Sic रोबोट हात

सेमीरक्स साइज रोबोट हातहरू अर्धविडेटर निर्माणको क्षेत्रमा रोबोटिकको मजाक ट्रान्सफर अनुप्रयोगहरूको लागि डिजाइन गरिएको अन्त-प्रभावमा भर्खर छन्। उच्च प्रदर्शन सामग्रीको साथ बनाईएको, हामी सिलिकन कार्बइड (SIC) CARRATALESS (SIC) CARRALLESTIONCESS (SIC) Curramics को साथ क्रिक्साइक्स र वेफर बनाउने वा ह्यान्डलिंगको एक बढ्दो वातावरणको लागि ईन्जिनिक्स गर्दछ।

हाम्रो SIC रोबोट हातको केन्द्रीय हाम्रो स्वायरियत उन्नत छसिलिकन कार्बइडयसको उच्च कठोरता (MOHS 9), उच्च थर्मल संकुलता र प्रतिरोधको प्रतिरोधको लागि परिचित छ। परम्परागत सामग्रीहरू जस्तै एल्युमिनियम वा स्टेनलेस स्टील जस्ता परम्परागत सामग्रीहरू, प्रशोधित उच्च तापमान र प्रतिक्रियाशील ग्याँसहरू सहित अर्धविद् सफारूक्षको वातावरणसँग मिल्दो छ। हामी दीर्घकालीन अनिवार्य प्रदान गर्दछौं र प्रदूषण कम गर्दछौं, वेफर निर्माणको लागि आवश्यक पर्ने कडा शुद्धताको साथ अनुरूप।

SIC रोबोटको साथ सेमीन्डुन्डुनिक उपकरणले वेन रिफर I.E लाई वाणिज्यिक कारखाना प्राप्त गर्न को लागी सञ्चारबद्ध, घुमाउरो र उठाउने कार्य प्रयोग गरी सञ्चार कप सिद्धान्तको प्रयोग गरीएको छ।

"उच्च गति" र "सफाई" अर्ध मंड्रॉक्टर वेफर ह्यान्डलिंग उपकरणको कोर विशेषताहरू हुन्। यी विशेषताहरू पूरा गर्न, उपकरणहरू प्रयोग गरिएको कम्पोनेन्टहरूको प्रदर्शनमा अत्यन्त कडा आवश्यकताहरू छन्। धेरै जसो प्रक्रियाहरू भ्याकुममा, उच्च तापमान र सरोकार ग्यास सम्भाव्यतामा गरिन्छ, जुन उपकरणहरूमा प्रयोग गरिएको हातले प्रतिरोध, उच्चतम कठोरता, अप्राकृतिक गुणहरू समावेश गर्दछ: र उन्नत सिरेमिक सामग्रीहरू।

सिलिकन कार्बर्ड सीराइक्सघन-बनावटको भौतिक गुणहरू, उच्च कठोरता, उच्च कम्मर प्रतिरोध, साथै राम्रो तापक्रम प्रतिरोध प्रतिरोध, उच्च तालिकात्मक शक्ति, राम्रो कल्पितीय शक्ति, राम्रो संयोजन प्रतिरोध र अन्य भौतिक गुणहरू। यो अर्ध मंडल उपकरण ह्यान्डलिंग हतियार बनाउन उत्कृष्ट सामग्री हो।

डायस र उपकरण निर्माताहरूमा फरक रोबोट प्लेटफार्महरू पहिचान गर्दै, हाम्रो SIC रोबोट हातहरू मानकीकृत आकारको दायरामा उपलब्ध छन् र अद्वितीय उपकरण कन्फिगरेसनको लागि अनुकूलित गर्न सकिन्छ। माउन्टिंग इन्टरफेस, औंला ज्यामितिहरू, र वेफर समर्थन सुविधाहरू विशिष्ट उपकरण र प्रक्रिया आवश्यकताहरू पूरा गर्न अनुरूप हुन सक्छ। तपाईं क्लस्टर उपकरणहरू, भ्याउम कक्षहरू, भ्याकुम चेम्बरहरू वा foup प्रणालीहरूमा वेफरहरू स्थानान्तरण गर्दै हुनुहुन्छ, हाम्रो रोबोट हातको अग्रणी रोबोटिक ब्रान्डको साथ सिमॉय।

प्रत्येक sic रोबोट ह्यान्ड ह्यान्डर, निरीक्षण, निरीक्षण, निरीक्षण, र प्याकेजिंग प्रक्रियाहरू वर्ग 1 फिटरूम स्तरको अनुपालन सुनिश्चित गर्न। SIC को एन्टि-स्ट्याक्टिक सतहले कटौती निर्देशन कम गर्दछ, जबकि मजतुर संरचनाले माइक्रोफ्रेक्तालाई प्रतिरोध गर्दछ जुन समयको साथ कटौतीको पुस्ताहरू निम्त्याउँदछ। यसले उनीहरूको अगाडि-अन्त वेफर प्रक्रियाहरूको लागि आदर्श बनाउँदछ जहाँ हल्का प्रदूषणले पनि परिवर्तनलाई असफल पार्न सक्छ।

एपिटक्स र आपन इलेडिटेशनबाट pvd, CVD, र CMP, SIC रोबोट हातहरू अर्धवानिक उपकरण उपकरण निर्माणको प्रत्येक चरणमा भरोसा गरिन्छ। थर्मल आघात र प्लाज्मा वातावरणको लागि उनीहरूको उच्च प्रतिरोधमा उनीहरूलाई उन्नत तर्क र पावर अर्धोन्डरकय लाइनहरूमा अपरिहार्य बनाउँदछ, विशेष गरी SIC सेफर सब्सट्रेटहरू प्रयोग गरिन्छ।