। हाम्रो RTP ग्रेफाइट क्यारियर प्लेट राम्रोसँग सिलिकन कार्बाइड लेपित छ, यो सुनिश्चित गर्दै कि सतह चिल्लो र कुनै पनि दोषबाट मुक्त छ। यो उत्पादन कठोर रासायनिक सफाई विरुद्ध अत्यधिक टिकाऊ छ र दरार र delamination देखा पर्दैन भनेर सुनिश्चित गर्न डिजाइन गरिएको छ।
हामी हाम्रा प्रतिस्पर्धीहरूले मिलाउन नसक्ने मूल्य लाभ प्रस्ताव गर्छौं, र हामी चीनमा तपाईंको दीर्घकालीन साझेदार बन्न प्रतिबद्ध छौं।
हाम्रो RTP ग्रेफाइट क्यारियर प्लेटको साथ, तपाईं उत्कृष्ट प्रदर्शन, उच्च ताप प्रतिरोध, र थर्मल एकरूपताको आश्वासन पाउन सक्नुहुन्छ। SiC-लेपित क्यारियर उच्च तापक्रमको सामना गर्न डिजाइन गरिएको छ र रासायनिक सफाईको लागि अत्यधिक प्रतिरोधी छ, यो सुनिश्चित गर्दै कि यो धेरै वर्षसम्म रहन्छ। हाम्रो उत्पादन पनि प्रयोग गर्न सजिलो बनाउन डिजाइन गरिएको छ, यसलाई नयाँ र अनुभवी प्रयोगकर्ताहरू दुवैको लागि आदर्श बनाउँदै।
Semicorex मा, हामी हाम्रा ग्राहकहरूलाई उच्च गुणस्तरका उत्पादनहरू र सेवाहरू प्रदान गर्न प्रतिबद्ध छौं। हामी केवल उत्कृष्ट सामग्रीहरू प्रयोग गर्छौं, र हाम्रा उत्पादनहरू गुणस्तर र प्रदर्शनको उच्चतम मापदण्डहरू पूरा गर्न डिजाइन गरिएका छन्। हाम्रो RTP ग्रेफाइट क्यारियर प्लेट कुनै अपवाद छैन। हामी तपाइँको अर्धचालक वेफर प्रशोधन आवश्यकताहरु मा कसरी मद्दत गर्न सक्छौं बारे थप जान्नको लागि आज हामीलाई सम्पर्क गर्नुहोस्।

RTP ग्रेफाइट क्यारियर प्लेटको प्यारामिटरहरू

CVD-SIC कोटिंग को मुख्य निर्दिष्टीकरण
SiC-CVD गुणहरू
क्रिस्टल संरचना	FCC β चरण
घनत्व	g/cm ³	3.21
कठोरता	Vickers कठोरता	2500
अनाज आकार	μm	२~१०
रासायनिक शुद्धता	%	99.99995
गर्मी क्षमता	J kg-1 K-1	640
उदात्तीकरण तापमान	℃	2700
फेलेक्सरल शक्ति	MPa (RT 4-बिन्दु)	415
युवाको मोडुलस	Gpa (4pt बेंड, 1300℃)	430
थर्मल विस्तार (C.T.E)	10-6K-1	4.5
थर्मल चालकता	(W/mK)	300

RTP ग्रेफाइट क्यारियर प्लेटका विशेषताहरू

उच्च शुद्धता SiC लेपित ग्रेफाइट
उच्च गर्मी प्रतिरोध र थर्मल एकरूपता
चिल्लो सतहको लागि राम्रो SiC क्रिस्टल लेपित
रासायनिक सफाई विरुद्ध उच्च स्थायित्व
सामाग्री डिजाइन गरिएको छ ताकि दरार र delamination देखा पर्दैन।