SIC सिरमिक डु boats ्गा

सेमीरक्स SIC सिरमिक डु boats ्गाहरू विशेष रूपमा-आर्ट carries विशेष रूपमा सुरक्षित यातायात र प्रशोधनको लागि डिजाइन गरिएको हो र प्रशोधन सेमी बुटरमा व्यापक चरम वातावरणमा। अर्धवितिक उद्योगले द्रुत रूपमा नयाँ प्रदर्शन मानकहरू विश्वसनीय रूपमा, विश्वासपूर्वक, विश्वासपूर्वक, आधुनिक बनावट प्रक्रियाको लागि असहिष्णु र महत्वपूर्ण मागहरू प्रदान गर्दछ।

कडा थर्मल स्थिरता र शक्ति

SIC सिरमिन डु boat ्गाको परिभाषित विशेषता यसको धेरै उच्च थर्मल स्थिरता हो। SIC सिरमिक डु boats ्गाले 100000 डिग्री सेल्सियसलाई आक्रामक थर्मल साइकल प्रक्रियाहरूमा उनीहरूको आकार वा संरचना हराएन। अल्ट्रा-कम थर्मल विस्तार गुणाका कारण sic cramilul डु boats ्गाहरू विकृति र क्र्याक गर्दै, कडा सहिष्णुता र समग्र वेफर सुरक्षा अनुमति दिन्छन्।

उच्च शुद्धता र रासायनिक प्रतिरोध

SIC सिरेमिक डु boats ्गाहरू अल्ट्रा-उच्च शुद्धता सिलिकन कार्बर्डबाट बनाइएको छ। SIC RARAMIM डु boats ्गाहरू पनि रासायिक गिरावट, कमरल, र हार्डिंग प्लाज्मा प्रतिरोधी छन्। SIC सिरम डु by ्गाको सम्मानित प्रकृतिको अर्थ कथा ग्यासहरू, प्रतिक्रियाशील वातावरणको प्रक्रिया हो, एसिडिक अवस्था या त ड्राईभ प्रक्रियाबाट हानि पुर्याउँदैन। SIC सिरमिन डु boat ्गाको गैर-दूषित सतहले कुनै कटिलोको उत्पादन वा आयनलाई लजिंग सक्षम पार्दैन अशुद्धताहरूले उपकरण प्रदर्शन वा उत्पादनलाई बाधा पुर्याउँदैन।

सुरक्षित र सुरक्षित वेफर ह्यान्डलिंगको लागि सटीक ईन्जिनियरिंग

SIC arailail डु boats ्गाहरू कडा सहिष्णु भित्र निर्मित छन्, 100 मिमी, 1 1500 मिलीग्राम, 200 मिली, 200 मिमी, र अधिक, र अधिक अन्य व्यासका वाफर गर्न अनुमति दिन्छन्। SIC डु boats ्गाको संरचनात्मक डिजाइनले उत्कृष्ट फ्ल्याट, समानान्तर, र एक समान स्लट आकार प्रदान गर्दछ र अर्को प्रक्रिया वा उपकरणमा स्थानान्तरण गर्दा वेफरहरूको किनारहरू सुरक्षित गर्दछ। सबै SIC डु boats ्गाहरू कस्टम आयामहरूको साथ डिजाइनसँग डिजाइन गर्न सकिन्छ उपकरण सेट गर्न वा कुनै स्वचालित रूपमा कुनै विशेषता निर्दिष्टताहरू पूरा गर्न।

लामो जीवनकाल र अधिक लागत कुशल

SIC ले परम्परागत सामग्री (क्वार्टज, एलिमिना) लाई उल्लेखनीय सुधार गरिएको मेकानिकल शक्ति, फ्र्याक्चर कठोरता र थर्मल शव्दको प्रतिरोधको साथ। स्थायित्वको यो स्तरले "असफलता" सञ्चालनको क्रममा उल्लेखनीय कम प्रतिस्थापन अघि थप जीवनकालमा अनुवाद गर्दछ, र स्वामित्वको तल्लो लागत। SIC को स्थायित्वबाट प्रदर्शनमा स्थिरता कम समय कम हुन्छ र अर्धडीकोलकर्मी निर्माण लाइनमा प्रसारणको गति बढाउँदछ।

अर्ध बस्तुको प्रक्रियामा खुला अनुप्रयोगहरू

SIC सिरमिन डु boats ्गाहरू व्यापक रूपमा अगाडि-अन्त सेमी टेम्पोल्डर प्रक्रियाहरूमा प्रयोग गरिन्छ जस्तै:

LPCVD र PCVD डिलसन

थर्मल अक्सीकरण

Ion व्यापक

णीनि and र प्रसार

वेधर सफाई र रासायनिक प्रोसेसिंग

SIC सिरेमिक ह्यान्डलहरू छन्, दुबै वातावरण र भ्याकुम प्रक्रियाको कोठामा मिल्दो प्रशोधन अनुप्रयोगहरू छन्, उत्पादकता बढाउँदा, दूषित हुने सम्भावनालाई कम गर्न र फ्याँक्न सक्ने जोखिम कम गर्दछ।