SiC वेफर डुङ्गा वाहक

Semicorex SiC Wafer Boat Carrier उच्च-तापमान अर्धचालक फर्नेस प्रक्रियाहरूमा वेफर डुङ्गाहरूलाई सुरक्षित रूपमा समर्थन र ढुवानी गर्न डिजाइन गरिएको उच्च-शुद्धता सिलिकन कार्बाइड ह्यान्डलिंग समाधान हो। Semicorex छनोट गर्नु भनेको एक विश्वसनीय OEM साझेदारसँग काम गर्नु हो जसले गहिरो SiC सामग्री विशेषज्ञता, सटीक मेसिनिंग, र स्थिर, दीर्घकालीन अर्धचालक उत्पादनलाई समर्थन गर्न भरपर्दो गुणस्तर संयोजन गर्दछ।*

सोधपुछ पठाउनुहोस्

उत्पादन विवरण

सेमीकन्डक्टर उत्पादनको द्रुत रूपमा विकसित परिदृश्यमा - विशेष गरी EVs, 5G पूर्वाधार, र नवीकरणीय ऊर्जाको लागि SiC र GaN पावर उपकरणहरूको उत्पादन - तपाईंको वेफर ह्यान्डलिंग हार्डवेयरको विश्वसनीयता गैर-वार्तालाप योग्य छ। Semicorex SiC Wafer Boat Carrier ले मटेरियल इन्जिनियरिङको शिखरलाई प्रतिनिधित्व गर्दछ, जुन उच्च-तापमान, उच्च-शुद्धता वातावरणमा परम्परागत क्वार्ट्ज र ग्रेफाइट कम्पोनेन्टहरू प्रतिस्थापन गर्न डिजाइन गरिएको हो।

किन सिलिकन कार्बाइड उद्योग छनोट हो

सेमीकन्डक्टर नोडहरू संकुचित हुँदा र वेफर आकारहरू 200mm (8-इन्च) तर्फ जाँदा, क्वार्ट्जको थर्मल र रासायनिक सीमाहरू एक बाधा बन्छन्। हाम्रो SiC वेफर डुङ्गा क्यारियर प्रयोग गरी ईन्जिनियर गरिएको छसिंटर्ड सिलिकन कार्बाइडवा CVD-लेपित SiC, थर्मल चालकता, मेकानिकल बल, र रासायनिक जडताको एक अद्वितीय संयोजन प्रदान गर्दै।

1. असाधारण थर्मल स्थिरता

परम्परागत सामग्रीहरू प्रायः "स्लम्पिंग" वा विरूपणबाट ग्रस्त हुन्छन् जब प्रसार र एनिलिङको लागि आवश्यक चरम तापक्रममा पर्दा। हाम्रो SiC Wafer Boat Carrier ले 1,600°C भन्दा बढी तापक्रममा संरचनात्मक अखण्डता कायम राख्छ। यो उच्च थर्मल स्थिरताले वेफर स्लटहरू पूर्ण रूपमा पङ्क्तिबद्ध रहन सुनिश्चित गर्दछ, स्वचालित रोबोट स्थानान्तरणको क्रममा वेफर "रैटल" वा जामिङलाई रोक्छ।

2. उच्च शुद्धता र कम प्रदूषण

सफा कोठाको वातावरणमा, कणहरू उपजको शत्रु हुन्। हाम्रो डुङ्गा वाहकहरूले स्वामित्वको CVD (रासायनिक भाप निक्षेप) कोटिंग प्रक्रियाबाट गुज्रिरहेका छन्। यसले घना, गैर-छिद्र सतह सिर्जना गर्दछ जसले अशुद्धता बाहिर निस्कने विरुद्ध बाधाको रूपमा काम गर्दछ। अति-कम धातुको अशुद्धता स्तरहरूको साथ, हाम्रा वाहकहरूले तपाईंको वेफरहरू - चाहे सिलिकन वा सिलिकन कार्बाइड - महत्त्वपूर्ण उच्च-ताप चक्रहरूमा क्रस-प्रदूषणबाट मुक्त रहन सुनिश्चित गर्दछ।

3. मिल्दो CTE (थर्मल विस्तार को गुणांक)

वेफर तनाव र स्लिप लाइनहरूको प्राथमिक कारणहरू मध्ये एक वाहक र वेफर बीचको थर्मल विस्तारमा बेमेल हो। हाम्रा SiC डुङ्गाहरू सीटीईसँग डिजाइन गरिएका छन् जसले SiC वेफरहरूसँग नजिकबाट मेल खान्छ। यो सिङ्क्रोनाइजेसनले द्रुत ताप र शीतलन चरणहरू (RTP) को समयमा मेकानिकल तनावलाई कम गर्छ, समग्र डाई उपजमा उल्लेखनीय सुधार गर्दछ।

