SiC ICP प्लेट

Semicorex SiC ICP प्लेट सिलिकन कार्बाइड द्वारा बनाईएको हो, यसको असाधारण भौतिक र रासायनिक गुणहरु को लागी परिचित छ। यसको बलियो प्रकृतिले थर्मल झटका, अक्सीकरण र जंगको लागि उच्च प्रतिरोध सुनिश्चित गर्दछ, जुन अर्धचालक प्रशोधनको कठोर वातावरणमा महत्वपूर्ण कारकहरू हुन्। SiC सामग्रीको प्रयोगले प्लेटको आयुलाई महत्त्वपूर्ण रूपमा बढाउँछ, प्रतिस्थापनको आवृत्ति घटाउँछ र यसरी उत्पादन सुविधाहरूमा मर्मत लागत र डाउनटाइम कम गर्दछ।

SiC ICP प्लेटले प्लाज्मा इचिङ र डिपोजिसन प्रक्रियाहरूमा महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ, जुन अर्धचालक वेफर्सको निर्माणको लागि आधारभूत हुन्छ। यी प्रक्रियाहरूमा, SiC ICP प्लेटको उच्च थर्मल चालकता र स्थिरताले सटीक तापक्रम नियन्त्रण र प्लाज्माको एकसमान वितरण सुनिश्चित गर्दछ, जुन लगातार र सही नक्काशी र निक्षेप परिणामहरू प्राप्त गर्न महत्त्वपूर्ण छ। यो परिशुद्धता बढ्दो सानो र जटिल अर्धचालक यन्त्रहरूको उत्पादनमा महत्वपूर्ण छ, जहाँ सानो विचलनले पनि महत्त्वपूर्ण कार्यसम्पादन समस्याहरू निम्त्याउन सक्छ।

SiC ICP प्लेटको स्ट्यान्डआउट विशेषताहरू मध्ये एक यसको असाधारण मेकानिकल बल हो। सिलिकन कार्बाइडको निहित कठोरता र कठोरताले चरम परिस्थितिहरूमा पनि उत्कृष्ट संरचनात्मक अखण्डता प्रदान गर्दछ। यो सुदृढताले उच्च-तीव्रता प्लाज्मा प्रक्रियाहरूमा अधिक स्थिर र भरपर्दो कार्यसम्पादनमा अनुवाद गर्दछ, कम्पोनेन्ट विफलताको जोखिमलाई कम गर्दै र निरन्तर, निर्बाध सञ्चालन सुनिश्चित गर्दछ। यसबाहेक, परम्परागत धातु समकक्षहरूको तुलनामा सामग्रीको हल्का प्रकृतिले सजिलो ह्यान्डलिङ र स्थापनामा योगदान पुर्‍याउँछ, थप परिचालन दक्षता बढाउँछ।

यसको भौतिक विशेषताहरु को अतिरिक्त, SiC ICP प्लेट उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता प्रदान गर्दछ। यसले प्रतिक्रियात्मक प्लाज्मा प्रजातिहरूको लागि उल्लेखनीय प्रतिरोध प्रदर्शन गर्दछ, जुन अर्धचालक नक्काशी र निक्षेप वातावरणमा प्रचलित छन्। यो प्रतिरोधले प्लाज्मा प्रक्रियाहरूमा प्रयोग हुने आक्रामक रसायनहरूको उपस्थितिमा पनि, विस्तारित अवधिहरूमा प्लेटले यसको अखण्डता र प्रदर्शन कायम राख्छ भन्ने कुरा सुनिश्चित गर्दछ। फलस्वरूप, SiC ICP प्लेटले सेमीकन्डक्टर वेफरहरूमा प्रदूषण र दोषहरूको सम्भावनालाई कम गर्दै, सफा प्रशोधन वातावरण प्रदान गर्दछ।