SiC Epi-Wafer ससेप्टर

Semicorex ले MOCVD द्वारा लेपित SiC Epi-Wafer Susceptor आपूर्ति गर्दछ वेफरहरूलाई समर्थन गर्न प्रयोग गरिन्छ। तिनीहरूको उच्च-शुद्धता सिलिकन कार्बाइड (SiC) लेपित ग्रेफाइट निर्माणले उच्च ताप प्रतिरोध प्रदान गर्दछ, लगातार epi तह मोटाई र प्रतिरोधको लागि थर्मल एकरूपता, र टिकाऊ रासायनिक प्रतिरोध। फाइन SiC क्रिस्टल कोटिंगले सफा, चिल्लो सतह प्रदान गर्दछ, जुन ह्यान्डल गर्नको लागि महत्त्वपूर्ण छ किनकि प्रिस्टाइन वेफर्सले उनीहरूको सम्पूर्ण क्षेत्रका धेरै बिन्दुहरूमा ससेप्टरलाई सम्पर्क गर्दछ।
हाम्रो SiC Epi-Wafer ससेप्टरलाई थर्मल प्रोफाइलको समानता सुनिश्चित गर्दै, उत्तम लामिनार ग्यास प्रवाह ढाँचा प्राप्त गर्न डिजाइन गरिएको हो। यसले वेफर चिपमा उच्च-गुणस्तरको एपिटेक्सियल वृद्धि सुनिश्चित गर्दै कुनै पनि प्रदूषण वा अशुद्धता फैलाउनबाट रोक्न मद्दत गर्दछ।
हाम्रो SiC Epi-Wafer ससेप्टर बारे थप जान्नको लागि आज हामीलाई सम्पर्क गर्नुहोस्।

SiC Epi-Wafer Susceptor को प्यारामिटरहरू

SiC Epi-Wafer ससेप्टरका विशेषताहरू

उच्च शुद्धता SiC लेपित ग्रेफाइट
उच्च गर्मी प्रतिरोध र थर्मल एकरूपता
चिल्लो सतहको लागि राम्रो SiC क्रिस्टल लेपित
रासायनिक सफाई विरुद्ध उच्च स्थायित्व
सामाग्री डिजाइन गरिएको छ कि दरार र delamination देखा पर्दैन।