Semicorex ले ठाडो / स्तम्भ र तेर्सो कन्फिगरेसन दुवैका लागि वेफर डुङ्गाहरू, पेडेस्टलहरू, र अनुकूलन वेफर क्यारियरहरू प्रदान गर्दछ। हामी धेरै वर्ष देखि सिलिकन कार्बाइड कोटिंग फिल्म को निर्माता र आपूर्तिकर्ता भएको छ। सेमीकन्डक्टर प्रक्रियाको लागि हाम्रो वेफर डुङ्गाको राम्रो मूल्य फाइदा छ र धेरै जसो युरोपेली र अमेरिकी बजारहरू कभर गर्दछ। हामी चीनमा तपाईंको दीर्घकालीन साझेदार बन्न तत्पर छौं।
अर्धचालक प्रक्रियाको लागि Semicorex SiC वेफर डुङ्गा, सेमीकन्डक्टर निर्माणमा वेफर ह्यान्डलिंग र सुरक्षाको लागि अन्तिम समाधान। अर्धचालक प्रक्रियाको लागि हाम्रो वेफर डुङ्गा उच्च-गुणस्तरको सिलिकन कार्बाइडबाट बनेको छ, जसमा क्षरणको राम्रो प्रतिरोध र उच्च तापक्रम र थर्मल झटकामा उत्कृष्ट प्रतिरोध छ। उन्नत सिरेमिकहरूले उत्कृष्ट थर्मल प्रतिरोध र प्लाज्मा स्थायित्व प्रदान गर्दछ जबकि उच्च-क्षमता वेफर क्यारियरहरूको लागि कणहरू र प्रदूषकहरूलाई कम गर्दछ।
अर्धचालक प्रक्रियाको लागि वेफर डुङ्गाको प्यारामिटरहरू
प्राविधिक गुणहरू |
||||
अनुक्रमणिका |
एकाइ |
मूल्य |
||
सामग्रीको नाम |
प्रतिक्रिया Sintered सिलिकन कार्बाइड |
दबाव रहित सिंटर सिलिकन कार्बाइड |
पुन: स्थापित सिलिकन कार्बाइड |
|
रचना |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
बल्क घनत्व |
g/cm3 |
3 |
३.१५ ± ०.०३ |
२.६०-२.७० |
लचिलो शक्ति |
MPa (kpsi) |
३३८(४९) |
३८०(५५) |
80-90 (20°C)90-100(1400°C) |
कम्प्रेसिभ शक्ति |
MPa (kpsi) |
११२०(१५८) |
३९७०(५६०) |
> 600 |
कठोरता |
नूप |
2700 |
2800 |
/ |
तोड्ने दृढता |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
थर्मल चालकता |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
थर्मल विस्तार को गुणांक |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
विशिष्ट गर्मी |
जुल/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
हावा मा अधिकतम तापमान |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
लोचदार मोडुलस |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
सेमीकन्डक्टर प्रक्रियाको लागि वेफर डुङ्गाका विशेषताहरू
उच्च गर्मी प्रतिरोध र थर्मल एकरूपता
चिल्लो सतहको लागि राम्रो SiC क्रिस्टल लेपित
रासायनिक सफाई विरुद्ध उच्च स्थायित्व
सामाग्री डिजाइन गरिएको छ ताकि दरार र delamination देखा पर्दैन।