प्रमुख प्राविधिक विनिर्देशहरू

सुविधा	विशिष्टता	लाभ
सामग्री	Sintered Alpha SiC / CVD SiC	अधिकतम स्थायित्व र थर्मल स्थानान्तरण
अधिकतम परिचालन तापमान	1,800 डिग्री सेल्सियस सम्म	SiC Epitaxy र प्रसार को लागी आदर्श
रासायनिक प्रतिरोध	HF, HNO3, KOH, HCl	सजिलो सफाई र लामो सेवा जीवन
सतह समाप्त	<0.4μm Ra	कम घर्षण र कण उत्पादन
वेफर आकारहरू	100mm, 150mm, 200mm	विरासत र आधुनिक लाइनहरूको लागि बहुमुखी प्रतिभा

उन्नत निर्माण मा आवेदन

हाम्रो SiC Wafer Boat Carrier Fab मा सबैभन्दा बढी माग गर्ने "हट जोन" प्रक्रियाहरूको लागि अनुकूलित छ:

LPCVD र PECVD: रासायनिक अग्रसरहरूको उच्च प्रतिरोधले डुङ्गालाई अपमानजनक हुनबाट रोक्छ, एक सुसंगत प्रक्रिया किटको आयु सुनिश्चित गर्दै।
उच्च-तापमान ओक्सीकरण: क्वार्ट्जको विपरीत, SiC हजारौं चक्रहरूमा यसको बल कायम राख्दै, डिविट्रिफाइ गर्दैन।
फैलावट र एनिलिङ: डुङ्गा भरि उच्च थर्मल एकरूपताले सुनिश्चित गर्दछ कि ब्याचमा प्रत्येक वेफरले ठ्याक्कै उही थर्मल प्रोफाइल अनुभव गर्दछ।
SiC Epitaxy: विशेष रूपमा SiC सब्सट्रेटहरूमा एपिटेक्सियल तहहरू बढ्नको लागि आवश्यक कठोर वातावरणको सामना गर्न डिजाइन गरिएको।

स्थायित्व लागत-दक्षता पूरा गर्दछ

जबकि SiC हार्डवेयरमा प्रारम्भिक लगानी क्वार्ट्ज भन्दा उच्च छ, स्वामित्वको कुल लागत (TCO) उल्लेखनीय रूपमा कम छ। हाम्रा वाहकहरू दीर्घायुका लागि बनाइएका हुन्छन्, प्रायः परम्परागत सामग्रीहरू भन्दा ५ देखि १० गुणा लामो समयसम्म टिक्छन्। यसले भागहरू प्रतिस्थापनको लागि उपकरण डाउनटाइमको आवृत्ति घटाउँछ र विनाशकारी डुङ्गा विफलताको जोखिमलाई कम गर्छ जसले महँगो वेफरहरूको सम्पूर्ण ब्याचलाई बर्बाद गर्न सक्छ।

प्रमाणित ईन्जिनियरिङ् आफ्नो प्रक्रिया विश्वास गर्नुहोस्

हामी बुझ्छौं कि अर्धचालक उद्योगमा, "पर्याप्त राम्रो" कहिल्यै पर्याप्त हुँदैन। हाम्रो निर्माण प्रक्रियामा 100% CMM आयामी निरीक्षण र भ्याकुम प्याकेजिङ अघि उच्च-शुद्धता अल्ट्रासोनिक सफाई समावेश छ।

चाहे तपाइँ 200mm SiC पावर उपकरण लाइन मापन गर्दै हुनुहुन्छ वा विरासत 150mm प्रक्रियालाई अनुकूलन गर्दै हुनुहुन्छ, हाम्रो ईन्जिनियरिङ् टोली स्लट पिच, डुङ्गा लम्बाइ, र तपाइँको विशिष्ट फर्नेस आवश्यकताहरू फिट गर्न कन्फिगरेसनहरू अनुकूलन गर्न उपलब्ध छ।

हट ट्यागहरू: SiC Wafer बोट क्यारियर, चीन, निर्माता, आपूर्तिकर्ता, कारखाना, अनुकूलित, थोक, उन्नत, टिकाऊ

उत्पादन ट्याग

सम्बन्धित श्रेणी