--इन्च वाफरहोल्डर रिंगहरू

सेमीरोएक्स-इन्च वाफरहोलाधारक रिंगेन हाइडिंग-आलन्डन्डुनिक प्रोसेसिंग हार्डवेयर हार्डवेयर हार्डवेयरले सुरक्षित थर्मल, eching, र बचाव प्रक्रियाको माध्यमबाट सुरक्षित गरीरहेको छ। एक घन संग उच्च-गुणवत्ता ग्राफिटबाट निर्माणसिलिकन कार्बइड (SIC) को कोटिंगथप शक्तिको लागि, वेफर होल्डर रिंग्स रिंग्सले हरिटल तनाव, र मेकानिकल शक्ति प्रदान गर्दछ, उच्च-तापमान र कफेक्स र ऑप्टेमल वातावरणमा प्रयोग गर्दछ।

मुख्य सुविधाहरू:

सामग्री अनुपालन:

सब्सट्रेट सामग्री छउच्च पार्थ्री ग्राफिट, जुन उच्च थर्मल कम्युनिटीविद् र संरचनात्मक समक्षको लागि चयन गरिएको हो। उच्च घनत्व र पोशाकसिलिकन कार्बइड (SIC) फिल्म कोटिंगसतहमा लागू गरिएको छ, 1000 डिग्री सेल्सियस बढीको अधिकमा 1 ऑक्सीकरण र रासायनिक आक्रमणको उच्च प्रतिरोध प्रदर्शन गर्दै। मिश्रणले लामो अवधि र वेफरको फ्याँकिने एक शेल्फ जीवन समावेश गर्दछ।

सुरक्षित वेफर स्थिति

विशेष गरी 8-इन्च (200 मिमी) वेफर्स समात्नुहोस्, वाफेमर रिंगमा र्याटरी सहिष्णुता र एक इष्टतम जमिनरी सुरक्षित रूपमा वेफर सुरक्षित रूपमा थर्मल साइकलिंग र ग्यास प्रवाहको क्रममा औंठीमा रिंग स्थितिमा स्थिर रहन्छ, माइक्रो-आन्दोलन गर्दछ जसले कणको व्यवस्था वा वेफर ब्रेकफाज गर्न सक्छ।

थर्मल एकरूपता:

ग्रेफाइट सब्सट्रेटको स्वाभाविक रूपले संचालित र SIC कोटिंगको स्थिरता वेफर सतहमा लगातार गर्मी हस्तान्तरण सुनिश्चित गर्दछ। यसले लगातार प्रक्रिया परिणामहरू, कम थर्मल तनाव, र राम्रो उपकरण उत्पादनमा परिणाम दिन्छ।

रासायनिक र प्लाज्मा प्रतिरोध:

SIC सतहले कठोर प्रक्रिया प्लसम्मी र ग्यासहरूदेखि गुँड कोरको रक्षा गर्दछ, दोहोर्याइएको प्रक्रिया चक्रहरूको लागि प्रतिरोध प्रस्तुत गर्दै। रासायनिक विक्रेता विशेष गरी व्यावहारिक ह्यालोगन-एटचन्ट वा प्रतिक्रियाशील ग्याँस वातावरणमा व्यावहारिक छ।

अनुकूलन उपलब्ध:

--इन्च वाफेइटिभर रिंग विशिष्ट उपकरण वा प्रक्रिया आवश्यकताहरू पूरा गर्न डिजाइन गरिएको हुन सक्छ, I.E., किनारा समर्थन डिजाइन, स्लट डिजाइन, र माउन्टिंग कन्फिगरेसन। हाम्रो डिजाइनरहरूले प्रत्येक प्रयोगको लागि सम्भवको उच्च प्रदर्शन प्रदान गर्न OEMs र FEBS को साथ काम गर्दछ।

अनुप्रयोगहरू:

• LPCVD / PACVD / APCVD
• एपिट्याजिकल बृद्धि प्रक्रियाहरू
• बिस्ताकार भट्टीहरू
• उच्च-तापमान अभिनय
• अन्य अर्ध मंडरेक्टर थर्मल प्रोसेसिंग प्रणालीहरू

प्रत्येक g-इन्च वाफरहोलाहोत्तिक रिंगमा आयाम सटीकता प्रमाणिकरण, र थर्मल साइक्निंग योग्यता को रूप मा कडा निरीक्षण। हाम्रो उन्नत उत्पादन प्रबिक्तिण टेक्नोलोजी अर्धविराम उद्योग उच्च मागहरू पूरा गर्न वर्दी आकार कोटिंग मोटाई र उत्कृष्ट सतह समाप्त हुन्छ।

सेमीरक्स-इन्च वाइफरी रिंग (SIC-समतित ग्रेफाइट) ओछ्यानमा, मेकानिकल सटीकता, र रासायनिक स्थिरता प्रदान गर्न आवश्यक उपकरणहरू हुन्। प्रक्रिया उपकरणबाट अर्को-उत्पाद वेफर प्लेटफर्महरूको निर्माणमा अपग्रेड गरियो, यस उत्पादनले आजको माग उत्पादनको वातावरण सक्षम गर्न विश्वसनीयता र प्रदर्शन प्रदान गर्दछ।