SiC फोकस रिंगहरू

Semicorex उन्नत, उच्च-शुद्धता SiC फोकस रिंगहरू प्लाज्मा ईच (वा ड्राई इच) चेम्बरहरूमा चरम वातावरणको सामना गर्न निर्माण गरिन्छ। हामी सिलिकन कार्बाइड लेयर र एपिटेक्सी सेमीकन्डक्टर जस्ता सेमीकन्डक्टर उद्योगहरूमा फोकस गर्छौं। हाम्रा उत्पादनहरूको मूल्यमा राम्रो फाइदा छ र यसले धेरै युरोपेली र अमेरिकी बजारहरू कभर गर्दछ। हामी चीनमा तपाईंको दीर्घकालीन साझेदार बन्न तत्पर छौं।

सोधपुछ पठाउनुहोस्

उत्पादन विवरण

Semicorex आपूर्ति SiC फोकस रिंगहरू RTA, RTP वा कठोर रासायनिक सफाईको लागि वास्तवमै स्थिर छ। SiC फोकस रिंगहरू वा किनारा रिंगहरू वेफर किनारा वा परिधिको वरिपरि नक्काशी एकरूपता सुधार गर्न डिजाइन गरिएको हो। प्लाज्मा इच प्रशोधनको कठोरताका लागि इन्जिनियर गरिएको उच्च-शुद्धता कम्पोनेन्टहरूसँग प्रदूषण र अनुसूचित मर्मत कम गर्नुहोस्। SiC कोटिंगको साथ हाम्रो SiC फोकस रिंगहरू घना, पहिरन-प्रतिरोधी सिलिकन कार्बाइड (SiC) कोटिंग हो। यसमा उच्च जंग र गर्मी प्रतिरोध गुणहरू साथै उत्कृष्ट थर्मल चालकता छ। हामी रासायनिक भाप डिपोजिसन (CVD) प्रक्रिया प्रयोग गरेर ग्रेफाइटमा पातलो तहहरूमा SiC लागू गर्छौं।

SiC फोकस रिंगहरूको प्यारामिटरहरू

CVD-SIC कोटिंग को मुख्य निर्दिष्टीकरण
SiC-CVD गुणहरू
क्रिस्टल संरचना	FCC Î² चरण
घनत्व	g/cm ³	3.21
कठोरता	Vickers कठोरता	2500
अनाज आकार	¼m	२~१०
रासायनिक शुद्धता	%	99.99995
गर्मी क्षमता	J·kg-1 · K-1	640
उदात्तीकरण तापमान	℃	2700
फेलेक्सरल शक्ति	MPa (RT 4-बिन्दु)	415
युवाको मोडुलस	Gpa (4pt bend, 1300â)	430
थर्मल विस्तार (C.T.E)	10-6K-1	4.5
थर्मल चालकता	(W/mK)	300