SIC ठाडो डु boats ्गा

सेमीरक्स साइज ठाडो डु boats ्गाहरू ईन्जिनियर गरिएको वेन वाणिज्यिक क्यारियरहरू हुन्, ठाडो भट्टी प्रशोधनको लागि उच्च थर्मल, र रासायनिक स्थिरता र रासायनिक स्थिरता। उच्च-शुद्धता को निर्माणसिलिकन कार्बइड, हामी विश्वास गर्दछौं कि तिनीहरू धेरै उन्नत तरफल प्रशोधनको रूपमा स्पष्टता, र सरसफाइ हुन्, र धेरै उन्नतिको रूपमा उल्लेख गरिएको छ, LPCVD प्रणालीमा, र ठाडो भण्डार प्रणालीहरूमा।

ठाडो भण्डार प्रशोधन वातावरणको आवश्यकता पर्दछ कि एक वेफर समर्थन प्रणालीको आवश्यकता पर्दछ जुन उच्च तापक्रममा दर्शकहरूमा दोहोर्याउन सकिन्छ, प्राय: संश्वणिक मुद्दाहरूको असमित रहन सक्छ। SIC ठाडो डु boats ्गाहरू उनीहरूको परिस्थितिमा स .्केतमा उत्कृष्टता मा साझेदारी मा एक स्थिति मा resirincic मेकानिकल र थर्मल सम्पत्ती को लागी। उनीहरूको अत्यन्त कम थर्मल विस्तार कूलॉन्टले न्यूनतम तैरिंग वा विकृति सुनिश्चित गर्दछ। थप रूपमा, उच्च थर्मल कम्युनिटीविद्ले सबै वेफरहरूमा सबैभन्दा ठूलो स्थानीय तापमान सतर्कता प्रदान गर्दछ, जुन वाफर-देखि-वेफर स्थिरताका लागि गुबुंग प्रोफाइल, र विद्युतीय प्रदर्शनमा; अर्धवान्डुनिक उद्योगमा उच्च-खण्ड उत्पादनको महत्त्वपूर्ण पक्ष।

परम्परागत क्वार्टज डु boats ्गाको तुलनामा SIC ठाडो डु boat ्गाले राम्रो मेकानिकल शक्ति र विस्तारित सेवा जीवनलाई छुटायो। क्वार्ट्ज भंगुर बन्ने र समयको साथ विचलित हुन्छ, विशेष गरी आक्रामक भट्टी रसाजिस्ट्रीहरूमा, उच्च प्रतिस्थापन लागत र सम्भावित उत्पादनका अभावहरू। यसको विपरित, सिलिकन कार्डिडले यसको अवधारणालाई क्षतिपूर्ति, HCL, वा अमोनियाको रूपमा लामो समयसम्म जोखिममा पार्दछ, जुन विभिन्न बिगाम, जुन विभिन्न फरक छ र LPCVD प्रक्रियाहरूमा सामान्य छन्। यसको असाधारण पोशाक र अक्सिडेशन प्रतिरोधले ठूलो रूपमा कटिलोको उत्पादनलाई कम गर्दछ, वेधर सतहहरू संक्रमण र दोष गठनबाट सुरक्षित गर्न मद्दत गर्दछ।

SIC ठाडो डु boats ्गाहरूले अल्ट्रा सफा प्रशोधनको सर्तमा पनि महत्त्वपूर्ण फाइदा प्रस्ताव गर्दछ। उच्च-शुद्धिकता सीआईआईएड सामग्रीलाई चिन्ताको विषयलाई कम गर्न कडा परिश्रम गरिन्छ जुन अर्धवांडरकका उपकरणहरूको परिचालन विशेषताहरूमा हस्तक्षेप गर्न सक्दछ। SIC ठाडो डु boat ्गा सतहहरू राम्रो-समावेशिक सुविधाहरूको साथ राम्रोसँग सकियो जसले माइक्रो-कण बहाईएको मौकालाई कम गर्दछ। SIC सतहहरू रासायनिक रूपमा विकृत छन् र प्रक्रिया ग्याँसहरूको साथ प्रतिक्रिया गर्दैनन् र धेरै प्रदूषणको लागि कम प्रभावी हुन्छ। यस सन्दर्भमा, SIC ठाडो डु boats ्गाहरू लाइन (फेलो) को अगाडिको छेउमा राम्रोसँग उपयुक्त छन् (Felol) र लाइन को पछाडि वाफ वेयर प्रशोधन संचालन।

SIC ठाडो डु boats ्गाहरू पनि डिजायर लचिलोपन प्रस्ताव गर्दछ। प्रत्येक ठाडो डु boat ्गालाई बहुगर-विशिष्ट हुनका लागि बहुगर-विशिष्ट हुन सक्दछ MAMEGEGEGED DIMMES (1 1500 मिमी, 200 MFERED) र स्लट नम्बर र स्पेड नम्बर र स्पेसिंग प्रक्रिया आवश्यकताहरू पूरा गर्न प्रयोग गर्न सकिन्छ। सप्रेस मेशिनमा र आयामी नियन्त्रणले उचित वेफर प ign ्क्तिबद्धता र वेफर समर्थनको लागि अनुमति दिईएको, प्रोसेसिंग र अनलोडिंगको सम्भावना कम गर्दै। साथै, यदि उच्च तालिकाको एकरूपता र / वा कम थर्मल द्रव्य एक विशेष प्रक्रियाको लागि कम थर्मल द्रव्यमान आवश्यक छ भने, कुनै पनि मेकानिकल सम्पत्तिहरूको बलिदान बिना sic ठाडो ड्रिंक कन्फिगरेसनहरू समावेश गर्न सकिन्छ।

अर्को फाइदा मर्मत र संचालन दक्षता हो। को कठोर निर्माणको मुद्रीठाडो डु boats ्गाले प्रतिस्थापन समय र फ्रिक्वेन्सी कम गर्दछ, डाउनटाइम कम गर्दै डाउनटाइम कम गर्ने वा स्वामित्वको लागत। साइकको थर्मल आघात प्रतियोगिताको प्रतिरोधले उत्पादन लाइनमा उच्च मात्रामा डेलिभर गर्नको लागि कूलि gorts र चिसोलाई अनुमति दिन्छ। SIC ठाडो डु boat ्गाको मर्मत वा सफाई पनि धेरै सरल छ; सामग्री एसिड र उच्च-तापमान बेक-आउट-बाहिर रासायनिक सफाईको साथ जमिनमा धेरै परम्परागत भिजेको वा सुख्खा सफाई प्रक्रिया सहन सक्छ।

यस आधुनिक अर्धचुड अर्धविश्वासी बनावटको यस आधुनिक युगमा जहाँ सुधारको उत्पादनशीलता, प्रसंस्करण नियन्त्रण र स्थिरता सबै महत्त्व छ, SIC ठाडो डु boats ्गाले एक साँचो प्राविधिक लाभ प्रस्ताव गर्दछ। ठाडो पूर्ण अनुप्रयोगहरूको भौतिक र रसायसन चुनौतीहरूको साथ उनीहरू राम्रोसँग व्यवहार गर्छन् र वेफर अखमिता, लगातार उपकरणको जीवन र उपकरणको जीवन प्रदान गरेर समग्र प्रक्रिया अनुकूलतालाई राम्रोसँग व्यवहार गर्छन्।