SiC ALD रिसेप्टर

Semicorex को लाभSiC ALD रिसेप्टर:

उच्च तापमान स्थिरता:SiC ALD ससेप्टरले उच्च तापक्रम (1600°C सम्म) मा यसको संरचनात्मक अखण्डता कायम राख्छ, उच्च-तापमान ALD प्रक्रियाहरूलाई सक्षम पार्छ जसले सुधारिएको बिजुली गुणहरूका साथ घन फिल्महरू बनाउँछ।

रासायनिक जडता:SiC ALD ससेप्टरले ALD मा प्रयोग हुने रसायनहरू र पूर्ववर्तीहरूको विस्तृत श्रृंखलामा उत्कृष्ट प्रतिरोध प्रदर्शन गर्दछ, प्रदूषण जोखिमहरू कम गर्दै र लगातार फिल्म गुणस्तर सुनिश्चित गर्दछ।

समान तापमान वितरण:SiC ALD ससेप्टरको उच्च थर्मल चालकताले ससेप्टर सतहमा एकसमान तापक्रम वितरणलाई बढावा दिन्छ, जसको कारण एकसमान फिल्म जम्मा हुन्छ र उपकरणको प्रदर्शन सुधार हुन्छ।

कम निकास:SiC मा कम आउटग्यासिङ गुणहरू छन्, यसको मतलब यसले उच्च तापमानमा न्यूनतम अशुद्धताहरू छोड्छ। यो सफा प्रशोधन वातावरण कायम राख्न र जम्मा गरिएको फिल्मको प्रदूषण रोक्नको लागि महत्त्वपूर्ण छ।

प्लाज्मा प्रतिरोध:SiC ले प्लाज्मा नक्काशीको लागि राम्रो प्रतिरोध प्रदर्शन गर्दछ, यसलाई प्लाज्मा-वर्धित ALD (PEALD) प्रक्रियाहरूसँग उपयुक्त बनाउँछ।

लामो आयु:SiC ALD ससेप्टरको स्थायित्व र लगाउने प्रतिरोधले ससेप्टरको लागि लामो आयुमा अनुवाद गर्दछ, बारम्बार प्रतिस्थापनको आवश्यकतालाई कम गर्दै र समग्र परिचालन लागतहरू कम गर्दछ।

ALD र CVD को तुलना:

एटोमिक लेयर डिपोजिसन (ALD) र केमिकल भाप डिपोजिसन (CVD) दुबै पातलो-फिल्म डिपोजिसन प्रविधिहरू फरक विशेषताहरूका साथ व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ। तिनीहरूको भिन्नताहरू बुझ्न एक विशेष अनुप्रयोगको लागि सबैभन्दा उपयुक्त विधि चयन गर्न महत्त्वपूर्ण छ।

ALD बनाम CVD

ALD का मुख्य फाइदाहरू:

असाधारण मोटाई नियन्त्रण र एकरूपता:जटिल ज्यामितिहरूमा परमाणु-स्तर परिशुद्धता र कन्फर्मल कोटिंग्स आवश्यक पर्ने अनुप्रयोगहरूको लागि आदर्श।

कम तापमान प्रशोधन:तापमान-संवेदनशील सब्सट्रेटहरू र फराकिलो सामग्री चयनमा निक्षेप सक्षम गर्दछ।

उच्च चलचित्र गुणस्तर:कम अशुद्धता भएका घना, पिनहोल-रहित फिल्महरूमा परिणामहरू।

CVD का मुख्य फाइदाहरू:

उच्च निक्षेप दर:छिटो निक्षेप दरहरू र बाक्लो फिल्महरू चाहिने अनुप्रयोगहरूको लागि उपयुक्त।

कम लागत:ठूलो-क्षेत्र निक्षेप र कम माग गर्ने अनुप्रयोगहरूको लागि अधिक लागत-प्रभावी।

बहुमुखी प्रतिभा:धातुहरू, अर्धचालकहरू, र इन्सुलेटरहरू सहित सामग्रीहरूको विस्तृत दायरा जम्मा गर्न सक्छ।

पातलो फिल्म निक्षेप विधि तुलना