ICP सिलिकन कार्बन लेपित ग्रेफाइट

Semicorex को ICP सिलिकन कार्बन कोटेड ग्रेफाइट वेफर ह्यान्डलिंग र पातलो फिल्म डिपोजिसन प्रक्रियाहरूको माग गर्नको लागि आदर्श विकल्प हो। हाम्रो उत्पादनले उच्च ताप र जंग प्रतिरोध, तापीय एकरूपता, र इष्टतम लामिनार ग्यास प्रवाह ढाँचाहरू पनि गर्व गर्दछ।

सोधपुछ पठाउनुहोस्

उत्पादन विवरण

एपिटेक्सियल ग्रोथ प्रशोधनमा प्रयोग हुने वेफर क्यारियरहरूले उच्च तापमान र कठोर रासायनिक सफाई सहनु पर्छ। Semicorex ICP सिलिकन कार्बन लेपित ग्रेफाइट ससेप्टरहरू विशेष गरी यी माग गर्ने एपिटेक्सी उपकरण अनुप्रयोगहरूको लागि ईन्जिनियर गरिएको छ। हाम्रो उत्पादन उच्च तापमान र कठोर रासायनिक सफाई, दीर्घायु र इष्टतम परिणाम सुनिश्चित गर्न को लागी ईन्जिनियर गरिएको छ।
हाम्रो ICP सिलिकन कार्बन कोटेड ग्रेफाइटलाई थर्मल प्रोफाइलको समानता सुनिश्चित गर्दै उत्कृष्ट ल्यामिनार ग्यास प्रवाह ढाँचा प्राप्त गर्न डिजाइन गरिएको हो। यसले वेफर चिपमा उच्च-गुणस्तरको एपिटेक्सियल वृद्धि सुनिश्चित गर्दै कुनै पनि प्रदूषण वा अशुद्धता फैलाउनबाट रोक्न मद्दत गर्दछ।
हाम्रो ICP सिलिकन कार्बन लेपित ग्रेफाइट बारे थप जान्नको लागि आज हामीलाई सम्पर्क गर्नुहोस्।

ICP सिलिकन कार्बन लेपित ग्रेफाइटको प्यारामिटरहरू

CVD-SIC कोटिंग को मुख्य निर्दिष्टीकरण
SiC-CVD गुणहरू
क्रिस्टल संरचना	FCC β चरण
घनत्व	g/cm ³	3.21
कठोरता	Vickers कठोरता	2500
अनाज आकार	μm	२~१०
रासायनिक शुद्धता	%	99.99995
गर्मी क्षमता	J kg-1 K-1	640
उदात्तीकरण तापमान	℃	2700
फेलेक्सरल शक्ति	MPa (RT 4-बिन्दु)	415
युवाको मोडुलस	Gpa (4pt बेंड, 1300℃)	430
थर्मल विस्तार (C.T.E)	10-6K-1	4.5
थर्मल चालकता	(W/mK)	300