सिलिकन कार्बाइड फोकस रिंगहरू

सिलिकन कार्बाइड फोकस रिंगहरू, महत्त्वपूर्ण रिंग पार्टहरू, विशेष रूपमा सेमीकन्डक्टर प्लाज्मा नक्काशीमा वेफर एचिंगको एकरूपता र स्थिरता सुधार गर्न डिजाइन गरिएको हो। तिनीहरू एकसमान प्लाज्मा वितरण प्रवर्द्धन गर्न र विद्युतीय क्षेत्र वातावरणलाई अनुकूलन गर्नमा उत्कृष्ट प्रदर्शनका लागि प्रसिद्ध छन्।

सोधपुछ पठाउनुहोस्

उत्पादन विवरण

सिलिकन कार्बाइड फोकस रिंगहरूसामान्यतया इलेक्ट्रोस्ट्याटिक चकको वेफर समर्थन सतह वरिपरि राखिएको नक्काशी उपकरणको प्रतिक्रिया कक्षमा स्थापना गरिन्छ। यो स्थापना व्यवस्थाले वेफर किनारा र इलेक्ट्रोड बीचको उचाइको भिन्नतालाई सफलतापूर्वक भर्न सक्छ, प्रतिक्रिया कक्षमा प्लाज्मालाई वेफर सतहमा फोकस गरेर एकसमान नक्काशी प्राप्त गर्न र वेफर किनाराबाट बाहिरी रूपमा प्लाज्माको फैलावटलाई रोक्नको लागि वेफर किनारालाई ओभर-एचिङको समस्याबाट बच्न।

उच्च गुणस्तरको नक्काशी कम्पोनेन्टहरूले नक्काशी प्रक्रियाको लागि स्थिर विद्युत क्षेत्र वातावरण प्रदान गर्न सक्छ। Semicorex को सिलिकन कार्बाइड फोकस रिंगहरू उच्च प्रदर्शनबाट निर्मित छन्सिलिकन कार्बाइड सामाग्रीरासायनिक वाष्प निक्षेप को माध्यम बाट। हाम्रो फोकस रिंगहरू वेफरको वरिपरि विद्युतीय क्षेत्र वितरण समायोजन गर्न सक्षम छन्, उल्लेखनीय रूपमा नक्काशी विचलन वा असमान विद्युतीय क्षेत्रहरूको कारणले गर्दा डिस्चार्ज घटना घटाउन सक्षम छन्।

सेमीकन्डक्टर वेफरहरू सजिलै कण प्रदूषणको लागि संवेदनशील हुन्छन्, त्यसैले प्लाज्मा नक्काशी प्रक्रियाहरू अल्ट्रा-क्लीन आयन इचिङ प्रतिक्रिया कक्षहरूमा गरिनु पर्छ। नक्काशी उपकरणको प्राथमिक घटकको रूपमा, सिलिकन कार्बाइड फोकस रिंगहरू वास्तविक सञ्चालनमा वेफर किनारसँग प्रत्यक्ष सम्पर्कमा आउँछन्, अल्ट्रा-उच्च सफाई मापदण्डहरू पूरा गर्न पनि आवश्यक हुन्छ। सेमिकोरेक्सको सिलिकन कार्बाइड फोकस रिङ्हरूले उच्च शुद्धता र कम अशुद्धता सामग्रीको फाइदाहरू प्रदान गर्दछ, जसले सेमीकन्डक्टर नक्काशी प्रक्रियाहरूको कडा सफाई आवश्यकताहरू ठीकसँग पूरा गर्न सक्छ। यसले वेफर दोषहरू कम गर्न र वेफर उत्पादन उपज सुधार गर्न ठूलो योगदान दिन्छ।

प्लाज्मा नक्काशी प्रक्रियाको क्रममा, फ्लोरिन र अक्सिजन जस्ता नक्काशी ग्यासहरू प्रतिक्रिया कक्षमा प्रस्तुत गरिन्छ। नक्काशी उपकरणको रासायनिक क्षरण प्रतिरोधलाई प्रक्रिया ग्यासहरूको कारणले गर्दा दीर्घकालीन क्षरणले गम्भीर रूपमा चुनौती दिएको छ। प्लाज्मा क्षरणको लागि यसको उच्च प्रतिरोधी गुणको साथ, सिलिकन कार्बाइड फोकस रिंग निर्माणको लागि इष्टतम सामग्री विकल्प हो। जंग-सम्बन्धित कम्पोनेन्ट क्षतिको सम्भावनालाई कम गरेर र बारम्बार प्रतिस्थापन र मर्मतसम्भारको आवश्यकतालाई कम गरेर, सिलिकन कार्बाइड फोकस रिंगहरूले सेमीकन्डक्टर वेफर निर्माणको दक्षतालाई उल्लेखनीय रूपमा बढाउन सक्छ।

हट ट्यागहरू: सिलिकन कार्बाइड फोकस रिंग्स, चीन, निर्माता, आपूर्तिकर्ता, कारखाना, अनुकूलित, थोक, उन्नत, टिकाऊ

उत्पादन ट्याग

सम्बन्धित श्रेणी