ड्राई इचिङ र वेट इचिङका फाइदा र बेफाइदाहरू के हुन्?

1. सुख्खा र भिजेको नक्काशी के हो?

सुख्खा नक्काशी एउटा यस्तो प्रविधि हो जसमा कुनै तरल पदार्थ समावेश हुँदैन, यसको सट्टा वेफर सतहमा ठोस सामग्री नक्कन गर्न प्लाज्मा वा प्रतिक्रियाशील ग्यासहरू प्रयोग गरिन्छ। यो विधि अधिकांश चिप उत्पादनहरूको उत्पादनमा अपरिहार्य छ, जस्तै DRAM र फ्ल्यास मेमोरी, जहाँ भिजेको नक्काशी प्रयोग गर्न सकिँदैन। अर्कोतर्फ, भिजेको नक्काशीले वेफर सतहमा ठोस सामग्रीलाई नक्काशी गर्न तरल रासायनिक समाधानको प्रयोग समावेश गर्दछ। सबै चिप उत्पादनहरूमा सार्वभौमिक रूपमा लागू नहुने भए तापनि वेफर-लेभल प्याकेजिङ्ग, MEMS, अप्टोइलेक्ट्रोनिक उपकरणहरू, र फोटोभोल्टिकहरूमा भिजेको नक्काशी व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ।

२. सुख्खा र भिजेको नक्काशीका विशेषताहरू के हुन्?

पहिले, आइसोट्रोपिक र एनिसोट्रोपिक नक्काशीको अवधारणालाई स्पष्ट पारौं। आइसोट्रोपिक नक्काशीले एक नक्काशी दरलाई जनाउँछ जुन एउटै विमानमा सबै दिशाहरूमा समान हुन्छ, जसरी ढुङ्गालाई शान्त पानीमा फ्याँक्दा लहरहरू समान रूपमा फैलिन्छन्। एनिसोट्रोपिक एचिङ भनेको एउटै प्लेनमा विभिन्न दिशाहरूमा नक्कली दर फरक हुन्छ।

भिजेको नक्काशी isotropic छ। जब वेफर नक्काशी समाधानको सम्पर्कमा आउँछ, यो तलतिर कोर्छ र पार्श्व नक्काशीको कारण पनि हुन्छ। यो पार्श्व नक्काशीले परिभाषित रेखा चौडाइलाई असर गर्न सक्छ, जसले महत्त्वपूर्ण नक्काशी विचलन निम्त्याउँछ। यसरी, भिजेको नक्काशीले 2 माइक्रोमिटर भन्दा सानो सुविधाहरूको लागि कम उपयुक्त बनाउँदै, नक्काशी आकारहरूका लागि ठीकसँग नियन्त्रण गर्न चुनौतीपूर्ण छ।

यसको विपरित, सुख्खा नक्काशीले नक्काशी आकारको अधिक सटीक नियन्त्रणको लागि अनुमति दिन्छ र थप लचिलो नक्काशी विधिहरू प्रदान गर्दछ। सुक्खा नक्काशीले आइसोट्रोपिक र एनिसोट्रोपिक नक्काशी दुवै हासिल गर्न सक्छ। एनिसोट्रोपिक नक्काशीले टेपर्ड (कोण <90 डिग्री) र ठाडो प्रोफाइलहरू (कोण ≈90 डिग्री) उत्पादन गर्न सक्छ।

संक्षेप गर्न:

१.१ ड्राई इचिङका फाइदाहरू (जस्तै, RIE)

दिशात्मकता: ऊर्ध्वाधर साइडवाल र उच्च पक्ष अनुपातको परिणामस्वरूप उच्च दिशात्मकता हासिल गर्न सक्छ।

चयनशीलता: विशिष्ट नक्काशी ग्यास र प्यारामिटरहरू छनोट गरेर नक्काशी चयनता अनुकूलन गर्न सक्छ।

उच्च रिजोल्युसन: राम्रो सुविधाहरू र गहिरो खाई नक्काशी लागि उपयुक्त।

१.२ भिजेको नक्काशीका फाइदाहरू

सरलता र लागत-प्रभावकारिता: नक्काशी तरल पदार्थ र उपकरणहरू सामान्यतया सुख्खा नक्काशीको लागि प्रयोग गरिने भन्दा बढी किफायती हुन्छन्।

एकरूपता: सम्पूर्ण वेफरमा एकसमान नक्काशी प्रदान गर्दछ।

कुनै जटिल उपकरणहरू आवश्यक पर्दैन: सामान्यतया केवल डुब्ने बाथ वा स्पिन-कोटिंग उपकरण चाहिन्छ।

3. सुख्खा र भिजेको नक्काशी बीच छनौट गर्दै

पहिलो, चिप उत्पादनको प्रक्रिया आवश्यकताहरूको आधारमा, यदि ड्राई एचिङले मात्र नक्काशी कार्य पूरा गर्न सक्छ भने, ड्राई इचिङ छनौट गर्नुहोस्। यदि दुबै सुक्खा र भिजेको नक्काशीले आवश्यकताहरू पूरा गर्न सक्छ भने, भिजेको नक्काशी सामान्यतया यसको लागत प्रभावकारिताको कारणले प्राथमिकता दिइन्छ। यदि रेखा चौडाइ वा ठाडो/टेपर्ड कोणहरूमा सटीक नियन्त्रण आवश्यक छ भने, सुख्खा नक्काशीको लागि रोज्नुहोस्।

यद्यपि, केही विशेष संरचनाहरू भिजेको नक्काशी प्रयोग गरेर नक्काशी गर्नुपर्छ। उदाहरणका लागि, MEMS मा, नक्काशी गरिएको सिलिकनको उल्टो पिरामिड संरचना केवल भिजेको नक्काशी मार्फत प्राप्त गर्न सकिन्छ।**