सिलिकन कार्बाइड आईसीपी इचिङ प्लेट अपरिहार्य वेफर होल्डर हो जुन उच्च शुद्धता सिन्टर्ड सिलिकन कार्बाइड सिरेमिकद्वारा निर्मित हो। Semicorex द्वारा विशेष रूपमा डिजाइन गरिएको, यसले अत्याधुनिक अर्धचालक उद्योगमा इन्डक्टिवली कपल्ड प्लाज्मा (ICP) नक्काशी र डिपोजिसन प्रणालीहरूको लागि महत्त्वपूर्ण सक्षमकर्ताहरूको रूपमा कार्य गर्दछ।
सिलिकन कार्बाइड ICP नक्काशी प्लेटनक्काशी कार्यहरूमा वेफर्सको लागि स्थिर समर्थन र सटीक स्थिति प्रदान गर्न सक्षम छ, कम्पन वा विस्थापन द्वारा ल्याइएको इचिंग परिशुद्धतामा कमीलाई प्रभावकारी रूपमा रोक्न।
सिलिकन कार्बाइड आईसीपी इचिङ प्लेटमा थर्मल व्यवस्थापन क्षमताहरू छन्। सुपीरियर थर्मल चालकताSIC सिरेमिकसिलिकन कार्बाइड आईसीपी इचिङ प्लेटले तातो छिट्टै नष्ट गर्ने क्षमता दिन्छ, जसले वर्कपीसको स्थानीय ओभरहेटिंग रोक्न र नक्कली तापक्रमको एकरूपता सुनिश्चित गर्न मद्दत गर्दछ, जसले गर्दा नक्काशीको गुणस्तरमा सुधार हुन्छ। SiC सिरेमिकमा थर्मल विस्तारको कम गुणांक हुन्छ, जसले सिलिकन कार्बाइड ICP इचिङ प्लेटलाई राम्रो आयामी स्थिरता कायम राख्न र थर्मल विस्तारको कारणले गर्दा वर्कपीस विस्थापन वा विरूपण कम गर्न अनुमति दिन्छ।
ICP अपरेटिङ वातावरणलाई सेमीकन्डक्टर स्तरको सरसफाई चाहिन्छ। सेमिकोरेक्सको सिलिकन कार्बाइड आईसीपी इचिङ प्लेटले रासायनिक ग्याँसहरू (जस्तै क्लोरीन र फ्लोरिन) र आईसीपी इचिङ वातावरणको प्लाज्मालाई असाधारण प्रतिरोध प्रदान गर्दै यो आवश्यकता पूर्ण रूपमा पूरा गर्न सक्छ। यो महत्त्वपूर्ण विशेषताले नक्काशी सञ्चालनको क्रममा जारी हुने प्रदूषकहरूको मात्रा घटाएर प्रक्रियाको वातावरणलाई सफा राख्छ।
ICP अपरेटिङ वातावरणलाई सेमीकन्डक्टर स्तरको सरसफाई चाहिन्छ। सेमिकोरेक्सको सिलिकन कार्बाइड आईसीपी इचिङ प्लेटले रासायनिक ग्याँसहरू (जस्तै क्लोरीन र फ्लोरिन) र आईसीपी इचिङ वातावरणको प्लाज्मालाई असाधारण प्रतिरोध प्रदान गर्दै यो आवश्यकता पूर्ण रूपमा पूरा गर्न सक्छ। यो महत्त्वपूर्ण विशेषताले नक्काशी सञ्चालनको क्रममा जारी हुने प्रदूषकहरूको मात्रा घटाएर प्रक्रियाको वातावरणलाई सफा राख्छ।
Semicorex ले प्रयोगकर्ताको सुविधालाई प्राथमिकता दिन्छ, सिलिकन कार्बाइड आईसीपी इचिङ प्लेटको अनुकूलित डिजाइनहरू प्रदान गर्दछ जुन विद्यमान आईसीपी इचिङ प्रणालीहरूसँग सहज रूपमा एकीकृत हुन्छ र विभिन्न कन्फिगरेसनहरूसँग उपयुक्त हुन्छ। यसले एक सहज संक्रमणको लागि अनुमति दिन्छ, यसलाई उपकरण निर्माताहरूको लागि एक आदर्श अपग्रेड समाधान बनाउँछ।