LPE हाफमून प्रतिक्रिया चेम्बर

एपिटेक्सियल प्रक्रिया LPE हाफमुन रियाक्सन चेम्बर भित्र हुन्छ, जहाँ सब्सट्रेटहरू उच्च तापमान र संक्षारक ग्यासहरू समावेश चरम अवस्थाहरूमा पर्दाफास हुन्छन्। प्रतिक्रिया कक्ष कम्पोनेन्टहरूको दीर्घायु र कार्यसम्पादन सुनिश्चित गर्न, रासायनिक वाष्प निक्षेप (CVD) SiC कोटिंगहरू लागू गरिन्छ:

विस्तृत आवेदन:

ससेप्टर्स र वेफर वाहकहरू:

प्राथमिक भूमिका:

ससेप्टरहरू र वेफर क्यारियरहरू महत्त्वपूर्ण कम्पोनेन्टहरू हुन् जसले एलपीई हाफमून रियाक्सन च्याम्बरमा एपिटेक्सियल वृद्धि प्रक्रियाको क्रममा सब्सट्रेटहरूलाई सुरक्षित रूपमा समात्छन्। तिनीहरूले सब्सट्रेटहरू समान रूपमा तातो र प्रतिक्रियाशील ग्यासहरूको सम्पर्कमा छन् भनेर सुनिश्चित गर्न महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छन्।

CVD SiC कोटिंग लाभहरू:

थर्मल चालकता:

SiC कोटिंगले ससेप्टरको थर्मल चालकता बढाउँछ, यो सुनिश्चित गर्दै कि गर्मी वेफर सतहमा समान रूपमा वितरित हुन्छ। यो एकरूपता लगातार एपिटेक्सियल वृद्धि हासिल गर्न आवश्यक छ।

जंग प्रतिरोध:

SiC कोटिंगले ससेप्टरलाई हाइड्रोजन र क्लोरिनेटेड यौगिकहरू जस्ता संक्षारक ग्यासहरूबाट जोगाउँछ, जुन CVD प्रक्रियामा प्रयोग गरिन्छ। यो सुरक्षाले ससेप्टरको आयु बढाउँछ र LPE हाफमुन रियाक्सन च्याम्बरमा एपिटेक्सियल प्रक्रियाको अखण्डता कायम राख्छ।

प्रतिक्रिया कक्ष पर्खाल:

प्राथमिक भूमिका:

प्रतिक्रिया कक्षको भित्ताहरूमा प्रतिक्रियाशील वातावरण हुन्छ र LPE हाफमुन प्रतिक्रिया कक्षमा एपिटेक्सियल वृद्धि प्रक्रियाको क्रममा उच्च तापमान र संक्षारक ग्यासहरूको सम्पर्कमा रहन्छ।

CVD SiC कोटिंग लाभहरू:

स्थायित्व:

एलपीई हाफमुन रियाक्सन चेम्बरको SiC कोटिंगले चेम्बरका पर्खालहरूको स्थायित्वलाई उल्लेखनीय रूपमा बढाउँछ, तिनीहरूलाई जंग र शारीरिक पहिरनबाट बचाउँछ। यो स्थायित्वले मर्मत र प्रतिस्थापनको आवृत्ति घटाउँछ, यसरी परिचालन लागतहरू कम गर्दछ।

प्रदूषण रोकथाम:

चेम्बर पर्खालहरूको अखण्डता कायम गरेर, SiC कोटिंगले बिग्रने सामग्रीबाट प्रदूषणको जोखिमलाई कम गर्छ, सफा प्रशोधन वातावरण सुनिश्चित गर्दछ।

मुख्य फाइदाहरू:

सुधारिएको उपज:

वेफर्सको संरचनात्मक अखण्डता कायम राखेर, LPE हाफमुन रियाक्सन च्याम्बरले उच्च उपज दरलाई समर्थन गर्दछ, जसले अर्धचालक निर्माण प्रक्रियालाई अझ प्रभावकारी र लागत-प्रभावी बनाउँछ।

संरचनात्मक मजबुतता:

LPE हाफमुन रियाक्सन च्याम्बरको SiC कोटिंगले ग्रेफाइट सब्सट्रेटको मेकानिकल बललाई उल्लेखनीय रूपमा बढाउँछ, वेफर क्यारियरहरूलाई थप बलियो बनाउँछ र दोहोर्याइएको थर्मल साइकल चलाउने मेकानिकल तनावहरू सामना गर्न सक्षम बनाउँछ।

दीर्घायु:

बढेको मेकानिकल बलले LPE हाफमुन रियाक्सन च्याम्बरको समग्र दीर्घायुमा योगदान पुर्‍याउँछ, जसले बारम्बार प्रतिस्थापनको आवश्यकतालाई कम गर्छ र परिचालन लागतहरू थप घटाउँछ।

सुधारिएको सतह गुणस्तर:

SiC कोटिंगले नग्न ग्रेफाइटको तुलनामा चिल्लो सतहमा परिणाम दिन्छ। यो चिकनी फिनिशले कण उत्पादनलाई कम गर्छ, जुन सफा प्रशोधन वातावरण कायम राख्नको लागि महत्त्वपूर्ण छ।

प्रदूषण न्यूनीकरण:

एक चिल्लो सतहले वेफरमा प्रदूषणको जोखिम कम गर्छ, अर्धचालक तहहरूको शुद्धता सुनिश्चित गर्दछ र अन्तिम उपकरणहरूको समग्र गुणस्तर सुधार गर्दछ।

स्वच्छ प्रशोधन वातावरण:

सेमिकोरेक्स एलपीई हाफमुन रियाक्सन च्याम्बरले अनकोटेड ग्रेफाइटको तुलनामा उल्लेखनीय रूपमा कम कणहरू उत्पन्न गर्दछ, जुन सेमीकन्डक्टर निर्माणमा प्रदूषण-मुक्त वातावरण कायम राख्न आवश्यक छ।

उच्च उपज दर:

कम कण प्रदूषणले कम दोषहरू र उच्च उपज दरहरू निम्त्याउँछ, जुन उच्च प्रतिस्पर्धी अर्धचालक उद्योगमा महत्वपूर्ण कारकहरू हुन्।