SiC फोकस रिंगहरू

Semicorex आपूर्ति SiC फोकस रिंगहरू RTA, RTP वा कठोर रासायनिक सफाईको लागि वास्तवमै स्थिर छ। SiC फोकस रिंगहरू वा किनारा रिंगहरू वेफर किनारा वा परिधिको वरिपरि नक्काशी एकरूपता सुधार गर्न डिजाइन गरिएको हो। प्लाज्मा इच प्रशोधनको कठोरताका लागि इन्जिनियर गरिएको उच्च-शुद्धता कम्पोनेन्टहरूसँग प्रदूषण र अनुसूचित मर्मत कम गर्नुहोस्। SiC कोटिंगको साथ हाम्रो SiC फोकस रिंगहरू घना, पहिरन-प्रतिरोधी सिलिकन कार्बाइड (SiC) कोटिंग हो। यसमा उच्च जंग र गर्मी प्रतिरोध गुणहरू साथै उत्कृष्ट थर्मल चालकता छ। हामी रासायनिक भाप डिपोजिसन (CVD) प्रक्रिया प्रयोग गरेर ग्रेफाइटमा पातलो तहहरूमा SiC लागू गर्छौं।

SiC फोकस रिंगहरूको प्यारामिटरहरू

SiC फोकस रिंगका विशेषताहरू

- सेवा जीवन सुधार गर्न CVD सिलिकन कार्बाइड कोटिंग्स।

- उच्च प्रदर्शन शुद्ध कठोर कार्बन बनेको थर्मल इन्सुलेशन।

- कार्बन/कार्बन कम्पोजिट हीटर र प्लेट। - दुबै ग्रेफाइट सब्सट्रेट र सिलिकन कार्बाइड तहमा उच्च थर्मल चालकता, र उत्कृष्ट ताप वितरण गुणहरू छन्।

- पिनहोल प्रतिरोध र उच्च जीवनकालको लागि उच्च शुद्धता ग्रेफाइट र SiC कोटिंग