SIC तेर्सो फर्नेस ट्यूबहरू तेर्सो रूपमा राखिएको ट्यूबलर प्रतिक्रिया र तताउने कन्टेनरहरू हुन् जसले अर्धचालक सामग्रीहरूको लागि स्थिर उच्च-तापमान प्रशोधन वातावरण प्रदान गर्दछ। तिनीहरूको अनुपम भौतिक गुणहरू, सटीक डिजाइन, र स्थायी सेवा जीवनको साथ, Semicorex को SIC तेर्सो फर्नेस ट्यूबहरू उपज र उत्पादनको गुणस्तर सुधार गर्नका लागि इष्टतम समाधानहरू हुन्।
SIC तेर्सो फर्नेस ट्यूबहरूफर्नेस प्रणालीको अपरिहार्य वाहकहरू हुन्, सामान्यतया अर्धचालक निर्माण वा फोटोभोल्टिक उत्पादन उपकरणको कोर हीटिंग क्षेत्रमा अवस्थित हुन्छन्। तिनीहरूले तताउने तत्वहरू, तापक्रम नियन्त्रण प्रणालीहरू, ग्यास नियन्त्रण प्रणालीहरू र पूर्ण फर्नेस प्रणाली बनाउन वेफर डुङ्गाहरूसँग मिलेर काम गर्छन्।
वास्तविक सञ्चालनमा, SIC तेर्सो फर्नेस ट्यूबहरू तताउने तत्वहरूद्वारा तताइन्छ, जसले सिलिकन कार्बाइड सामग्रीहरूको उत्कृष्ट थर्मल चालकताको मद्दतले फर्नेस ट्यूबहरूमा समान रूपमा तातो स्थानान्तरण गर्दछ। यस बीचमा, विशेष प्रक्रिया ग्यासहरू (जस्तै अक्सिजन, नाइट्रोजन, डोपिङ ग्यासहरू, आदि) फर्नेस ट्यूबमा प्रस्तुत गरिन्छ। यस उच्च-तापमान ग्यास वातावरणको प्रभाव अन्तर्गत, भट्टी भित्रको अर्धचालक सामग्रीहरूले रासायनिक प्रतिक्रिया वा भौतिक परिवर्तनहरू पार गर्नेछ, अन्ततः सामग्री परिमार्जन, डोपिङ, वा संरचनात्मक अनुकूलन प्राप्त गर्दछ।
Semicorex को SIC तेर्सो फर्नेस ट्यूबहरूले उल्लेखनीय मेकानिकल बल र कठोरता प्रदान गर्दछ, जसले ठूलो-भोल्युम वेफर ह्यान्डलिंग र प्रशोधन समावेश गर्ने अनुप्रयोगहरूमा महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ। SIC तेर्सो फर्नेस ट्यूबहरूले अक्सिडेशन, डिफ्युजन, र एनिलिङ जस्ता ताप उपचार प्रक्रियाहरूमा वेफरहरूको लागि स्थिर समर्थन प्रदान गर्न सक्षम छन्, उच्च-तापमान प्रशोधनको क्रममा वेफरहरू सही स्थितिमा छन् र थर्मल तनावको कारणले गर्दा विस्थापन वा विरूपणबाट बच्न।
Semicorex को SIC तेर्सो फर्नेस ट्यूबहरू उच्च-शुद्धताबाट निर्मित छन्सिलिकन कार्बाइड सिरेमिकअति कम अशुद्धता सामग्री संग, एक CVD को बयान द्वारा पछिसिलिकन कार्बाइड कोटिंगतिनीहरूको सतहमा। यो उत्पादन विधिले SIC तेर्सो फर्नेस ट्युबहरूमा सुरक्षात्मक तह थप्छ, जसले उनीहरूलाई समयसँगै उच्च-तापमान र संक्षारक वातावरणमा स्थिर रूपमा सञ्चालन गर्न सक्षम बनाउँछ। SIC तेर्सो फर्नेस ट्यूबहरूको यो जंग प्रतिरोध प्रदर्शनले प्रभावकारी रूपमा जंग-सम्बन्धित कम्पोनेन्ट क्षतिको जोखिम कम गरेर र बारम्बार प्रतिस्थापन र मर्मतसम्भारको आवश्यकतालाई कम गरेर सेमीकन्डक्टर वेफर निर्माणको दक्षता सुधार गर्दछ।
धेरै उत्कृष्ट गुणहरूको साथ, Semicorex को SIC तेर्सो फर्नेस ट्यूबहरू फोटोभोल्टिक र सेमीकन्डक्टर उद्योगहरूमा धेरै उच्च-तापमान प्रशोधन प्रक्रियाहरूमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ जस्तै अक्सिडेशन प्रक्रिया, प्रसार प्रक्रिया, एनिलिङ प्रक्रिया र कम दबाव रासायनिक वाष्प निक्षेप।