एल्युमिनियम नाइट्रिड हीटर

सेमीरेटेरेक्स एल्युमिडम नाइट्रिडर हीटरहरू स्टेट-को-एआर-को-आराधना तताउने तत्वहरू उच्च थर्मल संकुचित, विद्युतीय इन्सुलेशन, र असाधारण स्थिरता माग गर्दछ। एल्युमिनियम नाइट्रिड सिरेमिकबाट ईन्जिनियर गरिएको, यी बुटल्डरहरूले तिनीहरूलाई उच्च-सटीक वातावरणको लागि आदर्श बनाउँदछन्, चिकित्सा निदान र उन्नत विश्लेषणात्मक उपकरण।

एल्युमिनियम नाइट्रिड हेटरहरू अर्धविकास पातलो फिल्म जम्मा उपकरणमा कुञ्जी कम्पोनेन्टहरू हुन्। तिनीहरू प्रत्यक्ष प्रक्रियाको कोठामा लागू हुन्छन् र वेफरको सीधा सम्पर्कमा। तिनीहरू केवल वेफर मात्र गर्दैनन्, तर पनि पनी सुनिश्चित गर्दछ कि वाफरले प्राप्त गर्दछ 

स्थिर र वर्दी प्रक्रिया तापमान। यो सुविधा वेफर सतहमा उच्च-सटीक प्रतिक्रियाहरूको लागि आवश्यक छ र वर्दी पातलो फिल्महरूको जेन।

सामान्यतया, एल्युमिनियम नाइराइड हेटरहरूले एक वेफर लोडिंग सतह र एक बेलनाकार समर्थन शरीरको साथ सिरेमिक सब्सट्रेट समावेश गर्दछ जुन यसलाई पछाडि समर्थन गर्दछ। तताउनेको लागि प्रतिरोधी तटीक तटबारीबाहेक, आरएफ इलेक्ट्रोड र एक इलेक्ट्रोस्टिक चोक इलेक्ट्रोड र अन्य कदमहरू पनि सिरेमिक सब्सट्रेटको सतहमा प्रदान गरिएको छ।

पातलो फिल्म जम्मा उपकरणले सामान्यतया सिरेमिक सामग्री प्रयोग गर्दछएल्युमिनियम नाइट्रिड (Aln)किनकि यसमा उच्च-तापमान वातावरण समावेश छ। एल्युमिनियम नाइट्रिड हेटररहरू अर्धडी टिकट निर्माणमा मनपर्ने छन् जुन मुख्यतया तिनीहरूको अद्वितीय शारीरिक र रासायनिक गुणहरूको कारणले हो। एल्युमिनियम नाइट्रिडसँग मात्र उच्च थर्मल संकुचित हुन्छ र छोटो समयमा छिटो तापक्रम प्राप्त गर्न सक्दछ, तर हीटर स्थिरता र विश्वसनीयता सुनिश्चित गर्दछ। थप रूपमा, एल्युमिनियम नाइट्रिडको थर्मयल विस्तार सिल्कोल्स सिलिकसको समान छ, जसले परागमा थर्मल तनावको प्रभावलाई कम गर्न मद्दत गर्दछ र प्रक्रिया उत्पादन सुधार गर्दछ।

सामान्यतया बोल्दै,सिरेमिक हेटर्समुख्यतया पातलो फिल्म जम्मा उपकरणमा प्रयोग गरिन्छ। यसले उच्च तनावग्रस्त प्रक्रियाहरू समावेश गर्दछ, सिडमिक सामग्री प्रयोग गरिएको मुख्य सामग्री मुख्यतया एल्युमिनियम नाइट्रिड हो; इलेक्ट्रोस्टेटिक चकहरू मुख्यतया ECCHING उपकरणहरूमा प्रयोग गरिन्छ, र सिरेमिक सामग्री प्रयोग मुख्यतया एलिमिनियम अक्साइड हो। अर्धोन्डरकय टेक्नोलोजीको विकासको साथ, सिडमिक हीटर र इलेक्ट्रोस्टेटिक चकहरूको बीचमा ओभरल्याप छ। उदाहरणका लागि, पातलो फिल्म जम्मा उपकरणमा प्रयोग गरिएको सिरामिक हेटरहरूले इलेक्ट्रोस्टेटिक चकहरू सहित सुसज्जित छन्, जुन उच्च-तापमान हीटिंग र इलेक्ट्रोस्टेटिक एड्रोस्टेटको दोहोरो प्रकार्यहरू छन्। ईचिंग उपकरणमा प्रयोग गरिएको इलेक्ट्रोस्टेटिक चकहरूले पनि उच्च-तापमान प्रक्रियाहरू समावेश गर्न थाल्छन्, र सिरेमिक सामग्री एल्युमिनियम अक्टाइडसम्म परिवर्तन गर्नुपर्दछ।