अर्धचालक प्रशोधनका लागि सेमिकोरेक्स टिकाऊ फोकस रिङ्हरू अर्धचालक प्रशोधनमा प्रयोग हुने प्लाज्मा ईच चेम्बरहरूको चरम वातावरणलाई सामना गर्न डिजाइन गरिएको हो। हाम्रो फोकस रिंगहरू उच्च-शुद्धता ग्रेफाइटले बनेको छ जसमा घना, पहिरन-प्रतिरोधी सिलिकन कार्बाइड (SiC) कोटिंग छ। SiC कोटिंगमा उच्च जंग र गर्मी प्रतिरोध गुणहरू, साथै उत्कृष्ट थर्मल चालकता छ। हामी हाम्रो फोकस रिंगहरूको सेवा जीवन सुधार गर्न रासायनिक वाष्प निक्षेप (CVD) प्रक्रिया प्रयोग गरेर ग्रेफाइटमा पातलो तहहरूमा SiC लागू गर्छौं।
थप पढ्नुहोस्सोधपुछ पठाउनुहोस्