सेमीरक्स साइज कोटेड प्लेटहरू उच्च-शुद्धताबाट बनाएको एक सटीक-ईन्जिनियर गरिएको अवधारणा हो, एपिट्याजिकल अनुप्रयोगहरूको माग गर्नको लागि डिजाइन गरिएको। यसको उद्योगको उद्योग, अग्रणी CVD कोटिंग टेक्नोलोजी, कडा गुणस्तर नियन्त्रण, र अर्धन्डुनिक उत्पादन वातावरणमा विश्वसनीयता प्रमाणित गर्दछ। *
सेमीरक्स साइज कोटेड प्लेट विशेष रूपमा एपिटाइक्रिप्टियल (EPI) विकास उपकरणको लागि डिजाइन गरिएको छ, स्थिर, उच्च-शुद्धता फिल्महरू सिर्जना गर्न। यो एक उच्च शक्ति ग्राफेरी कोर, एक समानाव कार्ब्याड (SIC) ले ढाक्नुभयो र कम-शक्ति ग्राफिकको संयमित थर्मल प्रतिरोधी र SIC को सतह स्थिरता प्रदान गर्दछ। सेमीरक्स SIC ले सम्पन्न प्लेट SIC र Ganalonders सहित कम्पाउन्डर प्रक्रियाहरूको चरम सीमानाहरूलाई सँभाल्नु पर्छ।
SIC लेपित प्लेटको ग्रेफाइट कोरले उल्लेखनीय थर्मल संकुचितता, कम घनत्व, र उत्कृष्ट थर्मल श्रृंगार प्रतिरोधको प्रतिरोध। उत्कृष्ट थर्मल संचालित ग्रेफेइट कोरको साथ संक्षिप्त रूपमा कम थर्मल कोरको साथ कम थर्मल कोरको द्रव्यमानले एक प्रक्रियामा सजिलैसँग चट्टान चक्र उच्च गतिमा लिन्छ। रासायनिक बाफ जडान (cvd) द्वारा जम्मा गरिएको साइकको बाहिरी तहले एक सुरक्षात्मक बाधा प्रदान गर्दछ जसले कठोरता, प्रतिरोधको प्रतिरोध, र रासायनिक विक्रेता बढाउँदछ र कटौटी उत्पादनको सीमितता प्रदान गर्दछ। यो ठोस एलिमेन्टल सतह ग्राफेटेड आधारको शारीरिक विशेषताहरूको साथ संयुक्त, एपिटाएक्टियल तहहरूमा दोष उत्पादनको कुनै थोरै वा कुनै जोखिमको साथ कुनै कम शुद्धता प्रक्रियालाई आपूर्ति गर्दछ।
आयामी शुद्धता र सतह फ्ल्याटपन पनि अनुमानित प्लेटको आवश्यक विशेषताहरू छन्। प्रत्येक प्लेटमा मेशिमान छ र कडा सहिष्णुताको साथ लेपित गरिएको छ र प्रशोधन प्रदर्शनमा दोहोरोता सुनिश्चित गर्न। चिल्लो र उपभोक्ता सतहले अनावश्यक फिल्म डिस्पोजनको लागि आणविक साइटहरू कम गर्दछ र प्लेट सतहमा वेफर अस्वस्थता सुधार गर्दछ।
समग्र अधिकारीहरूमा, अनुमानित प्लेट प्लेट प्लेटहरू सामान्यतया संतर्पी, लाइनर ढालका रूपमा कार्यान्वयन गरिन्छ वा वेफरमा गर्मी हस्तान्तरणको रूपमा प्रदर्शन गर्नुहोस्। स्थिर प्रदर्शनले सीधा क्रिस्टल गुणवत्ता, उत्पादन, र उत्पादकत्वलाई सीधा असर पार्नेछ।