सेमीरक्स सिलिकन कार्बर्ड डु boats ्गाहरू उच्च-प्रदर्शन वेफर क्यारिअर्सहरू हुन् जुन अर्धोन्डरकक्टर अक्सीकरण र प्रसारण प्रक्रियाहरूको लागि डिजाइन गरिएको हो। यी सटीक-ईन्जिनियर गरिएको अवयवहरूले सिलिकनको वाफरको लागि स्थिर, उच्चलता वातावरण प्रदान गर्दछ, प्रसिद्ध प्रक्रिया विश्वसनीयता र दक्षता सुनिश्चितता। *
सेमीरक्स सिलिकन कार्बर्ड्स डु boats ्गाहरू प्रदर्शन गर्नुहोस्। तिनीहरूलाई अपरिभाषण र प्रसारण प्रक्रियाको लागि आवश्यक चरम तापक्रमको सामना गर्न अनुमति दिँदै। तिनीहरूको उत्कृष्ट थर्मल श्रृंगष्टि प्रतिरोध प्रतिरोध प्रतिरोधको जोखिम कम गर्दछ, लामो परिचालन दीर्घायु सुनिश्चित गर्दछ। उच्च-घनत्वको आकारको संरचनाले निरन्तर थर्मल साइकल मुनि पनि संरचनात्मक अखण्डतालाई निरन्तरता प्रदान गर्दछ। यो अपवाद तनावको लागि यो अपवाद प्रतिरोधले वेफर प्रदूषण र ब्रेकजिंगको सम्भावनालाई कम गर्दछ, उच्च प्रक्रियामा योगदान पुर्याउँछ। यसबाहेक, SIC डु boats ्गामा उल्लेखनीय रासायनिक प्रतिरोधमा, बाँकी रहेका आक्रामक प्रक्रिया ग्यासहरू अक्डिनसमा प्रयोग गरिएको आक्रामक प्रक्रिया ग्यासहरू र प्रसारण चरणहरूमा प्रयोग गरिएको। यो विशेषता अनावश्यक प्रतिक्रिया रोक्दछ जसले गर्दा कमर शुद्धता र उत्पादन दक्षता सम्झौता गर्दछ।
सिलिकन कार्यस्थल डु boats ्गाहरू मुख्यतया अक्सिडियनमा प्रयोग गरिन्छ र कम तापमान र प्रतिक्रियाशील ग्याँसको लागि स्थिर नियन्त्रण आवश्यक छ। तिनीहरू थर्मको बृहत तह हुने खुरलोल अक्सिजलमा वेफरलाई समर्थन गर्छन् र डोमिन्ट ग्यासहरूको नियन्त्रण एक्सपोजर मार्फत वर्दी डोपिंगको साथ सहयोग गर्दछ। थप रूपमा, तिनीहरूले अभिनय र अन्य उच्च-तापमान उपचारहरूको लागि स्थिर प्लेटफर्म प्रदान गर्दछ जुन लामो तापक्रमको जोखिम आवश्यक पर्दछ।
परम्परागत क्वार्टज र ग्राफेइट डु boats ्गाको तुलनामा सिलिकन कार्बले डु boats ्गाको तुलनामा डुब्यक्षीय, दीर्घायु, र प्रदर्शन प्रदान गर्दछ। संतुलनमा कडा थर्मल र रासायनिक वातावरणको सामना गर्ने तिनीहरूको क्षमताले उनीहरूलाई उच्च-सटीक अर्धवेन्डक निर्माणको लागि रुचाइएको विकल्प बनाउँदछ। गुणस्तरीय र नवीनतामा फोकस भएकोले हाम्रो सिलिकन कार्बर्ड डु boats ्गाले उत्कृष्ट प्रदर्शन बचायो र सेनीन्डुन्डुकोक्टर निर्माणकर्ताहरूको लागि उच्च उत्पादन र दक्ष र दक्ष सुरक्षा प्रशोधन सुनिश्चित गर्यो। उन्नत नोड टेक्नोलोजी वा लिफासी अर्धोन्ड्रोड्रन्डेक्टेशीको लागि, यी डु boats ्गाले कडा उद्योग आवश्यकताहरू पूरा गर्न भरपर्दो समाधान प्रदान गर्दछ।
(1) बोक्दै र सुरक्षा: सिलिकन कार्बर्ड डु boats ्गा बोक्छ कि बाह्य वातावरणबाट वेइइलिक कार्बइड सामग्रीको प्रतिरोध हुन्छ।
(2) पोशाक हीटिंग: सिलिकन कार्ब्याड डु boat ्गामा डु the ्गालाई समान तातो हुन अनुमति दिन्छ। यसले यसलाई सुनिश्चित गर्न मद्दत गर्दछ कि तापमान र युद्धको प्रत्येक भागको प्रत्येक भागको प्रत्येक भागको गर्मी उपचार प्रक्रियाको क्रममा निरन्तर रहन्छ, जसले वेफरको उत्पादन र गुणवत्तालाई सुधार गर्दै।
त्यहाँ हाल तीन मुख्य प्रकारका छन्सिलिकन कार्बइड सिरेमिकसामग्रीहरू: प्रतिक्रिया पाटो पार्ने, दबाब पाउने काम, र पुन: प्राप्ति लिंक। धेरै जसो अनुप्रयोगहरूमा प्रतिक्रियाले सिली लिइकोन कार्बइडलाई बढी उपयुक्त र लागत प्रभावी उत्पादन हो। पुन: प्राप्ति गरिएका SIC डु boats ्गा सामान्यतया पापी र प्रक्रियामा प्राय: कार्य गर्दछ, त्यसपछि SI टाँस्नुहोस् र अन्तमा सीवीडी-SIC कोटिंग (100uck Que) लागू गर्नुहोस्)। पुन :trystaleically झैं रोगी छ, यदि कुनै अनुमानित कुनै छैन भने, यसले अर्धविचर प्रक्रियामा आंशिकहरूलाई पनि परिचय गराउँदछ। CVD-SIC कोटिंगको साथ यस प्रकारको पुन: साइप्रदायिक sick डु boat ्गा सबैभन्दा लामो निर्माण प्रक्रिया छ र धेरै महँगो छ। SIC लेपित ग्राफ्रेटी डु boats ्गाको तुलनामा, CVD-SIC लेपित स्क्वायर डु boats ्गाको तुलनामा।