सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक वेफर डुङ्गा

Semicorex ले ठाडो / स्तम्भ र तेर्सो कन्फिगरेसन दुवैका लागि वेफर डुङ्गाहरू, पेडेस्टलहरू, र अनुकूलन वेफर क्यारियरहरू प्रदान गर्दछ। हामी धेरै वर्ष देखि सिलिकन कार्बाइड कोटिंग फिल्म को निर्माता र आपूर्तिकर्ता भएको छ। हाम्रो सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक वेफर डुङ्गाको राम्रो मूल्य लाभ छ र धेरै जसो युरोपेली र अमेरिकी बजारहरू कभर गर्दछ। हामी चीनमा तपाईंको दीर्घकालीन साझेदार बन्न तत्पर छौं।

सोधपुछ पठाउनुहोस्

उत्पादन विवरण

सेमिकोरेक्स सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक वेफर बोट, सेमीकन्डक्टर निर्माणमा वेफर ह्यान्डलिंग र सुरक्षाको लागि अन्तिम समाधान।
हाम्रो सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक वेफर डुङ्गा सिलिकन कार्बाइड (SiC) प्रयोग गरिएको CVD विधिको तहको साथ लेपित उच्च गुणस्तरको सामग्रीबाट बनेको छ, जसमा जंग प्रतिरोधी र उच्च तापमान र थर्मल झटका लागि उत्कृष्ट प्रतिरोध छ। उन्नत सिरेमिकले उत्कृष्ट थर्मल प्रतिरोध र प्लाज्मा स्थायित्व प्रदान गर्दछ जबकि उच्च-क्षमता वेफर क्यारियरहरूको लागि कणहरू र प्रदूषकहरूलाई कम गर्दछ।

सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक वेफर डुङ्गाको प्यारामिटरहरू

प्राविधिक गुणहरू
अनुक्रमणिका	एकाइ	मूल्य
सामग्रीको नाम		प्रतिक्रिया Sintered सिलिकन कार्बाइड	दबावरहित सिंटर सिलिकन कार्बाइड	पुन: स्थापित सिलिकन कार्बाइड
रचना		RBSiC	SSiC	R-SiC
बल्क घनत्व	g/cm3	3	३.१५ ± ०.०३	२.६०-२.७०
लचिलो शक्ति	MPa (kpsi)	३३८(४९)	३८०(५५)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
कम्प्रेसिभ शक्ति	MPa (kpsi)	११२०(१५८)	३९७०(५६०)	> 600
कठोरता	बटन	2700	2800	/
तोड्ने दृढता	MPa m1/2	4.5	4	/
थर्मल चालकता	W/m.k	95	120	23
थर्मल विस्तार को गुणांक	10^-६.1/°C	5	4	4.7
विशिष्ट गर्मी	जुल/g 0k	0.8	0.67	/
हावा मा अधिकतम तापमान	℃	1200	1500	1600
लोचदार मोडुलस	Gpa	360	410	240

SSiC र RBSiC बीचको भिन्नता:

1. Sintering प्रक्रिया फरक छ। RBSiC कम तापक्रममा सिलिकन कार्बाइडमा नि:शुल्क Si घुसाउनु हो, SSiC 2100 डिग्रीमा प्राकृतिक संकुचनद्वारा बनाइएको हो।

2. SSiC मा चिल्लो सतह, उच्च घनत्व र उच्च बल छ, अधिक कडा सतह आवश्यकताहरु संग केहि सील को लागी, SSiC राम्रो हुनेछ।

3. विभिन्न PH र तापमान अन्तर्गत विभिन्न प्रयोग गरिएको समय, SSiC RBSiC भन्दा लामो छ

सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक वेफर डुङ्गाका विशेषताहरू

उच्च गर्मी प्रतिरोध र थर्मल एकरूपता
चिल्लो सतहको लागि राम्रो SiC क्रिस्टल लेपित
रासायनिक सफाई विरुद्ध उच्च स्थायित्व
सामाग्री डिजाइन गरिएको छ ताकि दरार र delamination देखा पर्दैन।