SiC-लेपित एपिटेक्सियल ससेप्टर्स

सेमिकोरेक्स SiC-लेपित एपिटेक्सियल ससेप्टरहरू सेमीकन्डक्टर वेफर्सहरूलाई स्थिर रूपमा समर्थन गर्न र फिक्स गर्न अर्धचालक एपिटेक्सियल वृद्धि प्रक्रियामा प्रयोग हुने आवश्यक कम्पोनेन्टहरू हुन्। परिपक्व उत्पादन क्षमताहरू र अत्याधुनिक उत्पादन प्रविधिहरू प्रयोग गर्दै, Semicorex हाम्रा मूल्यवान ग्राहकहरूका लागि बजार-अग्रणी गुणस्तर र प्रतिस्पर्धी मूल्यको SiC-coated epitaxial susceptors आपूर्ति गर्न प्रतिबद्ध छ।

सोधपुछ पठाउनुहोस्

उत्पादन विवरण

अर्धचालकsubstratesग्यास प्रवाह दिशा (तेर्सो र ठाडो), तापक्रम, दबाब, सब्सट्रेट फिक्सेसन, र कण प्रदूषण सहित धेरै महत्वपूर्ण कारकहरूको प्रभावका कारण एपिटेक्सियल डिपोजिसनको समयमा MOCVD वा CVD उपकरणहरूमा आधारमा सीधा सेट गर्न सकिँदैन। यस कारणको लागि, एपिटेक्सियल ससेप्टरहरू MOCVD/CVD प्रणालीहरूमा प्रतिक्रिया कक्षको केन्द्रमा अवस्थित हुन आवश्यक छ अर्धचालक सब्सट्रेटहरूलाई समर्थन गर्न र सुरक्षित गर्न, यसरी कम्पन वा स्थितिगत विस्थापनको कारणले गर्दा एपिटेक्सियल वृद्धि गुणस्तर गिरावटलाई रोक्न।

उच्च शुद्धता ग्रेफाइट सेमिकोरेक्सको लागि म्याट्रिक्स सामग्रीको रूपमा प्रयोग गरिन्छSiC-लेपित एपिटेक्सियल ससेप्टर्स, उन्नत CVD प्रविधिहरूद्वारा तिनीहरूको सतहमा जम्मा गरिएको सिलिकन कार्बाइड कोटिंगको साथ। Semicorex SiC-लेपित epitaxial susceptors epitaxial लेयर गठन प्रक्रियामा अपरिहार्य घटक हो। तिनीहरूको प्राथमिक भूमिका अर्धचालक सब्सट्रेटहरूमा एपिटेक्सियल तहहरूको वृद्धिको लागि स्थिर र नियन्त्रणयोग्य परिचालन वातावरण प्रदान गर्नु हो, जसले यसरी वेफर सतह गुणस्तरको स्थिरता सुनिश्चित गर्न सक्छ।

Semicorex SiC-लेपित epitaxial susceptors को विशेषताहरु

1. उत्कृष्ट उच्च-तापमान प्रतिरोध 1600℃ सञ्चालन अवस्था सामना गर्न।

2. उच्च थर्मल चालकता, अर्धचालक सब्सट्रेटहरूमा समान तापमान वितरण कायम राख्न द्रुत ताप स्थानान्तरण प्रदान गर्दै।

3. रासायनिक क्षरण र जंगको प्रतिरोध गर्न बलियो रासायनिक जंग प्रतिरोध, सब्सट्रेट र एपिटेक्सियल तहहरूको प्रक्रिया प्रदूषणबाट बच्न।

4. कोटिंग क्र्याकिंग र डेलामिनेशनको घटनाबाट बच्नको लागि सुपीरियर थर्मल झटका प्रतिरोध।

5. असाधारण सतह समतलता, खाली ठाउँ र दोषहरू कम गर्ने सब्सट्रेटहरूमा राम्रोसँग फिटिंग।

6. लामो सेवा जीवन, भागहरू प्रतिस्थापन र मर्मतसम्भारको कारणले गर्दा समय र आर्थिक हानि कम गर्दै।

Semicorex SiC-लेपित epitaxial susceptors को आवेदन

धेरै उत्कृष्ट फाइदाहरूको साथ, Semicorex SiC-लेपित एपिटेक्सियल ससेप्टरहरूले एपिटेक्सियल पातलो फिल्महरूको एकसमान र नियन्त्रणयोग्य वृद्धिलाई सहज बनाउन महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छन् र अर्धचालक एपिटेक्सियल वृद्धि प्रक्रियामा व्यापक रूपमा लागू हुन्छन्।

1. GaN एपिटेक्सियल वृद्धि

2. SiC epitaxial वृद्धि

3. Si epitaxial वृद्धि