यसको उच्च पिघलने बिन्दु, अक्सीकरण प्रतिरोध, र जंग प्रतिरोध संग, Semicorex SiC-कोटेड क्रिस्टल ग्रोथ ससेप्टर एकल क्रिस्टल वृद्धि अनुप्रयोगहरूमा प्रयोगको लागि आदर्श विकल्प हो। यसको सिलिकन कार्बाइड कोटिंगले उत्कृष्ट समतलता र गर्मी वितरण गुणहरू प्रदान गर्दछ, यसलाई उच्च-तापमान वातावरणको लागि एक आदर्श विकल्प बनाउँछ।
सेमिकोरेक्स SiC-कोटेड क्रिस्टल ग्रोथ ससेप्टर यसको असाधारण थर्मल चालकता र गर्मी वितरण गुणहरूको लागि, अर्धचालक वेफर्समा एपिटेक्सियल लेयर गठनको लागि उत्तम विकल्प हो। यसको उच्च-शुद्धता SiC कोटिंगले सबैभन्दा बढी माग गर्ने उच्च-तापमान र संक्षारक वातावरणमा पनि उच्च सुरक्षा प्रदान गर्दछ।
हाम्रो SiC-कोटेड क्रिस्टल ग्रोथ ससेप्टरलाई थर्मल प्रोफाइलको समानता सुनिश्चित गर्दै उत्कृष्ट ल्यामिनार ग्यास प्रवाह ढाँचा प्राप्त गर्न डिजाइन गरिएको हो। यसले वेफर चिपमा उच्च-गुणस्तरको एपिटेक्सियल वृद्धि सुनिश्चित गर्दै कुनै पनि प्रदूषण वा अशुद्धता फैलाउनबाट रोक्न मद्दत गर्दछ।
हाम्रो SiC-कोटेड क्रिस्टल ग्रोथ ससेप्टरको बारेमा थप जान्नको लागि आज हामीलाई सम्पर्क गर्नुहोस्।
SiC-कोटेड क्रिस्टल ग्रोथ ससेप्टरको प्यारामिटरहरू
CVD-SIC कोटिंग को मुख्य निर्दिष्टीकरण |
||
SiC-CVD गुणहरू |
||
क्रिस्टल संरचना |
FCC β चरण |
|
घनत्व |
g/cm ³ |
3.21 |
कठोरता |
Vickers कठोरता |
2500 |
अनाज आकार |
μm |
२~१० |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
गर्मी क्षमता |
J kg-1 K-1 |
640 |
उदात्तीकरण तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सरल शक्ति |
MPa (RT 4-बिन्दु) |
415 |
युवाको मोडुलस |
Gpa (4pt बेन्ड, 1300℃) |
430 |
थर्मल विस्तार (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
थर्मल चालकता |
(W/mK) |
300 |
SiC-कोटेड क्रिस्टल ग्रोथ ससेप्टरका विशेषताहरू
- दुवै ग्रेफाइट सब्सट्रेट र सिलिकन कार्बाइड तह राम्रो घनत्व छ र उच्च तापमान र संक्षारक काम वातावरण मा राम्रो सुरक्षा भूमिका खेल्न सक्छ।
- सिलिकन कार्बाइड लेपित ससेप्टर एकल क्रिस्टल वृद्धिको लागि प्रयोग गरिएको धेरै उच्च सतह समतलता छ।
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट र सिलिकन कार्बाइड तह बीचको थर्मल विस्तार गुणांकमा भिन्नता घटाउनुहोस्, क्र्याकिंग र डेलामिनेशन रोक्नको लागि प्रभावकारी रूपमा बन्डिङ बल सुधार गर्नुहोस्।
- दुबै ग्रेफाइट सब्सट्रेट र सिलिकन कार्बाइड तहमा उच्च थर्मल चालकता, र उत्कृष्ट ताप वितरण गुणहरू छन्।
- उच्च पिघलने बिन्दु, उच्च तापमान ओक्सीकरण प्रतिरोध, जंग प्रतिरोध।